സോളിഡ് സിവിഡി സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഭാഗങ്ങൾ ആർടിപി/ഇപിഐ വളയങ്ങൾക്കും ബേസുകൾക്കും ഉയർന്ന സിസ്റ്റം ആവശ്യമായ പ്രവർത്തന താപനിലയിൽ (>1500℃) പ്രവർത്തിക്കുന്ന പ്ലാസ്ം എച്ച് കാവിറ്റി ഭാഗങ്ങൾക്കുമായുള്ള പ്രാഥമിക ചോയിസായി അംഗീകരിക്കപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു, പരിശുദ്ധിയുടെ ആവശ്യകതകൾ പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്നതാണ് (>99.9995%) രാസവസ്തുക്കളോടുള്ള പ്രതിരോധം പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്നതായിരിക്കുമ്പോൾ പ്രകടനം മികച്ചതാണ്. ഈ പദാർത്ഥങ്ങളിൽ ധാന്യത്തിൻ്റെ അരികിൽ ദ്വിതീയ ഘട്ടങ്ങൾ അടങ്ങിയിട്ടില്ല, അതിനാൽ അവയുടെ ഘടകങ്ങൾ മറ്റ് വസ്തുക്കളേക്കാൾ കുറച്ച് കണികകൾ ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു. കൂടാതെ, ഈ ഘടകങ്ങൾ ചൂടുള്ള HF/HCl ഉപയോഗിച്ച് ചെറിയ ഡിഗ്രേഡേഷൻ ഉപയോഗിച്ച് വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയും, ഇത് കുറച്ച് കണികകളും ദീർഘമായ സേവന ജീവിതവും നൽകുന്നു.
