ഉൽപ്പന്ന അവലോകനം
ദിസിലിക്കൺ-ഇംപ്രെഗ്നേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) പാഡിൽ ആൻഡ് വേഫർ കാരിയർഅർദ്ധചാലക താപ പ്രോസസ്സിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകളുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള SiC-യിൽ നിന്ന് രൂപകല്പന ചെയ്‌തതും സിലിക്കൺ ഇംപ്രെഗ്നേഷനിലൂടെ മെച്ചപ്പെടുത്തിയതുമായ ഈ ഉൽപ്പന്നം ഉയർന്ന താപനില പ്രകടനം, മികച്ച താപ ചാലകത, നാശ പ്രതിരോധം, മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി എന്നിവയുടെ സവിശേഷമായ സംയോജനം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
വിപുലമായ മെറ്റീരിയൽ സയൻസിനെ കൃത്യമായ നിർമ്മാണവുമായി സമന്വയിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെ, ഈ പരിഹാരം അർദ്ധചാലക നിർമ്മാതാക്കൾക്ക് മികച്ച പ്രകടനം, വിശ്വാസ്യത, ഈട് എന്നിവ ഉറപ്പാക്കുന്നു.
പ്രധാന സവിശേഷതകൾ
1.അസാധാരണമായ ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം
ദ്രവണാങ്കം 2700 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിൽ കൂടുതലുള്ളതിനാൽ, അതികഠിനമായ ചൂടിൽ SiC സാമഗ്രികൾ അന്തർലീനമായി സ്ഥിരതയുള്ളവയാണ്. സിലിക്കൺ ഇംപ്രെഗ്നേഷൻ അവയുടെ താപ സ്ഥിരതയെ കൂടുതൽ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു, ഇത് ഘടനാപരമായ ബലഹീനതയോ പ്രകടന ശോഷണമോ കൂടാതെ ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ദീർഘനേരം എക്സ്പോഷർ ചെയ്യാൻ അവരെ അനുവദിക്കുന്നു.
2.ഉയർന്ന താപ ചാലകത
സിലിക്കൺ-ഇംപ്രെഗ്നേറ്റഡ് SiC യുടെ അസാധാരണമായ താപ ചാലകത ഏകീകൃത താപ വിതരണം ഉറപ്പാക്കുന്നു, നിർണായകമായ പ്രോസസ്സിംഗ് ഘട്ടങ്ങളിൽ താപ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നു. ഈ പ്രോപ്പർട്ടി ഉപകരണങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ഉൽപ്പാദന പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള താപ സംസ്കരണത്തിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
3.ഓക്സിഡേഷൻ ആൻഡ് കോറഷൻ റെസിസ്റ്റൻസ്
ഒരു ശക്തമായ സിലിക്കൺ ഓക്സൈഡ് പാളി സ്വാഭാവികമായും ഉപരിതലത്തിൽ രൂപം കൊള്ളുന്നു, ഇത് ഓക്സീകരണത്തിനും നാശത്തിനും മികച്ച പ്രതിരോധം നൽകുന്നു. ഇത് കഠിനമായ പ്രവർത്തന പരിതസ്ഥിതികളിൽ ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു, മെറ്റീരിയലും ചുറ്റുമുള്ള ഘടകങ്ങളും സംരക്ഷിക്കുന്നു.
4.ഉയർന്ന മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും ധരിക്കുന്ന പ്രതിരോധവും
സിലിക്കൺ-ഇംപ്രെഗ്നേറ്റഡ് SiC മികച്ച കംപ്രസ്സീവ് ശക്തിയും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും ഉൾക്കൊള്ളുന്നു, ഉയർന്ന ലോഡും ഉയർന്ന താപനിലയും ഉള്ള സാഹചര്യങ്ങളിൽ അതിൻ്റെ ഘടനാപരമായ സമഗ്രത നിലനിർത്തുന്നു. ഇത് വസ്ത്രധാരണവുമായി ബന്ധപ്പെട്ട കേടുപാടുകളുടെ അപകടസാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു, വിപുലീകൃത ഉപയോഗ സൈക്കിളുകളിൽ സ്ഥിരതയുള്ള പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ
| ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെ പേര് | SC-RSiC-Si |
| മെറ്റീരിയൽ | സിലിക്കൺ ഇംപ്രെഗ്നേഷൻ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കോംപാക്റ്റ് (ഉയർന്ന ശുദ്ധി) |
| അപേക്ഷകൾ | അർദ്ധചാലക ഹീറ്റ് ട്രീറ്റ്മെൻ്റ് ഭാഗങ്ങൾ, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഉപകരണ ഭാഗങ്ങൾ |
| ഡെലിവറി ഫോം | വാർത്തെടുത്ത ശരീരം (സിൻ്റർ ചെയ്ത ശരീരം) |
| രചന | മെക്കാനിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടി | യംഗ്സ് മോഡുലസ് (GPa) | വളയുന്ന ശക്തി (എംപിഎ) | ||
| രചന (വോളിയം%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| ബൾക്ക് ഡെൻസിറ്റി (kg/m³) | 3.02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| ഹീറ്റ് പ്രൂഫ് താപനില ° C | 1350 | വിഷത്തിൻ്റെ അനുപാതം | 0.18(RT) | ||
| താപ സ്വത്ത് | താപ ചാലകത (W/(m· K)) | പ്രത്യേക താപ ശേഷി (kJ/(kg·K)) | താപ വികാസത്തിൻ്റെ ഗുണകം (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4.3 x10-6 | |
| അശുദ്ധമായ ഉള്ളടക്കം ((പിപിഎം) | |||||||||||||
| ഘടകം | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| ഉള്ളടക്ക നിരക്ക് | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
അപേക്ഷകൾ
▪അർദ്ധചാലക താപ സംസ്കരണം:കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (CVD), എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച, അനീലിംഗ് തുടങ്ങിയ പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യം, ഇവിടെ കൃത്യമായ താപനില നിയന്ത്രണവും മെറ്റീരിയൽ ഡ്യൂറബിളിറ്റിയും നിർണ്ണായകമാണ്.
▪വേഫർ കാരിയറുകളും പാഡലുകളും:ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള താപ ചികിത്സകളിൽ വേഫറുകൾ സുരക്ഷിതമായി പിടിക്കാനും കൊണ്ടുപോകാനും രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്നു.
▪എക്‌സ്ട്രീം ഓപ്പറേറ്റിംഗ് പരിതസ്ഥിതികൾ: ചൂട്, കെമിക്കൽ എക്സ്പോഷർ, മെക്കാനിക്കൽ സമ്മർദ്ദം എന്നിവയ്ക്കെതിരായ പ്രതിരോധം ആവശ്യമായ ക്രമീകരണങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യം.
സിലിക്കൺ-ഇംപ്രെഗ്നേറ്റഡ് SiC യുടെ പ്രയോജനങ്ങൾ
ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെയും നൂതന സിലിക്കൺ ഇംപ്രെഗ്നേഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെയും സംയോജനം സമാനതകളില്ലാത്ത പ്രകടന നേട്ടങ്ങൾ നൽകുന്നു:
▪കൃത്യത:അർദ്ധചാലക പ്രോസസ്സിംഗിൻ്റെ കൃത്യതയും നിയന്ത്രണവും വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
▪സ്ഥിരത:പ്രവർത്തനക്ഷമതയിൽ വിട്ടുവീഴ്ച ചെയ്യാതെ കഠിനമായ ചുറ്റുപാടുകളെ നേരിടുന്നു.
▪ദീർഘായുസ്സ്:അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങളുടെ സേവനജീവിതം വിപുലീകരിക്കുന്നു.
▪കാര്യക്ഷമത:വിശ്വസനീയവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ ഫലങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കിക്കൊണ്ട് ഉൽപാദനക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
എന്തുകൊണ്ടാണ് ഞങ്ങളുടെ സിലിക്കൺ-ഇംപ്രെഗ്നേറ്റഡ് SiC സൊല്യൂഷനുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത്?
At സെമിസെറ, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാതാക്കളുടെ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസൃതമായി ഉയർന്ന പ്രകടന പരിഹാരങ്ങൾ നൽകുന്നതിൽ ഞങ്ങൾ പ്രത്യേകം ശ്രദ്ധിക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ സിലിക്കൺ-ഇംപ്രെഗ്നേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പാഡിൽ, വേഫർ കാരിയർ എന്നിവ വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നതിന് കർശനമായ പരിശോധനയ്ക്കും ഗുണനിലവാര ഉറപ്പിനും വിധേയമാകുന്നു. സെമിസെറ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിലൂടെ, നിങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിനും നിങ്ങളുടെ ഉൽപ്പാദന ശേഷി വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ള അത്യാധുനിക മെറ്റീരിയലുകളിലേക്ക് നിങ്ങൾക്ക് പ്രവേശനം ലഭിക്കും.
സാങ്കേതിക സവിശേഷതകൾ
▪മെറ്റീരിയൽ കോമ്പോസിഷൻ:സിലിക്കൺ ഇംപ്രെഗ്നേഷനോടുകൂടിയ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്.
▪പ്രവർത്തന താപനില പരിധി:2700°C വരെ.
▪ താപ ചാലകത:ഏകീകൃത താപ വിതരണത്തിന് അസാധാരണമായി ഉയർന്നതാണ്.
▪പ്രതിരോധ ഗുണങ്ങൾ:ഓക്സിഡേഷൻ, തുരുമ്പെടുക്കൽ, ധരിക്കാൻ പ്രതിരോധം.
▪അപേക്ഷകൾ:വിവിധ അർദ്ധചാലക താപ സംസ്കരണ സംവിധാനങ്ങളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.
ഞങ്ങളെ സമീപിക്കുക
നിങ്ങളുടെ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ ഉയർത്താൻ തയ്യാറാണോ? ബന്ധപ്പെടുകസെമിസെറഞങ്ങളുടെ സിലിക്കൺ-ഇംപ്രെഗ്നേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പാഡിൽ, വേഫർ കാരിയർ എന്നിവയെക്കുറിച്ച് കൂടുതലറിയാൻ ഇന്ന്.
▪ഇമെയിൽ: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪ഫോൺ: +86-0574-8650 3783
▪സ്ഥാനം:നമ്പർ.1958 ജിയാങ്‌നാൻ റോഡ്, നിംഗ്‌ബോ ഹൈടെക്, സോൺ, സെജിയാങ് പ്രവിശ്യ, 315201, ചൈന
