SiC കോട്ടിംഗ് ഗ്രാഫൈറ്റ് വേഫർ സസെപ്റ്റർ

1. സുപ്പീരിയർ മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾഉയർന്ന ഗ്രേഡ് SiC-യിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച, ഞങ്ങളുടെ വേഫർ സസെപ്റ്ററുകൾ അസാധാരണമായ താപ ചാലകതയും രാസ പ്രതിരോധവും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു. ഈ ഗുണങ്ങൾ ഉയർന്ന താപനിലയും വിനാശകരമായ വാതകങ്ങളും ഉൾപ്പെടെയുള്ള MOCVD പ്രക്രിയകളുടെ അങ്ങേയറ്റത്തെ അവസ്ഥയെ ചെറുക്കാൻ അവരെ പ്രാപ്തരാക്കുന്നു, ദീർഘായുസ്സും വിശ്വസനീയമായ പ്രകടനവും ഉറപ്പാക്കുന്നു.

2. എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിപ്പോസിഷനിലെ കൃത്യതഞങ്ങളുടെ SiC വേഫർ സസെപ്റ്ററുകളുടെ കൃത്യമായ എഞ്ചിനീയറിംഗ്, വേഫർ ഉപരിതലത്തിലുടനീളം ഏകീകൃത താപനില വിതരണം ഉറപ്പാക്കുന്നു, സ്ഥിരവും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതുമായ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി വളർച്ച സുഗമമാക്കുന്നു. ഒപ്റ്റിമൽ ഇലക്ട്രിക്കൽ ഗുണങ്ങളുള്ള അർദ്ധചാലകങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിന് ഈ കൃത്യത വളരെ പ്രധാനമാണ്.

3. മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ഈട്കഠിനമായ പ്രക്രിയ പരിതസ്ഥിതികളിലേക്ക് തുടർച്ചയായി എക്സ്പോഷർ ചെയ്യപ്പെടുമ്പോൾ പോലും, കരുത്തുറ്റ SiC മെറ്റീരിയൽ ധരിക്കുന്നതിനും ജീർണതയ്ക്കും മികച്ച പ്രതിരോധം നൽകുന്നു. ഈ ദൈർഘ്യം സസെപ്റ്റർ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുന്നതിൻ്റെ ആവൃത്തി കുറയ്ക്കുന്നു, പ്രവർത്തനരഹിതവും പ്രവർത്തന ചെലവും കുറയ്ക്കുന്നു.