സെമിസെറ ഉയർന്ന ശുദ്ധിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പാഡിൽആധുനിക അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളുടെ കർശനമായ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി സൂക്ഷ്മമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്. ഇത്SiC കാൻ്റിലിവർ പാഡിൽസമാനതകളില്ലാത്ത താപ സ്ഥിരതയും മെക്കാനിക്കൽ ഡ്യൂറബിലിറ്റിയും വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്ന ഉയർന്ന-താപനിലയിൽ മികവ് പുലർത്തുന്നു. വിവിധ പ്രക്രിയകളിലുടനീളം വിശ്വസനീയമായ വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ ഉറപ്പാക്കുന്ന, അങ്ങേയറ്റത്തെ അവസ്ഥകളെ ചെറുക്കുന്നതിനാണ് SiC കാൻ്റിലിവർ ഘടന നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
യുടെ പ്രധാന കണ്ടുപിടുത്തങ്ങളിലൊന്ന്SiC പാഡിൽഅതിൻ്റെ ഭാരം കുറഞ്ഞതും എന്നാൽ കരുത്തുറ്റതുമായ ഡിസൈനാണ്, നിലവിലുള്ള സിസ്റ്റങ്ങളിലേക്ക് എളുപ്പത്തിൽ സംയോജിപ്പിക്കാൻ ഇത് അനുവദിക്കുന്നു. ഇതിൻ്റെ ഉയർന്ന താപ ചാലകത, എച്ചിംഗ്, ഡിപ്പോസിഷൻ തുടങ്ങിയ നിർണായക ഘട്ടങ്ങളിൽ വേഫർ സ്ഥിരത നിലനിർത്താനും വേഫർ കേടുപാടുകൾ കുറയ്ക്കാനും ഉയർന്ന ഉൽപാദന ആദായം ഉറപ്പാക്കാനും സഹായിക്കുന്നു. പാഡിൽ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ ഉപയോഗം അതിൻ്റെ തേയ്മാനത്തിനും കീറിക്കുമുള്ള പ്രതിരോധം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും വിപുലീകൃത പ്രവർത്തന ആയുസ്സ് നൽകുകയും ഇടയ്ക്കിടെ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കേണ്ടതിൻ്റെ ആവശ്യകത കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
സെമിസെറ നവീകരണത്തിന് ശക്തമായ ഊന്നൽ നൽകുന്നു, ഡെലിവറി എSiC കാൻ്റിലിവർ പാഡിൽഅത് വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുക മാത്രമല്ല, കവിയുകയും ചെയ്യുന്നു. കൃത്യതയും വിശ്വാസ്യതയും നിർണായകമായ ഡിപ്പോസിഷൻ മുതൽ എച്ചിംഗ് വരെയുള്ള വിവിധ അർദ്ധചാലക ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഈ പാഡിൽ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്തിരിക്കുന്നു. ഈ അത്യാധുനിക സാങ്കേതികവിദ്യ സംയോജിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെ, നിർമ്മാതാക്കൾക്ക് മെച്ചപ്പെട്ട കാര്യക്ഷമതയും കുറഞ്ഞ പരിപാലന ചെലവും സ്ഥിരമായ ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരവും പ്രതീക്ഷിക്കാം.
റീക്രിസ്റ്റലൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ | |
സ്വത്ത് | സാധാരണ മൂല്യം |
പ്രവർത്തന താപനില (°C) | 1600°C (ഓക്സിജൻ ഉള്ളത്), 1700°C (പരിസ്ഥിതി കുറയ്ക്കുന്നു) |
SiC ഉള്ളടക്കം | > 99.96% |
സൗജന്യ Si ഉള്ളടക്കം | < 0.1% |
ബൾക്ക് സാന്ദ്രത | 2.60-2.70 ഗ്രാം / സെ.മീ3 |
പ്രകടമായ പൊറോസിറ്റി | < 16% |
കംപ്രഷൻ ശക്തി | > 600 MPa |
തണുത്ത വളയുന്ന ശക്തി | 80-90 MPa (20°C) |
ചൂടുള്ള വളയുന്ന ശക്തി | 90-100 MPa (1400°C) |
താപ വികാസം @1500°C | 4.70 10-6/°C |
താപ ചാലകത @1200°C | 23 W/m•K |
ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് | 240 GPa |
തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രതിരോധം | വളരെ നല്ലത് |