സെമിസെറവാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നതിൽ സന്തോഷമുണ്ട്PFA കാസറ്റ്, രാസ പ്രതിരോധവും ഈടുതലും പരമപ്രധാനമായ പരിതസ്ഥിതികളിൽ വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രീമിയം തിരഞ്ഞെടുപ്പ്. ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള പെർഫ്ലൂറോഅൽകോക്സി (പിഎഫ്എ) മെറ്റീരിയലിൽ നിന്ന് രൂപകല്പന ചെയ്ത ഈ കാസറ്റ്, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലെ ഏറ്റവും ആവശ്യപ്പെടുന്ന സാഹചര്യങ്ങളെ ചെറുക്കുന്നതിനാണ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്, നിങ്ങളുടെ വേഫറുകളുടെ സുരക്ഷയും സമഗ്രതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
സമാനതകളില്ലാത്ത രാസ പ്രതിരോധംദിPFA കാസറ്റ്വൈവിധ്യമാർന്ന രാസവസ്തുക്കൾക്ക് മികച്ച പ്രതിരോധം നൽകുന്നതിനാണ് ഇത് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്, ഇത് ആക്രമണാത്മക ആസിഡുകൾ, ലായകങ്ങൾ, മറ്റ് കഠിനമായ രാസവസ്തുക്കൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്ന പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ തിരഞ്ഞെടുപ്പായി മാറുന്നു. ഈ ശക്തമായ രാസ പ്രതിരോധം, കാസറ്റ് ഏറ്റവും നാശകരമായ അന്തരീക്ഷത്തിൽ പോലും കേടുകൂടാതെയും പ്രവർത്തനക്ഷമമായും നിലനിൽക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, അതുവഴി അതിൻ്റെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും പതിവായി മാറ്റിസ്ഥാപിക്കേണ്ടതിൻ്റെ ആവശ്യകത കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള നിർമ്മാണംസെമിസെറയുടെPFA കാസറ്റ്അൾട്രാ പ്യുവർ PFA മെറ്റീരിയലിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇത് വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് മലിനീകരണം തടയുന്നതിൽ നിർണായകമാണ്. ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഈ നിർമ്മാണം കണികാ ഉൽപ്പാദനത്തിൻ്റെയും കെമിക്കൽ ലീച്ചിംഗിൻ്റെയും അപകടസാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു, നിങ്ങളുടെ വേഫറുകൾ അവയുടെ ഗുണനിലവാരത്തിൽ വിട്ടുവീഴ്ച ചെയ്യാവുന്ന മാലിന്യങ്ങളിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കപ്പെടുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
മെച്ചപ്പെട്ട ഡ്യൂറബിലിറ്റിയും പ്രകടനവുംസുസ്ഥിരതയ്ക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്PFA കാസറ്റ്തീവ്രമായ താപനിലയിലും കർശനമായ പ്രോസസ്സിംഗ് അവസ്ഥയിലും അതിൻ്റെ ഘടനാപരമായ സമഗ്രത നിലനിർത്തുന്നു. ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിന് വിധേയമായാലും അല്ലെങ്കിൽ ആവർത്തിച്ചുള്ള കൈകാര്യം ചെയ്യലിന് വിധേയമായാലും, ഈ കാസറ്റ് അതിൻ്റെ രൂപവും പ്രകടനവും നിലനിർത്തുന്നു, ആവശ്യപ്പെടുന്ന നിർമ്മാണ അന്തരീക്ഷത്തിൽ ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
സുരക്ഷിതമായ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള പ്രിസിഷൻ എഞ്ചിനീയറിംഗ്ദിസെമിസെറ PFA കാസറ്റ്സുരക്ഷിതവും സുസ്ഥിരവുമായ വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ ഉറപ്പാക്കുന്ന കൃത്യമായ എഞ്ചിനീയറിംഗ് സവിശേഷതകൾ. ഓരോ സ്ലോട്ടും ശ്രദ്ധാപൂർവം രൂപകൽപന ചെയ്തിരിക്കുന്നത് വേഫറുകൾ സുരക്ഷിതമായി സൂക്ഷിക്കുന്നതിനും, കേടുപാടുകൾക്ക് കാരണമായേക്കാവുന്ന ഏതെങ്കിലും ചലനമോ ഷിഫ്റ്റിംഗോ തടയുന്നു. ഈ പ്രിസിഷൻ എഞ്ചിനീയറിംഗ് സ്ഥിരവും കൃത്യവുമായ വേഫർ പ്ലേസ്മെൻ്റിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, ഇത് മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രോസസ്സ് കാര്യക്ഷമതയിലേക്ക് സംഭാവന ചെയ്യുന്നു.
പ്രക്രിയകളിലുടനീളം ബഹുമുഖ ആപ്ലിക്കേഷൻഅതിൻ്റെ ഉയർന്ന മെറ്റീരിയൽ ഗുണങ്ങൾക്ക് നന്ദി, thePFA കാസറ്റ്അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കാൻ കഴിയുന്നത്ര ബഹുമുഖമാണ്. വെറ്റ് എച്ചിംഗ്, കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി), കഠിനമായ രാസ പരിതസ്ഥിതികൾ ഉൾപ്പെടുന്ന മറ്റ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയ്ക്ക് ഇത് പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാണ്. അതിൻ്റെ പൊരുത്തപ്പെടുത്തൽ പ്രക്രിയയുടെ സമഗ്രതയും വേഫർ ഗുണനിലവാരവും നിലനിർത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന ഉപകരണമാക്കി മാറ്റുന്നു.
ഗുണനിലവാരത്തിനും നൂതനത്വത്തിനുമുള്ള പ്രതിബദ്ധതസെമിസെറയിൽ, ഉയർന്ന വ്യവസായ നിലവാരം പുലർത്തുന്ന ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ നൽകാൻ ഞങ്ങൾ പ്രതിജ്ഞാബദ്ധരാണ്. ദിPFA കാസറ്റ്ഈ പ്രതിബദ്ധതയെ ഉദാഹരിക്കുന്നു, നിങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ തടസ്സമില്ലാതെ സമന്വയിപ്പിക്കുന്ന ഒരു വിശ്വസനീയമായ പരിഹാരം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഓരോ കാസറ്റും ഞങ്ങളുടെ കർശനമായ പ്രകടന മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ കർശനമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണത്തിന് വിധേയമാകുന്നു, സെമിസെറയിൽ നിന്ന് നിങ്ങൾ പ്രതീക്ഷിക്കുന്ന മികവ് നൽകുന്നു.
ഇനങ്ങൾ | ഉത്പാദനം | ഗവേഷണം | ഡമ്മി |
ക്രിസ്റ്റൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
പോളിടൈപ്പ് | 4H | ||
ഉപരിതല ഓറിയൻ്റേഷൻ പിശക് | <11-20 >4±0.15° | ||
ഇലക്ട്രിക്കൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
ഡോപൻ്റ് | n-തരം നൈട്രജൻ | ||
പ്രതിരോധശേഷി | 0.015-0.025ohm·cm | ||
മെക്കാനിക്കൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
വ്യാസം | 150.0 ± 0.2 മിമി | ||
കനം | 350± 25 μm | ||
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ | [1-100]±5° | ||
പ്രാഥമിക പരന്ന നീളം | 47.5 ± 1.5 മിമി | ||
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് | ഒന്നുമില്ല | ||
ടി.ടി.വി | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
എൽ.ടി.വി | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
വില്ല് | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
വാർപ്പ് | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
ഫ്രണ്ട് (Si-മുഖം) പരുക്കൻത (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ഘടന | |||
മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
ബിപിഡി | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
ടി.എസ്.ഡി | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
ഫ്രണ്ട് ക്വാളിറ്റി | |||
ഫ്രണ്ട് | Si | ||
ഉപരിതല ഫിനിഷ് | സി-ഫേസ് സിഎംപി | ||
കണികകൾ | ≤60ea/വേഫർ (വലിപ്പം≥0.3μm) | NA | |
പോറലുകൾ | ≤5ea/mm. ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം ≤വ്യാസം | ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം≤2*വ്യാസം | NA |
ഓറഞ്ച് തൊലി / കുഴികൾ / പാടുകൾ / വരകൾ / വിള്ളലുകൾ / മലിനീകരണം | ഒന്നുമില്ല | NA | |
എഡ്ജ് ചിപ്സ്/ഇൻഡൻ്റുകൾ/ഫ്രാക്ചർ/ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ | ഒന്നുമില്ല | ||
പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ | ഒന്നുമില്ല | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ≤20% | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ≤30% |
ഫ്രണ്ട് ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | ഒന്നുമില്ല | ||
ബാക്ക് ക്വാളിറ്റി | |||
ബാക്ക് ഫിനിഷ് | സി-ഫേസ് സിഎംപി | ||
പോറലുകൾ | ≤5ea/mm, ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം≤2*വ്യാസം | NA | |
പിന്നിലെ വൈകല്യങ്ങൾ (എഡ്ജ് ചിപ്പുകൾ/ഇൻഡൻ്റുകൾ) | ഒന്നുമില്ല | ||
പുറം പരുക്കൻ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ബാക്ക് ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | 1 മില്ലീമീറ്റർ (മുകളിൽ നിന്ന്) | ||
എഡ്ജ് | |||
എഡ്ജ് | ചാംഫർ | ||
പാക്കേജിംഗ് | |||
പാക്കേജിംഗ് | വാക്വം പാക്കേജിംഗിനൊപ്പം എപ്പി-റെഡി മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ് | ||
*കുറിപ്പുകൾ: "NA" എന്നാൽ അഭ്യർത്ഥന ഇല്ല എന്നാണ് അർത്ഥമാക്കുന്നത് പരാമർശിക്കാത്ത ഇനങ്ങൾ SEMI-STD-യെ പരാമർശിച്ചേക്കാം. |