സെമിസെറ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള കസ്റ്റം അവതരിപ്പിക്കുന്നുസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കാൻ്റിലിവർ പാഡിലുകൾഅർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾ ഉയർത്താൻ തയ്യാറാക്കിയത്. നൂതനമായSiC പാഡിൽഡിസൈൻ അസാധാരണമായ ഈടുവും ഉയർന്ന താപ പ്രതിരോധവും ഉറപ്പുനൽകുന്നു, ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തെ വെല്ലുവിളിക്കുന്ന വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന ഘടകമായി ഇത് മാറുന്നു.
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പാഡിൽഅർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദനത്തിൻ്റെ നിർണായക ഘട്ടങ്ങളിൽ വിശ്വസനീയമായ വേഫർ ഗതാഗതം ഉറപ്പാക്കിക്കൊണ്ട് ഘടനാപരമായ സമഗ്രത നിലനിർത്തിക്കൊണ്ടുതന്നെ അത്യധികമായ താപ ചക്രങ്ങളെ ചെറുക്കുന്ന തരത്തിലാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയോടെ, ഇത്വേഫർ ബോട്ട്വേഫറുകൾക്ക് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കാനുള്ള സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന വിളവിലേക്കും സ്ഥിരമായ ഉൽപാദന നിലവാരത്തിലേക്കും നയിക്കുന്നു.
സെമിസെറയുടെ SiC പാഡിലെ പ്രധാന പുതുമകളിലൊന്ന് അതിൻ്റെ ഇഷ്ടാനുസൃത ഡിസൈൻ ഓപ്ഷനുകളിലാണ്. നിർദ്ദിഷ്ട ഉൽപ്പാദന ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി, പാഡിൽ വിവിധ ഉപകരണ സജ്ജീകരണങ്ങളുമായി സംയോജിപ്പിക്കുന്നതിൽ വഴക്കം പ്രദാനം ചെയ്യുന്നു, ഇത് ആധുനിക ഫാബ്രിക്കേഷൻ പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ പരിഹാരമാക്കി മാറ്റുന്നു. ഭാരം കുറഞ്ഞതും എന്നാൽ കരുത്തുറ്റതുമായ നിർമ്മാണം എളുപ്പത്തിൽ കൈകാര്യം ചെയ്യാനും പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കാനും സഹായിക്കുന്നു, അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദനത്തിൽ മെച്ചപ്പെട്ട കാര്യക്ഷമതയ്ക്ക് സംഭാവന നൽകുന്നു.
അതിൻ്റെ താപ, മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾക്ക് പുറമേ,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പാഡിൽമികച്ച രാസ പ്രതിരോധം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, കഠിനമായ രാസ പരിതസ്ഥിതികളിൽ പോലും വിശ്വസനീയമായി പ്രവർത്തിക്കാൻ ഇത് അനുവദിക്കുന്നു. എച്ചിംഗ്, ഡിപ്പോസിഷൻ, ഉയർന്ന താപനില ചികിത്സ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്ന പ്രക്രിയകളിൽ ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് ഇത് പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു, ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഔട്ട്പുട്ടുകൾ ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് വേഫർ ബോട്ടിൻ്റെ സമഗ്രത നിലനിർത്തുന്നത് നിർണായകമാണ്.
റീക്രിസ്റ്റലൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ | |
സ്വത്ത് | സാധാരണ മൂല്യം |
പ്രവർത്തന താപനില (°C) | 1600°C (ഓക്സിജൻ ഉള്ളത്), 1700°C (പരിസ്ഥിതി കുറയ്ക്കുന്നു) |
SiC ഉള്ളടക്കം | > 99.96% |
സൗജന്യ Si ഉള്ളടക്കം | < 0.1% |
ബൾക്ക് സാന്ദ്രത | 2.60-2.70 ഗ്രാം / സെ.മീ3 |
പ്രകടമായ പൊറോസിറ്റി | < 16% |
കംപ്രഷൻ ശക്തി | > 600 MPa |
തണുത്ത വളയുന്ന ശക്തി | 80-90 MPa (20°C) |
ചൂടുള്ള വളയുന്ന ശക്തി | 90-100 MPa (1400°C) |
താപ വികാസം @1500°C | 4.70 10-6/°C |
താപ ചാലകത @1200°C | 23 W/m•K |
ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് | 240 GPa |
തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രതിരോധം | വളരെ നല്ലത് |