SEMICERA isostatic PECVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് PECVD (പ്ലാസ്മ മെച്ചപ്പെടുത്തിയ രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം) പ്രക്രിയയിൽ വേഫർ പിന്തുണയ്ക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ഉയർന്ന ശുദ്ധവും ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുമുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ഉൽപ്പന്നമാണ്. ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ടിന് മികച്ച ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, നാശ പ്രതിരോധം, ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത, നല്ല താപ ചാലകത എന്നിവ ഉണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ SEMICERA നൂതന ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തൽ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതാണ്.
SEMICERA isostatic PECVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ടിന് ഇനിപ്പറയുന്ന ഗുണങ്ങളുണ്ട്:
▪ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി: ഗ്രാഫൈറ്റ് മെറ്റീരിയൽ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും കുറഞ്ഞ അശുദ്ധിയും ഉള്ളതാണ്, ഇത് വേഫർ ഉപരിതലത്തിലെ മലിനീകരണം ഒഴിവാക്കും.
▪ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത: ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, ഉയർന്ന മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി, ഉയർന്ന താപനിലയും ഉയർന്ന വാക്വം പരിസ്ഥിതിയും നേരിടാൻ കഴിയും.
▪ നല്ല ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത: പ്രോസസ് സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കാൻ ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ചെറിയ അളവിലുള്ള മാറ്റം.
▪ മികച്ച താപ ചാലകത: വേഫർ അമിതമായി ചൂടാക്കുന്നത് തടയാൻ ചൂട് ഫലപ്രദമായി കൈമാറുക.
▪ ശക്തമായ നാശന പ്രതിരോധം: വിവിധ വിനാശകാരികളായ വാതകങ്ങളും പ്ലാസ്മയും മൂലമുള്ള മണ്ണൊലിപ്പിനെ പ്രതിരോധിക്കാൻ കഴിയും.
പ്രകടന പരാമീറ്റർ | സെമിസെറ | SGL R6510 | പ്രകടന പരാമീറ്റർ |
ബൾക്ക് ഡെൻസിറ്റി (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
വളയുന്ന ശക്തി (MPa) | 63 | 60 | 49 |
കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി (MPa) | 135 | 130 | 103 |
തീര കാഠിന്യം (HS) | 70 | 64 | 60 |
താപ വികാസത്തിൻ്റെ ഗുണകം (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
താപ വികാസത്തിൻ്റെ ഗുണകം (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
പ്രതിരോധശേഷി (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
ഞങ്ങളെ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിൻ്റെ പ്രയോജനങ്ങൾ:
▪ മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുക്കൽ: ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
▪ പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ: ഉൽപ്പന്ന സാന്ദ്രതയും ഏകീകൃതതയും ഉറപ്പാക്കാൻ ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
▪ വലിപ്പം ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ: ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് വ്യത്യസ്ത വലുപ്പത്തിലും ആകൃതിയിലും ഉള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ടുകൾ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നതാണ്.
▪ ഉപരിതല ചികിത്സ: വിവിധ പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി, കോട്ടിംഗ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, ബോറോൺ നൈട്രൈഡ് മുതലായവ പോലുള്ള വിവിധതരം ഉപരിതല സംസ്കരണ രീതികൾ നൽകിയിട്ടുണ്ട്.