പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ ഫോക്കസ് റിംഗുകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ മെറ്റീരിയൽ: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC)

പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ, സെറാമിക് ഘടകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടെ ഒരു നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നുഫോക്കസ് റിംഗ്.ദി ഫോക്കസ് റിംഗ്, വേഫറിന് ചുറ്റും സ്ഥാപിക്കുകയും അതുമായി നേരിട്ട് സമ്പർക്കം പുലർത്തുകയും ചെയ്യുന്നത് വളയത്തിലേക്ക് വോൾട്ടേജ് പ്രയോഗിച്ച് പ്ലാസ്മയെ വേഫറിലേക്ക് ഫോക്കസ് ചെയ്യുന്നതിന് അത്യാവശ്യമാണ്. ഇത് എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ഏകീകൃതത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.

എച്ചിംഗ് മെഷീനുകളിൽ SiC ഫോക്കസ് വളയങ്ങളുടെ പ്രയോഗം

SiC CVD ഘടകങ്ങൾഎച്ചിംഗ് മെഷീനുകളിൽ, പോലുള്ളവഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ, ഗ്യാസ് ഷവർഹെഡുകൾക്ലോറിൻ, ഫ്ലൂറിൻ അധിഷ്ഠിത എച്ചിംഗ് വാതകങ്ങൾ, അതിൻ്റെ ചാലകത എന്നിവയുമായുള്ള SiC യുടെ കുറഞ്ഞ പ്രതിപ്രവർത്തനം, പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവായി മാറുന്നതിനാൽ, പ്ലാറ്റനുകളും എഡ്ജ് വളയങ്ങളും അനുകൂലമാണ്.

ഒരു ഫോക്കസ് റിംഗ് മെറ്റീരിയലായി SiC യുടെ പ്രയോജനങ്ങൾ

വാക്വം റിയാക്ഷൻ ചേമ്പറിൽ പ്ലാസ്മ നേരിട്ട് എക്സ്പോഷർ ചെയ്യുന്നതിനാൽ, പ്ലാസ്മ പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള വസ്തുക്കളിൽ നിന്ന് ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ നിർമ്മിക്കേണ്ടതുണ്ട്. സിലിക്കൺ അല്ലെങ്കിൽ ക്വാർട്സ് ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച പരമ്പരാഗത ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ, ഫ്ലൂറിൻ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പ്ലാസ്മകളിൽ മോശം എച്ചിംഗ് പ്രതിരോധം അനുഭവിക്കുന്നു, ഇത് ദ്രുതഗതിയിലുള്ള നാശത്തിനും കാര്യക്ഷമത കുറയുന്നതിനും ഇടയാക്കുന്നു.

Si, CVD SiC ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ തമ്മിലുള്ള താരതമ്യം:

1. ഉയർന്ന സാന്ദ്രത:എച്ചിംഗ് വോളിയം കുറയ്ക്കുന്നു.

2. വൈഡ് ബാൻഡ്‌ഗാപ്പ്: മികച്ച ഇൻസുലേഷൻ നൽകുന്നു.

    3. ഉയർന്ന താപ ചാലകതയും കുറഞ്ഞ വിപുലീകരണ ഗുണകവും: തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രതിരോധം.

    4. ഉയർന്ന ഇലാസ്തികത:മെക്കാനിക്കൽ സ്വാധീനത്തിന് നല്ല പ്രതിരോധം.

    5. ഉയർന്ന കാഠിന്യം: ധരിക്കുന്നതും നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നതും.

അയോണിക് എച്ചിംഗിന് മികച്ച പ്രതിരോധം നൽകുമ്പോൾ SiC സിലിക്കണിൻ്റെ വൈദ്യുതചാലകത പങ്കിടുന്നു. ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് മിനിയേച്ചറൈസേഷൻ പുരോഗമിക്കുമ്പോൾ, കൂടുതൽ കാര്യക്ഷമമായ എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്കുള്ള ആവശ്യം വർദ്ധിക്കുന്നു. പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക്, പ്രത്യേകിച്ച് കപ്പാസിറ്റീവ് കപ്പിൾഡ് പ്ലാസ്മ (CCP) ഉപയോഗിക്കുന്നവയ്ക്ക് ഉയർന്ന പ്ലാസ്മ ഊർജ്ജം ആവശ്യമാണ്.SiC ഫോക്കസ് റിംഗ് ചെയ്യുന്നുവർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ജനപ്രീതി.

Si, CVD SiC ഫോക്കസ് റിംഗ് പാരാമീറ്ററുകൾ:

പരാമീറ്റർ	സിലിക്കൺ (Si)	CVD സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC)
സാന്ദ്രത (g/cm³)	2.33	3.21
ബാൻഡ് ഗ്യാപ്പ് (eV)	1.12	2.3
താപ ചാലകത (W/cm°C)	1.5	5
തെർമൽ എക്സ്പാൻഷൻ കോഫിഫിഷ്യൻ്റ് (x10⁻⁶/°C)	2.6	4
ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് (GPa)	150	440
കാഠിന്യം	താഴ്ന്നത്	ഉയർന്നത്

 

SiC ഫോക്കസ് വളയങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ

അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളിൽ, സിവിഡി (കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ) സാധാരണയായി SiC ഘടകങ്ങൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. നീരാവി നിക്ഷേപം വഴി പ്രത്യേക രൂപങ്ങളിൽ SiC നിക്ഷേപിച്ചാണ് ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നത്, തുടർന്ന് അന്തിമ ഉൽപ്പന്നം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് മെക്കാനിക്കൽ പ്രോസസ്സിംഗ്. നീരാവി നിക്ഷേപത്തിനായുള്ള മെറ്റീരിയൽ അനുപാതം വിപുലമായ പരീക്ഷണങ്ങൾക്ക് ശേഷം നിശ്ചയിച്ചിരിക്കുന്നു, പ്രതിരോധശേഷി പോലുള്ള പാരാമീറ്ററുകൾ സ്ഥിരത കൈവരിക്കുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, വ്യത്യസ്ത എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് വ്യത്യസ്ത പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള ഫോക്കസ് റിംഗുകൾ ആവശ്യമായി വന്നേക്കാം, ഓരോ സ്പെസിഫിക്കേഷനും പുതിയ മെറ്റീരിയൽ റേഷ്യോ പരീക്ഷണങ്ങൾ ആവശ്യമായി വന്നേക്കാം, ഇത് സമയമെടുക്കുന്നതും ചെലവേറിയതുമാണ്.

തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിലൂടെSiC ഫോക്കസ് റിംഗ് ചെയ്യുന്നുനിന്ന്സെമിസെറ അർദ്ധചാലകം, ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് ദൈർഘ്യമേറിയ റീപ്ലേസ്‌മെൻ്റ് സൈക്കിളുകളുടെയും മികച്ച പ്രകടനത്തിൻ്റെയും നേട്ടങ്ങൾ ചെലവിൽ ഗണ്യമായ വർദ്ധനവ് കൂടാതെ നേടാനാകും.

റാപ്പിഡ് തെർമൽ പ്രോസസ്സിംഗ് (ആർടിപി) ഘടകങ്ങൾ

CVD SiC-യുടെ അസാധാരണമായ തെർമൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ RTP ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. എഡ്ജ് റിംഗുകളും പ്ലാറ്റനുകളും ഉൾപ്പെടെയുള്ള RTP ഘടകങ്ങൾ CVD SiC-ൽ നിന്ന് പ്രയോജനം നേടുന്നു. ആർടിപി സമയത്ത്, തീവ്രമായ ചൂട് പൾസുകൾ വ്യക്തിഗത വേഫറുകളിൽ ഹ്രസ്വകാലത്തേക്ക് പ്രയോഗിക്കുന്നു, തുടർന്ന് ദ്രുതഗതിയിലുള്ള തണുപ്പിക്കൽ. CVD SiC എഡ്ജ് വളയങ്ങൾ, നേർത്തതും കുറഞ്ഞ താപ പിണ്ഡമുള്ളതും, കാര്യമായ ചൂട് നിലനിർത്തുന്നില്ല, ദ്രുതഗതിയിലുള്ള ചൂടാക്കലും തണുപ്പിക്കൽ പ്രക്രിയകളും അവയെ ബാധിക്കില്ല.

പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ഘടകങ്ങൾ

CVD SiC-യുടെ ഉയർന്ന രാസ പ്രതിരോധം, എച്ചിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. പല എച്ചിംഗ് ചേമ്പറുകളും എച്ചിംഗ് വാതകങ്ങൾ വിതരണം ചെയ്യാൻ CVD SiC ഗ്യാസ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ പ്ലേറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, പ്ലാസ്മ ഡിസ്പർഷനുവേണ്ടി ആയിരക്കണക്കിന് ചെറിയ ദ്വാരങ്ങൾ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു. ഇതര വസ്തുക്കളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, CVD SiC യ്ക്ക് ക്ലോറിൻ, ഫ്ലൂറിൻ വാതകങ്ങളുമായി കുറഞ്ഞ പ്രതിപ്രവർത്തനം ഉണ്ട്. ഡ്രൈ എച്ചിംഗിൽ, ഫോക്കസ് റിംഗുകൾ, ഐസിപി പ്ലാറ്റനുകൾ, ബൗണ്ടറി റിംഗുകൾ, ഷവർഹെഡുകൾ തുടങ്ങിയ CVD SiC ഘടകങ്ങളാണ് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്.

പ്ലാസ്മ ഫോക്കസിംഗിനുള്ള വോൾട്ടേജുള്ള SiC ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾക്ക് മതിയായ ചാലകത ഉണ്ടായിരിക്കണം. സാധാരണയായി സിലിക്കൺ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ ഫ്ലൂറിൻ, ക്ലോറിൻ എന്നിവ അടങ്ങിയ റിയാക്ടീവ് വാതകങ്ങൾക്ക് വിധേയമാകുന്നു, ഇത് അനിവാര്യമായ നാശത്തിലേക്ക് നയിക്കുന്നു. സിലിക്കൺ വളയങ്ങളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ SiC ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ, അവയുടെ മികച്ച നാശന പ്രതിരോധം, ദീർഘായുസ്സ് വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.

ജീവിതചക്രം താരതമ്യം:

· SiC ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ:ഓരോ 15 മുതൽ 20 ദിവസം വരെ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുന്നു.
· സിലിക്കൺ ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ:ഓരോ 10 മുതൽ 12 ദിവസം വരെ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുന്നു.

SiC വളയങ്ങൾ സിലിക്കൺ വളയങ്ങളേക്കാൾ 2 മുതൽ 3 മടങ്ങ് വരെ വില കൂടുതലാണെങ്കിലും, വിപുലീകൃത റീപ്ലേസ്‌മെൻ്റ് സൈക്കിൾ മൊത്തത്തിലുള്ള ഘടകങ്ങൾ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കാനുള്ള ചെലവ് കുറയ്ക്കുന്നു, കാരണം ഫോക്കസ് റിംഗ് മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുന്നതിനായി ചേമ്പർ തുറക്കുമ്പോൾ ചേമ്പറിലെ എല്ലാ വസ്ത്ര ഭാഗങ്ങളും ഒരേസമയം മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുന്നു.

സെമിസെറ അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെ SiC ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ

ഏകദേശം 30 ദിവസത്തെ ലീഡ് സമയത്തോടെ, സിലിക്കൺ വളയങ്ങളുടേതിന് അടുത്തുള്ള വിലയിൽ Semicera അർദ്ധചാലകങ്ങൾ SiC ഫോക്കസ് വളയങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. സെമിസെറയുടെ SiC ഫോക്കസ് റിംഗുകൾ പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിലേക്ക് സമന്വയിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെ, കാര്യക്ഷമതയും ദീർഘായുസ്സും ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും മൊത്തത്തിലുള്ള പരിപാലനച്ചെലവ് കുറയ്ക്കുകയും ഉൽപ്പാദനക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. കൂടാതെ, നിർദ്ദിഷ്ട ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി സെമിസെറയ്ക്ക് ഫോക്കസ് റിംഗുകളുടെ പ്രതിരോധശേഷി ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാനാകും.

Semicera അർദ്ധചാലകത്തിൽ നിന്ന് SiC ഫോക്കസ് റിംഗുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിലൂടെ, ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് ദൈർഘ്യമേറിയ റീപ്ലേസ്‌മെൻ്റ് സൈക്കിളുകളുടെയും മികച്ച പ്രകടനത്തിൻ്റെയും നേട്ടങ്ങൾ ചെലവിൽ ഗണ്യമായ വർദ്ധനവ് ഇല്ലാതെ നേടാനാകും.