സെമിസെറയുടെസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപിറ്റാക്സിആധുനിക അർദ്ധചാലക പ്രയോഗങ്ങളുടെ കർശനമായ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് ഇത് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. അഡ്വാൻസ്ഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഗ്രോത്ത് ടെക്നിക്കുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നതിലൂടെ, ഓരോ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ലെയറും അസാധാരണമായ സ്ഫടിക ഗുണനിലവാരവും ഏകീകൃതതയും കുറഞ്ഞ വൈകല്യ സാന്ദ്രതയും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നുവെന്ന് ഞങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു. കാര്യക്ഷമതയും തെർമൽ മാനേജ്മെൻ്റും പരമപ്രധാനമായ ഉയർന്ന പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ള പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വികസിപ്പിക്കുന്നതിന് ഈ സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ നിർണായകമാണ്.
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപിറ്റാക്സികൃത്യമായ കനവും ഡോപ്പിംഗ് നിയന്ത്രണവും ഉള്ള എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ലെയറുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിനായി സെമിസെറയിലെ പ്രക്രിയ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്തിരിക്കുന്നു, ഇത് ഉപകരണങ്ങളുടെ ശ്രേണിയിലുടനീളം സ്ഥിരതയുള്ള പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കുന്നു. വിശ്വാസ്യതയും കാര്യക്ഷമതയും നിർണ്ണായകമായ ഇലക്ട്രിക് വാഹനങ്ങൾ, പുനരുപയോഗ ഊർജ്ജ സംവിധാനങ്ങൾ, ഉയർന്ന ആവൃത്തിയിലുള്ള ആശയവിനിമയങ്ങൾ എന്നിവയിലെ പ്രയോഗങ്ങൾക്ക് ഈ നിലയിലുള്ള കൃത്യത അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്.
മാത്രമല്ല, സെമിസെറയുടെസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപിറ്റാക്സിമെച്ചപ്പെടുത്തിയ താപ ചാലകതയും ഉയർന്ന ബ്രേക്ക്ഡൌൺ വോൾട്ടേജും വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, ഇത് അങ്ങേയറ്റത്തെ സാഹചര്യങ്ങളിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്ന ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഇഷ്ടപ്പെട്ട തിരഞ്ഞെടുപ്പായി മാറുന്നു. ഈ പ്രോപ്പർട്ടികൾ ഉപകരണത്തിൻ്റെ ദീർഘായുസ്സിനും മെച്ചപ്പെട്ട മൊത്തത്തിലുള്ള സിസ്റ്റം കാര്യക്ഷമതയ്ക്കും സംഭാവന നൽകുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്ന പവർ, ഉയർന്ന താപനില എന്നിവയിൽ.
ഇതിനുള്ള ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ ഓപ്ഷനുകളും സെമിസെറ നൽകുന്നുസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപിറ്റാക്സി, നിർദ്ദിഷ്ട ഉപകരണ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്ന അനുയോജ്യമായ പരിഹാരങ്ങൾ അനുവദിക്കുന്നു. ഗവേഷണത്തിനായാലും വലിയ തോതിലുള്ള ഉൽപ്പാദനത്തിനായാലും, കൂടുതൽ ശക്തവും കാര്യക്ഷമവും വിശ്വസനീയവുമായ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ വികസനം സാധ്യമാക്കുന്ന, അടുത്ത തലമുറയിലെ അർദ്ധചാലക കണ്ടുപിടുത്തങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിനാണ് ഞങ്ങളുടെ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളികൾ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്.
അത്യാധുനിക സാങ്കേതികവിദ്യയും കർശനമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണ പ്രക്രിയകളും സമന്വയിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെ, സെമിസെറ ഞങ്ങളുടെസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപിറ്റാക്സിഉൽപ്പന്നങ്ങൾ വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുക മാത്രമല്ല, അതിലും കൂടുതലാണ്. മികവിനോടുള്ള ഈ പ്രതിബദ്ധത, പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സിലും ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സിലും മുന്നേറ്റങ്ങൾക്ക് വഴിയൊരുക്കുന്ന, നൂതന അർദ്ധചാലക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ അടിത്തറയായി ഞങ്ങളുടെ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളികളെ മാറ്റുന്നു.
ഇനങ്ങൾ | ഉത്പാദനം | ഗവേഷണം | ഡമ്മി |
ക്രിസ്റ്റൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
പോളിടൈപ്പ് | 4H | ||
ഉപരിതല ഓറിയൻ്റേഷൻ പിശക് | <11-20 >4±0.15° | ||
ഇലക്ട്രിക്കൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
ഡോപൻ്റ് | n-തരം നൈട്രജൻ | ||
പ്രതിരോധശേഷി | 0.015-0.025ohm·cm | ||
മെക്കാനിക്കൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
വ്യാസം | 150.0 ± 0.2 മിമി | ||
കനം | 350± 25 μm | ||
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ | [1-100]±5° | ||
പ്രാഥമിക പരന്ന നീളം | 47.5 ± 1.5 മിമി | ||
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് | ഒന്നുമില്ല | ||
ടി.ടി.വി | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
എൽ.ടി.വി | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
വില്ല് | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
വാർപ്പ് | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
ഫ്രണ്ട് (Si-മുഖം) പരുക്കൻത (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ഘടന | |||
മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
ബിപിഡി | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
ടി.എസ്.ഡി | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
ഫ്രണ്ട് ക്വാളിറ്റി | |||
ഫ്രണ്ട് | Si | ||
ഉപരിതല ഫിനിഷ് | സി-ഫേസ് സിഎംപി | ||
കണികകൾ | ≤60ea/വേഫർ (വലിപ്പം≥0.3μm) | NA | |
പോറലുകൾ | ≤5ea/mm. ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം ≤വ്യാസം | ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം≤2*വ്യാസം | NA |
ഓറഞ്ച് തൊലി / കുഴികൾ / പാടുകൾ / വരകൾ / വിള്ളലുകൾ / മലിനീകരണം | ഒന്നുമില്ല | NA | |
എഡ്ജ് ചിപ്സ്/ഇൻഡൻ്റുകൾ/ഫ്രാക്ചർ/ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ | ഒന്നുമില്ല | ||
പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ | ഒന്നുമില്ല | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ≤20% | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ≤30% |
ഫ്രണ്ട് ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | ഒന്നുമില്ല | ||
ബാക്ക് ക്വാളിറ്റി | |||
ബാക്ക് ഫിനിഷ് | സി-ഫേസ് സിഎംപി | ||
പോറലുകൾ | ≤5ea/mm, ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം≤2*വ്യാസം | NA | |
പിന്നിലെ വൈകല്യങ്ങൾ (എഡ്ജ് ചിപ്പുകൾ/ഇൻഡൻ്റുകൾ) | ഒന്നുമില്ല | ||
പുറം പരുക്കൻ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ബാക്ക് ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | 1 മില്ലീമീറ്റർ (മുകളിൽ നിന്ന്) | ||
എഡ്ജ് | |||
എഡ്ജ് | ചാംഫർ | ||
പാക്കേജിംഗ് | |||
പാക്കേജിംഗ് | വാക്വം പാക്കേജിംഗിനൊപ്പം എപ്പി-റെഡി മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ് | ||
*കുറിപ്പുകൾ: "NA" എന്നാൽ അഭ്യർത്ഥന ഇല്ല എന്നാണ് അർത്ഥമാക്കുന്നത് പരാമർശിക്കാത്ത ഇനങ്ങൾ SEMI-STD-യെ പരാമർശിച്ചേക്കാം. |

