SiC പൂശിയത്ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹാഫ്മൂൺ ഭാഗംഅർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന ഘടകമാണ്, പ്രത്യേകിച്ച് SiC എപിറ്റാക്സിയൽ ഉപകരണങ്ങൾക്ക്. ഞങ്ങളുടെ പേറ്റൻ്റ് നേടിയ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച് അർദ്ധമൂൺ ഭാഗം വളരെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, നല്ല കോട്ടിംഗ് ഏകീകൃതത, മികച്ച സേവന ജീവിതം, ഉയർന്ന രാസ പ്രതിരോധം, താപ സ്ഥിരത ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിക്കുന്നു.
