English

PECVD കാരിയർ

വേഫർ കാരിയറിൻ്റെ ആമുഖം

വേഫർ കാരിയർ
വേഫർ കാരിയർ
വേഫർ കാരിയർ

ഉൽപ്പന്ന കാറ്റഗറി

▶PECVD & TALOX പ്രോസസ്സിനായുള്ള വേഫർ കാരിയർ സിസ്റ്റം
• PECVD & TALOX ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (M4~M12)
• ലംബമായ SM-ബോട്ട് (M4, M6)
• ഇംപ്ലാൻ്റ് & ഷവർ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഭാഗം (M4~M6)
• സി/സി ട്രേ & സെറാമിക് കോട്ടിംഗ്
• മെറ്റൽ RIE-ട്രേ & സെറാമിക് കോട്ടിംഗ്
• വാക്വം സീലിംഗ് : O-റിംഗ് & SQ-റിംഗ്
 
▶ടെക്സ്ചറിംഗ് & വെറ്റ് എച്ചിംഗ് ട്രാൻസ്ഫർ പ്രോസസ്
• LSC H-കാരിയർ അല്ലെങ്കിൽ കാസറ്റ് (M4~M12)
• LSC V-കാരിയർ അല്ലെങ്കിൽ കാസറ്റ് (M4~M12)
• ASC കാരിയർ അല്ലെങ്കിൽ കാസറ്റ് (M4, M6)
• W/F കാരിയർ & സ്റ്റോറേജ് ബോക്സ് (M4~M12)
• ട്രാൻസ്പോർട്ട് വീൽ (റോളർ) സീരീസ്
 
▶സോളാർ സെൽ കാരിയർ & മെറ്റൽ കാരിയർ
• TRC കാരിയർ അല്ലെങ്കിൽ കാസറ്റ് (M4~M12)
• മാഗസിൻ (ബെൽറ്റിനൊപ്പം)
ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)19P6-216CT (WF M4~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)

19P6-216CT (WF M4~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)21P6-240CT WF M4~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)

21P6-240CT WF M4~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)23P7-308CT(W/F M4~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)

23P7-308CT(W/F M4~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)22P/7-294TP (W/F M4~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)

22P/7-294TP (W/F M4~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (H-1ype)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (എച്ച്-ടൈപ്പ്)

W182-22P7-294CT (W/F M12)

W182-21P6-240CT (W/F M12)

WF കാരിയർ & സ്റ്റോറേജ് ബോക്സ് (~M12) (1)

WF കാരിയർ & സ്റ്റോറേജ് ബോക്സ് (~M12)

第12页-106

C/C TRAY അല്ലെങ്കിൽ CARRIER( M4~M10)

വെർട്ടിക്കൽ ബോട്ട് (LP2)M6

C/C TRAY അല്ലെങ്കിൽ CARRIER( M4~M10)

വെർട്ടിക്കൽ ബോട്ട് (SM) M6

വെർട്ടിക്കൽ ബോട്ട് (SM) M6

LSC-H-CARRIER(~M12)

LSC-H-CARRIER(~M12)

LSC-V-CARRIER(~M12)

LSC-V-CARRIER(~M12)

LSC-V-CARRIER(~M12)

ASC കാരിയർ (~M6)

TRC CARRIER(~M12)

TRC CARRIER(~M12)

TRC CARRIER(~M12)

TRC CARRIER(~M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട്(M12)

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട്(M12)

PECVD പ്രോസസ്സിനായുള്ള വേഫർ കാരിയർ സിസ്റ്റം

വേഫർ കാരിയർ സിസ്റ്റം
വേഫർ കാരിയർ സിസ്റ്റം
വേഫർ കാരിയർ സിസ്റ്റം
▶ ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (സിടി രൂപകല്പന ചെയ്തത്) M10/M12 പ്രക്രിയ
• പ്രത്യേക ഡിസൈൻ ആശയം
▶ ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് (സിടി രൂപകല്പന ചെയ്തത്) M4/M6 പ്രക്രിയ
ബോട്ട് ആക്സസറി ഭാഗങ്ങൾ

▶ ബോട്ട് ആക്സസറി ഭാഗങ്ങൾ

第13页-130
ഗൈഡ് പിൻ: പേറ്റൻ്റ് ഡിസൈൻ ഉൽപ്പന്നം
微信截图_20241220165538
▶ വെർട്ടിക്കൽ ബോട്ട്-161.7എംഎം വേഫർ
微信截图_20241220172323
▶ വെർട്ടിക്കൽ ബോട്ട്-166 എംഎം വേഫർ
微信截图_20241220172430
▶ വെർട്ടിക്കൽ ബോട്ട്-161.7എംഎം, 166എംഎം വേഫർ
微信截图_20241220172217

സോളാർ സെൽ കാരിയർ & മെറ്റൽ TRC കാരിയർ

തരം: ഓട്ടോമേഷൻ
 
വേഫർ വലുപ്പം : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
 
ഉപയോഗം: കൊണ്ടുപോകുക (കാസറ്റ്)
 
ശേഷി: 100 ഷീറ്റ്
 
പിച്ച്: 4.76എംഎം/5.953എംഎം/6.35എംഎം
 
അളവ്: ഏകദേശം 559×220×220MM
ഏകദേശം 712×260×260എംഎം
 
പ്രയോജനം: അന്തരീക്ഷം
 
മെറ്റീരിയൽ: ഫ്ലേം, സൈഡ് ബാർ-അലൂമിനിയം (ആനോഡൈസിംഗ്)
സൈഡ് പ്ലേറ്റ്-പോം (ആൻ്റിസ്റ്റാറ്റിക്)
താഴെയുള്ള ബാറിൻ്റെ കവർ-EPDM/PU/VITON (ASE)
第15页-145

TRC-മെറ്റൽ കാരിയർ (U'SER ലൈൻ)

第15页-147

TRC-മെറ്റൽ കാരിയർ (U'SER ലൈൻ)

第15页-146

TRC-മെറ്റൽ കാരിയർ (U'SER ലൈൻ)

第15页-157
第15页-156
第15页-155

ഷവർ പ്ലേറ്റ് & ഇംപ്ലാൻ്റ്, കാരിയർ

微信截图_20241220174434