സെമിസെറSiC കാൻ്റിലിവർ വേഫർ പാഡിൽആധുനിക അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. ഇത്വേഫർ പാഡിൽമികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും താപ പ്രതിരോധവും വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ വേഫറുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിന് ഇത് നിർണായകമാണ്.
SiC കാൻ്റിലിവർ ഡിസൈൻ കൃത്യമായ വേഫർ പ്ലെയ്സ്മെൻ്റ് പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ കേടുപാടുകൾ ഉണ്ടാകാനുള്ള സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു. അതിൻ്റെ ഉയർന്ന താപ ചാലകത, അങ്ങേയറ്റത്തെ സാഹചര്യങ്ങളിൽ പോലും വേഫർ സ്ഥിരമായി നിലനിൽക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് ഉൽപാദനക്ഷമത നിലനിർത്തുന്നതിന് നിർണ്ണായകമാണ്.
അതിൻ്റെ ഘടനാപരമായ ഗുണങ്ങൾക്ക് പുറമേ, സെമിസെറയുടെSiC കാൻ്റിലിവർ വേഫർ പാഡിൽഭാരത്തിലും ഈടുനിൽപ്പിലും ഗുണങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഭാരം കുറഞ്ഞ നിർമ്മാണം നിലവിലുള്ള സിസ്റ്റങ്ങൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതും സംയോജിപ്പിക്കുന്നതും എളുപ്പമാക്കുന്നു, അതേസമയം ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള SiC മെറ്റീരിയൽ ആവശ്യപ്പെടുന്ന സാഹചര്യങ്ങളിൽ ദീർഘകാലം നിലനിൽക്കുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
റീക്രിസ്റ്റലൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ | |
സ്വത്ത് | സാധാരണ മൂല്യം |
പ്രവർത്തന താപനില (°C) | 1600°C (ഓക്സിജൻ ഉള്ളത്), 1700°C (പരിസ്ഥിതി കുറയ്ക്കുന്നു) |
SiC ഉള്ളടക്കം | > 99.96% |
സൗജന്യ Si ഉള്ളടക്കം | < 0.1% |
ബൾക്ക് സാന്ദ്രത | 2.60-2.70 ഗ്രാം / സെ.മീ3 |
പ്രകടമായ പൊറോസിറ്റി | < 16% |
കംപ്രഷൻ ശക്തി | > 600 MPa |
തണുത്ത വളയുന്ന ശക്തി | 80-90 MPa (20°C) |
ചൂടുള്ള വളയുന്ന ശക്തി | 90-100 MPa (1400°C) |
താപ വികാസം @1500°C | 4.70 10-6/°C |
താപ ചാലകത @1200°C | 23 W/m•K |
ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് | 240 GPa |
തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രതിരോധം | വളരെ നല്ലത് |