സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലിന് വലിയ ബാൻഡ് വിടവ് വീതി (~Si 3 മടങ്ങ്), ഉയർന്ന താപ ചാലകത (~Si 3.3 മടങ്ങ് അല്ലെങ്കിൽ GaAs 10 മടങ്ങ്), ഉയർന്ന ഇലക്ട്രോൺ സാച്ചുറേഷൻ മൈഗ്രേഷൻ നിരക്ക് (~Si 2.5 മടങ്ങ്), ഉയർന്ന തകർച്ച ഇലക്ട്രിക് ഫീൽഡും (~Si 10 തവണ അല്ലെങ്കിൽ GaAs 5 തവണ) മറ്റ് മികച്ച സവിശേഷതകളും.
ഉയർന്ന താപനില, ഉയർന്ന മർദ്ദം, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി, ഉയർന്ന പവർ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ, എയ്‌റോസ്‌പേസ്, മിലിട്ടറി, ന്യൂക്ലിയർ എനർജി മുതലായ അങ്ങേയറ്റത്തെ പാരിസ്ഥിതിക പ്രയോഗങ്ങൾ എന്നിവയിൽ SiC ഉപകരണങ്ങൾക്ക് പകരം വയ്ക്കാനാവാത്ത നേട്ടങ്ങളുണ്ട്, പരമ്പരാഗത അർദ്ധചാലക മെറ്റീരിയലുകളുടെ തകരാറുകൾ പ്രായോഗികമായി നികത്തുന്നു ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ, ക്രമേണ പവർ അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെ മുഖ്യധാരയായി മാറുന്നു.
4H-SiC സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് സവിശേഷതകൾ
| ഇനം 项目 | സവിശേഷതകൾ 参数 | |
| പോളിടൈപ്പ് | 4H -SiC | 6H- SiC |
| വ്യാസം | 2 ഇഞ്ച് | 3 ഇഞ്ച് | 4 ഇഞ്ച് | 6 ഇഞ്ച് | 2 ഇഞ്ച് | 3 ഇഞ്ച് | 4 ഇഞ്ച് | 6 ഇഞ്ച് |
| കനം | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
| ചാലകത | N - തരം / സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് | N - തരം / സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് |
| ഡോപൻ്റ് | N2 (നൈട്രജൻ)V (വനേഡിയം) | N2 (നൈട്രജൻ) വി (വനേഡിയം) |
| ഓറിയൻ്റേഷൻ | അക്ഷത്തിൽ <0001> | അക്ഷത്തിൽ <0001> |
| പ്രതിരോധശേഷി | 0.015 ~ 0.03 ഓം-സെ.മീ | 0.02 ~ 0.1 ohm-cm |
| മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
| ടി.ടി.വി | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm |
| വില്ലു / വാർപ്പ് | ≤25 μm | ≤25 μm |
| ഉപരിതലം | ഡിഎസ്പി/എസ്എസ്പി | ഡിഎസ്പി/എസ്എസ്പി |
| ഗ്രേഡ് | ഉത്പാദനം / ഗവേഷണ ഗ്രേഡ് | ഉത്പാദനം / ഗവേഷണ ഗ്രേഡ് |
| ക്രിസ്റ്റൽ സ്റ്റാക്കിംഗ് സീക്വൻസ് | എബിസിബി | എബിസിഎബിസി |
| ലാറ്റിസ് പരാമീറ്റർ | a=3.076A, c=10.053A | a=3.073A, c=15.117A |
| ഉദാ/ഇവി(ബാൻഡ്-ഗാപ്പ്) | 3.27 ഇ.വി | 3.02 ഇ.വി |
| ε(ഡൈലക്‌ട്രിക് കോൺസ്റ്റൻ്റ്) | 9.6 | 9.66 |
| അപവർത്തന സൂചിക | n0 =2.719 ne =2.777 | n0 =2.707 , ne =2.755 |
6H-SiC സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് സവിശേഷതകൾ
| ഇനം 项目 | സവിശേഷതകൾ 参数 |
| പോളിടൈപ്പ് | 6H-SiC |
| വ്യാസം | 4 ഇഞ്ച് | 6 ഇഞ്ച് |
| കനം | 350μm ~ 450μm |
| ചാലകത | N - തരം / സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് |
| ഡോപൻ്റ് | N2(നൈട്രജൻ) |
| ഓറിയൻ്റേഷൻ | <0001> ഓഫ് 4°± 0.5° |
| പ്രതിരോധശേഷി | 0.02 ~ 0.1 ohm-cm |
| മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത (MPD) | ≤ 10/cm2 |
| ടി.ടി.വി | ≤ 15 μm |
| വില്ലു / വാർപ്പ് | ≤25 μm |
| ഉപരിതലം | Si മുഖം: CMP, എപ്പി-റെഡി |
| ഗ്രേഡ് | ഗവേഷണ ഗ്രേഡ് |
