ഇന്നത്തെ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൻ്റെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് സെമിസെറയുടെ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഡമ്മി വേഫർ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. അസാധാരണമായ ഈട്, ഉയർന്ന താപ സ്ഥിരത, മികച്ച പരിശുദ്ധി എന്നിവയ്ക്ക് പേരുകേട്ട ഇത്വേഫർഅർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ പരിശോധന, കാലിബ്രേഷൻ, ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പ് എന്നിവയ്ക്ക് അത്യാവശ്യമാണ്. സെമിസെറയുടെ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഡമ്മി വേഫർ സമാനതകളില്ലാത്ത വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം നൽകുന്നു, അത് തരംതാഴ്ത്താതെ തന്നെ കർശനമായ ഉപയോഗത്തെ നേരിടാൻ കഴിയുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് ഗവേഷണ-വികസനത്തിനും ഉൽപ്പാദന പരിതസ്ഥിതികൾക്കും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
വൈവിധ്യമാർന്ന ആപ്ലിക്കേഷനുകളെ പിന്തുണയ്‌ക്കാൻ രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഡമ്മി വേഫർ ഉൾപ്പെടുന്ന പ്രക്രിയകളിൽ പതിവായി ഉപയോഗിക്കുന്നുസി വേഫർ, SiC അടിവസ്ത്രം, SOI വേഫർ, SiN സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്, ഒപ്പംഎപ്പി-വേഫർസാങ്കേതികവിദ്യകൾ. അതിൻ്റെ മികച്ച താപ ചാലകതയും ഘടനാപരമായ സമഗ്രതയും ഉയർന്ന താപനില പ്രോസസ്സിംഗിനും കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുമുള്ള മികച്ച തിരഞ്ഞെടുപ്പാണ്, ഇത് നൂതന ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളുടെയും ഉപകരണങ്ങളുടെയും നിർമ്മാണത്തിൽ സാധാരണമാണ്. കൂടാതെ, വേഫറിൻ്റെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി മലിനീകരണ അപകടസാധ്യതകൾ കുറയ്ക്കുകയും സെൻസിറ്റീവ് അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ ഗുണനിലവാരം സംരക്ഷിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ, ഗാലിയം ഓക്സൈഡ് Ga2O3, AlN വേഫർ എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള പുതിയ മെറ്റീരിയൽ പരിശോധനയ്ക്കുള്ള വിശ്വസനീയമായ റഫറൻസ് വേഫറായി സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഡമ്മി വേഫർ പ്രവർത്തിക്കുന്നു. ഈ ഉയർന്നുവരുന്ന മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് വിവിധ സാഹചര്യങ്ങളിൽ അവയുടെ സ്ഥിരതയും പ്രകടനവും ഉറപ്പാക്കാൻ സൂക്ഷ്മമായ വിശകലനവും പരിശോധനയും ആവശ്യമാണ്. സെമിസെറയുടെ ഡമ്മി വേഫർ ഉപയോഗിക്കുന്നതിലൂടെ, ഉയർന്ന പവർ, ആർഎഫ്, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി അടുത്ത തലമുറ സാമഗ്രികൾ വികസിപ്പിക്കുന്നതിന് സഹായിക്കുന്ന, പ്രകടന സ്ഥിരത നിലനിർത്തുന്ന ഒരു സ്ഥിരതയുള്ള പ്ലാറ്റ്ഫോം നിർമ്മാതാക്കൾ നേടുന്നു.
വ്യവസായങ്ങളിലുടനീളം അപേക്ഷകൾ
• സെമികണ്ടക്ടർ ഫാബ്രിക്കേഷൻ
അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ SiC ഡമ്മി വേഫറുകൾ അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്, പ്രത്യേകിച്ച് ഉത്പാദനത്തിൻ്റെ പ്രാരംഭ ഘട്ടങ്ങളിൽ. അവ ഒരു സംരക്ഷിത തടസ്സമായി വർത്തിക്കുന്നു, സാധ്യതയുള്ള നാശത്തിൽ നിന്ന് സിലിക്കൺ വേഫറുകളെ സംരക്ഷിക്കുകയും പ്രക്രിയ കൃത്യത ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
•ഗുണനിലവാര ഉറപ്പും പരിശോധനയും
ഗുണനിലവാര ഉറപ്പിൽ, ഡെലിവറി പരിശോധനകൾക്കും പ്രോസസ് ഫോമുകൾ വിലയിരുത്തുന്നതിനും SiC ഡമ്മി വേഫറുകൾ നിർണായകമാണ്. ഫിലിം കനം, മർദ്ദം പ്രതിരോധം, പ്രതിഫലന സൂചിക തുടങ്ങിയ പാരാമീറ്ററുകളുടെ കൃത്യമായ അളവുകൾ അവ പ്രവർത്തനക്ഷമമാക്കുന്നു, ഇത് ഉൽപ്പാദന പ്രക്രിയകളുടെ മൂല്യനിർണ്ണയത്തിന് സംഭാവന നൽകുന്നു.
•ലിത്തോഗ്രാഫിയും പാറ്റേൺ പരിശോധനയും
ലിത്തോഗ്രാഫിയിൽ, ഈ വേഫറുകൾ പാറ്റേൺ വലുപ്പം അളക്കുന്നതിനും വൈകല്യങ്ങൾ പരിശോധിക്കുന്നതിനുമുള്ള ഒരു മാനദണ്ഡമായി വർത്തിക്കുന്നു. അവയുടെ കൃത്യതയും വിശ്വാസ്യതയും ആവശ്യമുള്ള ജ്യാമിതീയ കൃത്യത കൈവരിക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു, അർദ്ധചാലക ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രവർത്തനത്തിന് നിർണായകമാണ്.
•ഗവേഷണവും വികസനവും
R&D പരിതസ്ഥിതികളിൽ, SiC ഡമ്മി വേഫറുകളുടെ വഴക്കവും ഈടുനിൽക്കുന്നതും വിപുലമായ പരീക്ഷണങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. പുതിയ അർദ്ധചാലക സാങ്കേതികവിദ്യകൾ വികസിപ്പിക്കുന്നതിന് കർശനമായ പരിശോധനാ സാഹചര്യങ്ങൾ സഹിക്കാനുള്ള അവരുടെ ശേഷി അവരെ അമൂല്യമാക്കുന്നു.
