SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളുടെ പ്രോസസ്സിംഗിലെ പ്രധാന ഘട്ടങ്ങൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

 

SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾക്കായി ഞങ്ങൾ എങ്ങനെ നിർമ്മിക്കുന്നു-പ്രോസസ്സിംഗ് ഘട്ടങ്ങൾ ഇനിപ്പറയുന്നതാണ്:

 

1. ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയൻ്റേഷൻ:

ക്രിസ്റ്റൽ ഇൻഗോട്ടിനെ ഓറിയൻ്റുചെയ്യാൻ എക്സ്-റേ ഡിഫ്രാക്ഷൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഒരു എക്സ്-റേ ബീം ആവശ്യമുള്ള ക്രിസ്റ്റൽ മുഖത്തേക്ക് നയിക്കുമ്പോൾ, ഡിഫ്രാക്റ്റഡ് ബീമിൻ്റെ കോൺ ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയൻ്റേഷൻ നിർണ്ണയിക്കുന്നു.

 

2. പുറം വ്യാസമുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ്:

ഗ്രാഫൈറ്റ് ക്രൂസിബിളുകളിൽ വളരുന്ന ഒറ്റ പരലുകൾ പലപ്പോഴും സാധാരണ വ്യാസം കവിയുന്നു. പുറം വ്യാസമുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ് അവയെ സ്റ്റാൻഡേർഡ് വലുപ്പത്തിലേക്ക് കുറയ്ക്കുന്നു.

 

 

3. അവസാനം മുഖം അരക്കൽ:

4-ഇഞ്ച് 4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾക്ക് സാധാരണയായി പ്രാഥമികവും ദ്വിതീയവുമായ രണ്ട് സ്ഥാനനിർണ്ണയ അരികുകൾ ഉണ്ട്. എൻഡ് ഫേസ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഈ പൊസിഷനിംഗ് അരികുകൾ തുറക്കുന്നു.

 

4. വയർ സോവിംഗ്:

4H-SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഒരു നിർണായക ഘട്ടമാണ് വയർ സോവിംഗ്. വയർ സോവിംഗ് സമയത്ത് ഉണ്ടാകുന്ന വിള്ളലുകളും ഉപ ഉപരിതല നാശവും തുടർന്നുള്ള പ്രക്രിയകളെ പ്രതികൂലമായി ബാധിക്കുകയും പ്രോസസ്സിംഗ് സമയം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും മെറ്റീരിയൽ നഷ്ടം ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഡയമണ്ട് ഉരച്ചിലുകളുള്ള മൾട്ടി-വയർ സോവിംഗ് ആണ് ഏറ്റവും സാധാരണമായ രീതി. 4H-SiC ഇൻഗോട്ട് മുറിക്കുന്നതിന് ഡയമണ്ട് അബ്രസിവുകളുമായി ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്ന മെറ്റൽ വയറുകളുടെ ഒരു പരസ്പര ചലനം ഉപയോഗിക്കുന്നു.

 

5. ചാംഫറിംഗ്:

എഡ്ജ് ചിപ്പിംഗ് തടയുന്നതിനും തുടർന്നുള്ള പ്രക്രിയകളിൽ ഉപഭോഗ നഷ്ടം കുറയ്ക്കുന്നതിനും, വയർ-സോൺ ചിപ്പുകളുടെ മൂർച്ചയുള്ള അറ്റങ്ങൾ നിർദ്ദിഷ്ട ആകൃതികളിലേക്ക് മാറ്റുന്നു.

 

6. മെലിഞ്ഞത്:

വയർ സോവിംഗ് ധാരാളം പോറലുകളും ഉപ ഉപരിതല നാശനഷ്ടങ്ങളും ഉണ്ടാക്കുന്നു. ഈ വൈകല്യങ്ങൾ കഴിയുന്നത്ര നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി ഡയമണ്ട് വീലുകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് കനംകുറഞ്ഞത്.

 

7. അരക്കൽ:

ഈ പ്രക്രിയയിൽ ചെറിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള ബോറോൺ കാർബൈഡ് അല്ലെങ്കിൽ ഡയമണ്ട് അബ്രസീവുകൾ ഉപയോഗിച്ച് പരുക്കൻ പൊടിക്കലും നന്നായി പൊടിക്കലും ഉൾപ്പെടുന്നു, അവശിഷ്ടമായ നാശനഷ്ടങ്ങളും കനംകുറഞ്ഞ സമയത്ത് അവതരിപ്പിക്കുന്ന പുതിയ കേടുപാടുകളും നീക്കംചെയ്യുന്നു.

 

8. പോളിഷിംഗ്:

അവസാന ഘട്ടങ്ങളിൽ അലുമിന അല്ലെങ്കിൽ സിലിക്കൺ ഓക്സൈഡ് ഉരച്ചിലുകൾ ഉപയോഗിച്ച് പരുക്കൻ മിനുക്കലും നന്നായി മിനുക്കലും ഉൾപ്പെടുന്നു. പോളിഷിംഗ് ലിക്വിഡ് ഉപരിതലത്തെ മൃദുവാക്കുന്നു, അത് ഉരച്ചിലുകൾ വഴി യാന്ത്രികമായി നീക്കംചെയ്യുന്നു. ഈ ഘട്ടം മിനുസമാർന്നതും കേടുപാടുകളില്ലാത്തതുമായ ഉപരിതലം ഉറപ്പാക്കുന്നു.

 

9. വൃത്തിയാക്കൽ:

പ്രോസസ്സിംഗ് ഘട്ടങ്ങളിൽ നിന്ന് അവശേഷിക്കുന്ന കണങ്ങൾ, ലോഹങ്ങൾ, ഓക്സൈഡ് ഫിലിമുകൾ, ഓർഗാനിക് അവശിഷ്ടങ്ങൾ, മറ്റ് മാലിന്യങ്ങൾ എന്നിവ നീക്കം ചെയ്യുന്നു.