PART/1CVD (രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം) രീതി: 900-2300℃, TaCl5, CnHm എന്നിവ ടാൻ്റലം, കാർബൺ സ്രോതസ്സുകളായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, H₂ കുറയ്ക്കുന്ന അന്തരീക്ഷം, Ar₂as കാരിയർ ഗ്യാസ്, റിയാക്ഷൻ ഡിപ്പോസിഷൻ ഫിലിം. തയ്യാറാക്കിയ പൂശുന്നു കോംപാക്ട്, യൂണിഫോം, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി. എന്നിരുന്നാലും, ചില പ്രശ്നങ്ങൾ ഉണ്ട് ...
കൂടുതൽ വായിക്കുക