2~6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്

ഹ്രസ്വ വിവരണം:

4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് എന്നത് ഒരു പ്രത്യേക അർദ്ധചാലക വസ്തുവാണ്, ഇവിടെ "4° ഓഫ് ആംഗിൾ" എന്നത് വേഫറിൻ്റെ ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയൻ്റേഷൻ ആംഗിളിനെ 4 ഡിഗ്രി ഓഫ് ആംഗിൾ ആണെന്നും "P-type" എന്നത് സൂചിപ്പിക്കുന്നത് അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെ ചാലകത തരം. ഈ മെറ്റീരിയലിന് അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഹൈ-ഫ്രീക്വൻസി ഇലക്ട്രോണിക്സ് മേഖലകളിൽ പ്രധാനപ്പെട്ട പ്രയോഗങ്ങളുണ്ട്.


ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

സെമിസെറയുടെ 2~6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ ഉയർന്ന പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ള പവറിൻ്റെയും RF ഉപകരണ നിർമ്മാതാക്കളുടെയും വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്നു. 4° ഓഫ്-ആംഗിൾ ഓറിയൻ്റേഷൻ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഈ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനെ MOSFET-കൾ, IGBT-കൾ, ഡയോഡുകൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമായ അടിത്തറയാക്കുന്നു.

ഈ 2~6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിന് ഉയർന്ന താപ ചാലകത, മികച്ച വൈദ്യുത പ്രകടനം, മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ സ്ഥിരത എന്നിവ ഉൾപ്പെടെ മികച്ച മെറ്റീരിയൽ ഗുണങ്ങളുണ്ട്. ഓഫ്-ആംഗിൾ ഓറിയൻ്റേഷൻ മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത കുറയ്ക്കാനും സുഗമമായ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ലെയറുകളെ പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കാനും സഹായിക്കുന്നു, ഇത് അന്തിമ അർദ്ധചാലക ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനവും വിശ്വാസ്യതയും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് നിർണ്ണായകമാണ്.

സെമിസെറയുടെ 2~6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ്-ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ 2 ഇഞ്ച് മുതൽ 6 ഇഞ്ച് വരെ വ്യത്യസ്തമായ നിർമ്മാണ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി വിവിധ വ്യാസങ്ങളിൽ ലഭ്യമാണ്. യൂണിഫോം ഡോപ്പിംഗ് ലെവലും ഉയർന്ന ഗുണമേന്മയുള്ള ഉപരിതല സവിശേഷതകളും നൽകാൻ ഞങ്ങളുടെ അടിവസ്ത്രങ്ങൾ കൃത്യമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്നു, ഓരോ വേഫറും നൂതന ഇലക്ട്രോണിക് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് ആവശ്യമായ കർശനമായ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ പാലിക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.

നവീകരണത്തിലും ഗുണമേന്മയിലും സെമിസെറയുടെ പ്രതിബദ്ധത, ഞങ്ങളുടെ 2~6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ പവർ ഇലക്ട്രോണിക്‌സ് മുതൽ ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഉപകരണങ്ങൾ വരെയുള്ള വിവിധ ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ സ്ഥിരതയാർന്ന പ്രകടനം നൽകുന്നു. ഓട്ടോമോട്ടീവ്, ടെലികമ്മ്യൂണിക്കേഷൻ, പുനരുപയോഗ ഊർജം തുടങ്ങിയ വ്യവസായങ്ങളിലെ സാങ്കേതിക പുരോഗതിയെ പിന്തുണയ്‌ക്കുന്ന ഊർജ-കാര്യക്ഷമവും ഉയർന്ന പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ളതുമായ അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെ അടുത്ത തലമുറയ്ക്ക് ഈ ഉൽപ്പന്നം വിശ്വസനീയമായ പരിഹാരം നൽകുന്നു.

വലുപ്പവുമായി ബന്ധപ്പെട്ട മാനദണ്ഡങ്ങൾ

വലിപ്പം

2-ഇഞ്ച്

4-ഇഞ്ച്

വ്യാസം 50.8 mm± 0.38 mm 100.0 mm+0/-0.5 mm
ഉപരിതല ഓറൻ്റേഷൻ 4° നേരെ<11-20>±0.5° 4° നേരെ<11-20>±0.5°
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് നീളം 16.0 mm± 1.5mm 32.5mm±2mm
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് നീളം 8.0 mm± 1.5mm 18.0 mm ± 2 mm
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ സമാന്തരമായി <11-20>±5.0° സമാന്തരമായി<11-20>±5.0c
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ പ്രൈമറി ± 5.0° മുതൽ 90°CW, സിലിക്കൺ മുഖം മുകളിലേക്ക് പ്രൈമറി ± 5.0° മുതൽ 90°CW, സിലിക്കൺ മുഖം മുകളിലേക്ക്
ഉപരിതല ഫിനിഷ് സി-ഫേസ്: ഒപ്റ്റിക്കൽ പോളിഷ്, സി-ഫേസ്: സിഎംപി C-Face:OpticalPolish, Si-Face: CMP
വേഫർ എഡ്ജ് ബെവലിംഗ് ബെവലിംഗ്
ഉപരിതല പരുക്കൻ Si-Face Ra<0.2 nm Si-Face Ra<0.2nm
കനം 350.0 ± 25.0um 350.0 ± 25.0um
പോളിടൈപ്പ് 4H 4H
ഉത്തേജക മരുന്ന് പി-ടൈപ്പ് പി-ടൈപ്പ്

വലുപ്പവുമായി ബന്ധപ്പെട്ട മാനദണ്ഡങ്ങൾ

വലിപ്പം

6-ഇഞ്ച്
വ്യാസം 150.0 mm+0/-0.2 mm
ഉപരിതല ഓറിയൻ്റേഷൻ 4° നേരെ<11-20>±0.5°
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് നീളം 47.5 മിമി ± 1.5 മിമി
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് നീളം ഒന്നുമില്ല
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ സമാന്തരമായി <11-20>±5.0°
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ പ്രാഥമിക ± 5.0° മുതൽ 90°CW, സിലിക്കൺ മുഖം മുകളിലേക്ക്
ഉപരിതല ഫിനിഷ് സി-ഫേസ്: ഒപ്റ്റിക്കൽ പോളിഷ്, സി-ഫേസ്: സിഎംപി
വേഫർ എഡ്ജ് ബെവലിംഗ്
ഉപരിതല പരുക്കൻ Si-Face Ra<0.2 nm
കനം 350.0±25.0μm
പോളിടൈപ്പ് 4H
ഉത്തേജക മരുന്ന് പി-ടൈപ്പ്

രാമൻ

2-6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്-3

റോക്കിംഗ് കർവ്

2-6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്-4

ഡിസ്ലോക്കേഷൻ ഡെൻസിറ്റി (KOH എച്ചിംഗ്)

2-6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്-5

KOH ചിത്രങ്ങൾ ചിത്രീകരിക്കുന്നു

2-6 ഇഞ്ച് 4° ഓഫ് ആംഗിൾ പി-ടൈപ്പ് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്-6
SiC വേഫറുകൾ

  • മുമ്പത്തെ:
  • അടുത്തത്: