സെമിസെറയുടെ 6-ഇഞ്ച് LiNbO3 ബോണ്ടിംഗ് വേഫർ, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൻ്റെ കർശനമായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നതിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്, ഇത് ഗവേഷണത്തിലും ഉൽപാദന പരിതസ്ഥിതികളിലും സമാനതകളില്ലാത്ത പ്രകടനം നൽകുന്നു. ഹൈ-എൻഡ് ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ്, എംഇഎംഎസ്, അല്ലെങ്കിൽ അഡ്വാൻസ്ഡ് അർദ്ധചാലക പാക്കേജിംഗ് എന്നിവയ്ക്കായാലും, ഈ ബോണ്ടിംഗ് വേഫർ അത്യാധുനിക സാങ്കേതിക വികസനത്തിന് ആവശ്യമായ വിശ്വാസ്യതയും ഈടുതലും പ്രദാനം ചെയ്യുന്നു.
അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ, സെൻസറുകൾ, മൈക്രോ ഇലക്ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങൾ (MEMS) എന്നിവയിൽ നേർത്ത പാളികൾ ബന്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് 6 ഇഞ്ച് LiNbO3 ബോണ്ടിംഗ് വേഫർ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെയും (ICs) ഫോട്ടോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെയും ഫാബ്രിക്കേഷൻ പോലെ കൃത്യമായ ലെയർ ഇൻ്റഗ്രേഷൻ ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അതിൻ്റെ അസാധാരണമായ ഗുണങ്ങൾ ഇതിനെ വിലപ്പെട്ട ഘടകമാക്കുന്നു. വേഫറിൻ്റെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, അന്തിമ ഉൽപ്പന്നം ഒപ്റ്റിമൽ പ്രകടനം നിലനിർത്തുന്നു, ഉപകരണത്തിൻ്റെ വിശ്വാസ്യതയെ ബാധിച്ചേക്കാവുന്ന മലിനീകരണ സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.
LiNbO3 ൻ്റെ താപ, വൈദ്യുത ഗുണങ്ങൾ | |
ദ്രവണാങ്കം | 1250 ℃ |
ക്യൂറി താപനില | 1140 ℃ |
താപ ചാലകത | 38 W/m/K @ 25 ℃ |
താപ വികാസത്തിൻ്റെ ഗുണകം (@ 25°C) | //a, 2.0×10-6/കെ //c, 2.2×10-6/കെ |
പ്രതിരോധശേഷി | 2×10-6Ω·cm @ 200 ℃ |
വൈദ്യുത സ്ഥിരാങ്കം | εS11/ε0=43,εT11/ε0=78 εS33/ε0=28,εT33/ε0= 2 |
പീസോ ഇലക്ട്രിക് സ്ഥിരാങ്കം | D22=2.04×10-11സി/എൻ D33=19.22×10-11സി/എൻ |
ഇലക്ട്രോ-ഒപ്റ്റിക് കോഫിഫിഷ്യൻ്റ് | γT33=32 pm/V, γS33=31 pm/V, γT31=10 pm/V, γS31=8.6 pm/V, γT22=6.8 pm/V, γS22=3.4 pm/V, |
ഹാഫ്-വേവ് വോൾട്ടേജ്, ഡിസി | 3.03 കെ.വി 4.02 കെ.വി |
സെമിസെറയിൽ നിന്നുള്ള 6 ഇഞ്ച് LiNbO3 ബോണ്ടിംഗ് വേഫർ അർദ്ധചാലക, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായങ്ങളിലെ നൂതന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നു. മികച്ച വസ്ത്ര പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപ സ്ഥിരത, അസാധാരണമായ പരിശുദ്ധി എന്നിവയ്ക്ക് പേരുകേട്ട ഈ ബോണ്ടിംഗ് വേഫർ ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിന് അനുയോജ്യമാണ്, ആവശ്യമുള്ള സാഹചര്യങ്ങളിൽ പോലും ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യതയും കൃത്യതയും വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
അത്യാധുനിക സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച് രൂപകല്പന ചെയ്ത, 6 ഇഞ്ച് LiNbO3 ബോണ്ടിംഗ് വേഫർ കുറഞ്ഞ മലിനീകരണം ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഉയർന്ന അളവിലുള്ള പരിശുദ്ധി ആവശ്യമുള്ള അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദന പ്രക്രിയകൾക്ക് ഇത് നിർണായകമാണ്. ഇതിൻ്റെ മികച്ച താപ സ്ഥിരത, ഘടനാപരമായ സമഗ്രതയിൽ വിട്ടുവീഴ്ച ചെയ്യാതെ ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാൻ അനുവദിക്കുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന താപനില ബോണ്ടിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് വിശ്വസനീയമായ തിരഞ്ഞെടുപ്പായി മാറുന്നു. കൂടാതെ, വേഫറിൻ്റെ മികച്ച വസ്ത്ര പ്രതിരോധം, അത് ദീർഘകാല ഉപയോഗത്തിൽ സ്ഥിരതയോടെ പ്രവർത്തിക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ദീർഘകാല ഈട് നൽകുകയും ഇടയ്ക്കിടെ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കേണ്ടതിൻ്റെ ആവശ്യകത കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.