സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗിൻ്റെ ആമുഖം
ഞങ്ങളുടെ കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (CVD) സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) കോട്ടിംഗ്, ഉയർന്ന നാശവും താപ പ്രതിരോധവും ആവശ്യപ്പെടുന്ന പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യമായ, വളരെ മോടിയുള്ളതും ധരിക്കുന്ന പ്രതിരോധശേഷിയുള്ളതുമായ പാളിയാണ്.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ്CVD പ്രക്രിയയിലൂടെ വിവിധ അടിവസ്ത്രങ്ങളിൽ നേർത്ത പാളികളിൽ പ്രയോഗിക്കുന്നു, മികച്ച പ്രകടന സവിശേഷതകൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
പ്രധാന സവിശേഷതകൾ
● -അസാധാരണമായ ശുദ്ധി: അൾട്രാ പ്യുവർ കോമ്പോസിഷൻ അഭിമാനിക്കുന്നു99.99995%, നമ്മുടെSiC കോട്ടിംഗ്സെൻസിറ്റീവ് അർദ്ധചാലക പ്രവർത്തനങ്ങളിലെ മലിനീകരണ അപകടസാധ്യതകൾ കുറയ്ക്കുന്നു.
● -സുപ്പീരിയർ റെസിസ്റ്റൻസ്: കെമിക്കൽ, പ്ലാസ്മ സജ്ജീകരണങ്ങളെ വെല്ലുവിളിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്ന, തേയ്മാനത്തിനും നാശത്തിനും മികച്ച പ്രതിരോധം പ്രകടമാക്കുന്നു.
● -ഉയർന്ന താപ ചാലകത: അതിൻ്റെ മികച്ച താപ ഗുണങ്ങൾ കാരണം തീവ്രമായ താപനിലയിൽ വിശ്വസനീയമായ പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
● -ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത: കുറഞ്ഞ താപ വിപുലീകരണ ഗുണകത്തിന് നന്ദി, വൈവിധ്യമാർന്ന താപനിലകളിൽ ഘടനാപരമായ സമഗ്രത നിലനിർത്തുന്നു.
● -വർദ്ധിപ്പിച്ച കാഠിന്യം: കാഠിന്യം റേറ്റിംഗിനൊപ്പം40 GPa, ഞങ്ങളുടെ SiC കോട്ടിംഗ് കാര്യമായ ആഘാതത്തെയും ഉരച്ചിലിനെയും നേരിടുന്നു.
● -മിനുസമാർന്ന ഉപരിതല ഫിനിഷ്: ഒരു കണ്ണാടി പോലെയുള്ള ഫിനിഷ് നൽകുന്നു, കണികാ ഉത്പാദനം കുറയ്ക്കുകയും പ്രവർത്തനക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
അപേക്ഷകൾ
സെമിസെറ SiC കോട്ടിംഗുകൾഅർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിൽ ഇവ ഉപയോഗിക്കുന്നു:
● -എൽഇഡി ചിപ്പ് ഫാബ്രിക്കേഷൻ
● -പോളിസിലിക്കൺ ഉത്പാദനം
● -അർദ്ധചാലക ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ച
● -സിലിക്കണും SiC എപിറ്റാക്സിയും
● -തെർമൽ ഓക്സിഡേഷനും ഡിഫ്യൂഷനും (TO&D)
ഉയർന്ന ശക്തിയുള്ള ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് ഗ്രാഫൈറ്റ്, കാർബൺ ഫൈബർ-റൈൻഫോഴ്സ്ഡ് കാർബൺ, 4N റീക്രിസ്റ്റലൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എന്നിവയിൽ നിന്ന് തയ്യാറാക്കിയ SiC-കോട്ടഡ് ഘടകങ്ങൾ ഞങ്ങൾ വിതരണം ചെയ്യുന്നു, ഫ്ളൂയിഡൈസ്ഡ് ബെഡ് റിയാക്ടറുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.STC-TCS കൺവെർട്ടറുകൾ, CZ യൂണിറ്റ് റിഫ്‌ളക്ടറുകൾ, SiC വേഫർ ബോട്ട്, SiCwafer പാഡിൽ, SiC വേഫർ ട്യൂബ്, PECVD, സിലിക്കൺ എപ്പിറ്റാക്സി, MOCVD പ്രക്രിയകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വേഫർ കാരിയറുകൾ.
ആനുകൂല്യങ്ങൾ
● -വിപുലീകരിച്ച ആയുസ്സ്: ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയവും പരിപാലനച്ചെലവും ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുകയും മൊത്തത്തിലുള്ള ഉൽപ്പാദനക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
● -മെച്ചപ്പെട്ട ഗുണനിലവാരം: അർദ്ധചാലക സംസ്കരണത്തിന് ആവശ്യമായ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള പ്രതലങ്ങൾ കൈവരിക്കുന്നു, അങ്ങനെ ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെ ഗുണനിലവാരം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
● - വർദ്ധിച്ച കാര്യക്ഷമത: താപ, CVD പ്രക്രിയകൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നു, ഇത് കുറഞ്ഞ സൈക്കിൾ സമയവും ഉയർന്ന വിളവും നൽകുന്നു.
സാങ്കേതിക സവിശേഷതകൾ
● -ഘടന: FCC β ഫേസ് പോളിക്രിസ്റ്റലിൻ, പ്രധാനമായും (111)അധിഷ്ഠിതമാണ്
● -സാന്ദ്രത: 3.21 g/cm³
● -കാഠിന്യം: 2500 വിക്കസ് കാഠിന്യം (500 ഗ്രാം ലോഡ്)
● - ഒടിവ് കടുപ്പം: 3.0 MPa·m1/2
● -തെർമൽ എക്സ്പാൻഷൻ കോഫിഫിഷ്യൻ്റ് (100–600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● -ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ്(1300℃):435 ജിപിഎ
● -സാധാരണ ഫിലിം കനം:100 µm
● -ഉപരിതല പരുക്കൻ:2-10 µm
പ്യൂരിറ്റി ഡാറ്റ (ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് മാസ് സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പി ഉപയോഗിച്ച് അളക്കുന്നത്)
| ഘടകം | പിപിഎം | ഘടകം | പിപിഎം |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| അൽ | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
