TaC പൂശിയ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫർ കാരിയറുകൾഉയർന്ന പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ള ഒപ്റ്റോഇലക്‌ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ, പവർ ഉപകരണങ്ങൾ, സെൻസറുകൾ, മറ്റ് ഫീൽഡുകൾ എന്നിവ തയ്യാറാക്കാൻ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇത്എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫർ കാരിയർയുടെ നിക്ഷേപത്തെ സൂചിപ്പിക്കുന്നുടാസിക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചാ പ്രക്രിയയിൽ അടിവസ്ത്രത്തിൽ നേർത്ത ഫിലിം നിർദിഷ്ട ഘടനയും തുടർന്നുള്ള ഉപകരണം തയ്യാറാക്കുന്നതിനുള്ള പ്രകടനവുമുള്ള ഒരു വേഫർ രൂപപ്പെടുത്തുന്നു.
കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി) സാങ്കേതികവിദ്യയാണ് സാധാരണയായി തയ്യാറാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നത്TaC പൂശിയ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫർ കാരിയറുകൾ. ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ലോഹ ഓർഗാനിക് മുൻഗാമികളോടും കാർബൺ ഉറവിട വാതകങ്ങളോടും പ്രതിപ്രവർത്തിക്കുന്നതിലൂടെ, ക്രിസ്റ്റൽ അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു ടാസി ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കാൻ കഴിയും. ഈ ഫിലിമിന് മികച്ച ഇലക്ട്രിക്കൽ, ഒപ്റ്റിക്കൽ, മെക്കാനിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ ഉണ്ടായിരിക്കാം കൂടാതെ വിവിധ ഉയർന്ന പ്രകടന ഉപകരണങ്ങൾ തയ്യാറാക്കാൻ അനുയോജ്യമാണ്.
വിവിധ ഘടകങ്ങൾക്കും കാരിയറുകൾക്കുമായി സെമിസെറ പ്രത്യേക ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകൾ നൽകുന്നു.സെമിസെറ ലീഡിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രോസസ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകളെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത, ഉയർന്ന രാസ സഹിഷ്ണുത എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, SIC/GAN ക്രിസ്റ്റലുകളുടെയും EPI ലെയറുകളുടെയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു (ഗ്രാഫൈറ്റ് പൂശിയ TaC സസെപ്റ്റർ), കൂടാതെ പ്രധാന റിയാക്ടർ ഘടകങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, കൂടാതെ സെമിസെറ ടാൻടലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (സിവിഡി) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര നൂതന തലത്തിലെത്തി.
വർഷങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് ശേഷം, സെമിസെറ സാങ്കേതികവിദ്യ കീഴടക്കിCVD TaCഗവേഷണ-വികസന വകുപ്പിൻ്റെ സംയുക്ത ശ്രമങ്ങളോടെ. SiC വേഫറുകളുടെ വളർച്ചാ പ്രക്രിയയിൽ തകരാറുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, എന്നാൽ ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷംടാസി, വ്യത്യാസം പ്രധാനമാണ്. TaC ഉള്ളതും അല്ലാത്തതുമായ വേഫറുകളുടെ താരതമ്യവും സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള സിമിസെറയുടെ ഭാഗങ്ങളും ചുവടെയുണ്ട്.
TaC ഉള്ളതും അല്ലാതെയും
TaC ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷം (വലത്)
മാത്രമല്ല, സെമിസെറയുടെTaC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾതാരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ദൈർഘ്യമേറിയ സേവന ജീവിതവും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നുSiC കോട്ടിംഗുകൾ.ലബോറട്ടറി അളവുകൾ നമ്മുടെTaC കോട്ടിംഗുകൾ2300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെയുള്ള താപനിലയിൽ ദീർഘനാളത്തേക്ക് സ്ഥിരമായി പ്രവർത്തിക്കാനാകും. ഞങ്ങളുടെ സാമ്പിളുകളുടെ ചില ഉദാഹരണങ്ങൾ ചുവടെയുണ്ട്:
