TaC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഗൈഡ് വളയങ്ങൾഒരു നേർത്ത പാളിയുടെ നിക്ഷേപം പരാമർശിക്കുകടാൻ്റലം കാർബൈഡ്വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, രാസ സ്ഥിരത എന്നിവ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഗ്രാഫൈറ്റ് ഗൈഡ് വളയത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ. ഫിസിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (പിവിഡി) അല്ലെങ്കിൽ കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി) പോലുള്ള സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് ഗ്രാഫൈറ്റ് ഗൈഡ് റിംഗിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഈ പൂശൽ സാധാരണയായി രൂപപ്പെടുന്നത്.
വിവിധ ഘടകങ്ങൾക്കും കാരിയറുകൾക്കുമായി സെമിസെറ പ്രത്യേക ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകൾ നൽകുന്നു.സെമിസെറ ലീഡിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രോസസ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകളെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത, ഉയർന്ന രാസ സഹിഷ്ണുത എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, SIC/GAN ക്രിസ്റ്റലുകളുടെയും EPI ലെയറുകളുടെയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു (ഗ്രാഫൈറ്റ് പൂശിയ TaC സസെപ്റ്റർ), കൂടാതെ പ്രധാന റിയാക്ടർ ഘടകങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, കൂടാതെ സെമിസെറ ടാൻടലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (സിവിഡി) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര നൂതന തലത്തിലെത്തി.
വർഷങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് ശേഷം, സെമിസെറ സാങ്കേതികവിദ്യ കീഴടക്കിCVD TaCഗവേഷണ-വികസന വകുപ്പിൻ്റെ സംയുക്ത ശ്രമങ്ങളോടെ. SiC വേഫറുകളുടെ വളർച്ചാ പ്രക്രിയയിൽ തകരാറുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, എന്നാൽ ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷംടാസി, വ്യത്യാസം പ്രധാനമാണ്. TaC ഉള്ളതും അല്ലാത്തതുമായ വേഫറുകളുടെ താരതമ്യവും സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള സിമിസെറയുടെ ഭാഗങ്ങളും ചുവടെയുണ്ട്.
TaC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഗൈഡ് വളയങ്ങളുടെ പ്രധാന സവിശേഷതകളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
1. ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം: TaC കോട്ടിംഗിന് മികച്ച ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരതയുണ്ട് കൂടാതെ ഉയർന്ന താപനില പരിതസ്ഥിതിയിൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്താനും കഴിയും.
2. പ്രതിരോധം ധരിക്കുക: ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് നേർത്ത പാളിയുടെ ഉയർന്ന കാഠിന്യം ഗൈഡ് മോതിരത്തിന് നല്ല വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം നൽകുകയും അതിൻ്റെ സേവനജീവിതം നീട്ടുകയും ചെയ്യുന്നു.
3. കെമിക്കൽ സ്റ്റബിലിറ്റി: ടാസി കോട്ടിങ്ങിന് കെമിക്കൽ നാശത്തിനെതിരെ ഉയർന്ന സ്ഥിരതയുണ്ട്, ഇത് ചില കോറോസിവ് മീഡിയകളിലെ പ്രയോഗങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
4. ഘർഷണം കുറയ്ക്കുക: ഗ്രാഫൈറ്റ് ഗൈഡ് റിംഗും മറ്റ് ഘടകങ്ങളും തമ്മിലുള്ള ഘർഷണം ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കാനും മെക്കാനിക്കൽ സീലുകളുടെ കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്താനും ടാസി കോട്ടിംഗിന് കഴിയും.
TaC ഉള്ളതും അല്ലാതെയും
TaC ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷം (വലത്)
മാത്രമല്ല, സെമിസെറയുടെTaC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾതാരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ദൈർഘ്യമേറിയ സേവന ജീവിതവും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നുSiC കോട്ടിംഗുകൾ.ലബോറട്ടറി അളവുകൾ നമ്മുടെTaC കോട്ടിംഗുകൾ2300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെയുള്ള താപനിലയിൽ ദീർഘനാളത്തേക്ക് സ്ഥിരമായി പ്രവർത്തിക്കാനാകും. ഞങ്ങളുടെ സാമ്പിളുകളുടെ ചില ഉദാഹരണങ്ങൾ ചുവടെയുണ്ട്:
