CVD TaC കോട്ടിംഗ്

CVD TaC കോട്ടിംഗിലേക്കുള്ള ആമുഖം:

ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗ് നിക്ഷേപിക്കാൻ രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു സാങ്കേതികവിദ്യയാണ് CVD TaC കോട്ടിംഗ്. മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ, കെമിക്കൽ ഗുണങ്ങളുള്ള ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള സെറാമിക് മെറ്റീരിയലാണ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ്. CVD പ്രക്രിയ വാതക പ്രതിപ്രവർത്തനത്തിലൂടെ അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു ഏകീകൃത TaC ഫിലിം സൃഷ്ടിക്കുന്നു.

പ്രധാന സവിശേഷതകൾ:

മികച്ച കാഠിന്യവും ധരിക്കുന്ന പ്രതിരോധവും: ടാൻ്റലം കാർബൈഡിന് വളരെ ഉയർന്ന കാഠിന്യം ഉണ്ട്, കൂടാതെ CVD TaC കോട്ടിംഗിന് അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്താൻ കഴിയും. കട്ടിംഗ് ടൂളുകളും മോൾഡുകളും പോലുള്ള ഉയർന്ന വസ്ത്രങ്ങൾ ഉള്ള അന്തരീക്ഷത്തിലെ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് ഇത് കോട്ടിംഗിനെ അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത: TaC കോട്ടിംഗുകൾ 2200 ° C വരെ താപനിലയിൽ നിർണായകമായ ചൂളയെയും റിയാക്റ്റർ ഘടകങ്ങളെയും സംരക്ഷിക്കുന്നു, നല്ല സ്ഥിരത പ്രകടമാക്കുന്നു. തീവ്രമായ താപനില സാഹചര്യങ്ങളിൽ ഇത് രാസ, മെക്കാനിക്കൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്തുന്നു, ഉയർന്ന താപനില പ്രോസസ്സിംഗിനും ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ പ്രയോഗങ്ങൾക്കും ഇത് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

മികച്ച രാസ സ്ഥിരത: ടാൻ്റലം കാർബൈഡിന് ഒട്ടുമിക്ക ആസിഡുകളോടും ക്ഷാരങ്ങളോടും ശക്തമായ തുരുമ്പെടുക്കൽ പ്രതിരോധമുണ്ട്, കൂടാതെ CVD TaC കോട്ടിങ്ങിന് നശിക്കുന്ന ചുറ്റുപാടുകളിൽ അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ കേടുപാടുകൾ ഫലപ്രദമായി തടയാൻ കഴിയും.

ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കം: Tantalum കാർബൈഡിന് ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കം (ഏകദേശം 3880°C) ഉണ്ട്, ഇത് CVD TaC കോട്ടിംഗ് ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ഉരുകുകയോ നശിക്കുകയോ ചെയ്യാതെ ഉപയോഗിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു.

മികച്ച താപ ചാലകത: TaC കോട്ടിംഗിന് ഉയർന്ന താപ ചാലകതയുണ്ട്, ഇത് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള പ്രക്രിയകളിൽ താപം ഫലപ്രദമായി ഇല്ലാതാക്കാനും പ്രാദേശിക അമിത ചൂടാക്കൽ തടയാനും സഹായിക്കുന്നു.

സാധ്യതയുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ:

• ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് (GaN), സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിടാക്‌സിയൽ CVD റിയാക്റ്റർ ഘടകങ്ങൾ, വേഫർ കാരിയറുകൾ, സാറ്റലൈറ്റ് വിഭവങ്ങൾ, ഷവർഹെഡുകൾ, സീലിംഗ്, സസെപ്റ്ററുകൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ

• സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, ഗാലിയം നൈട്രൈഡ്, അലുമിനിയം നൈട്രൈഡ് (AlN) ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത് ഘടകങ്ങൾ, ക്രൂസിബിളുകൾ, സീഡ് ഹോൾഡറുകൾ, ഗൈഡ് റിംഗുകൾ, ഫിൽട്ടറുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു

• റെസിസ്റ്റൻസ് ഹീറ്റിംഗ് ഘടകങ്ങൾ, ഇഞ്ചക്ഷൻ നോസിലുകൾ, മാസ്കിംഗ് റിംഗുകൾ, ബ്രേസിംഗ് ജിഗുകൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള വ്യാവസായിക ഘടകങ്ങൾ

ആപ്ലിക്കേഷൻ സവിശേഷതകൾ:

• 2000 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിനു മുകളിലുള്ള സ്ഥിരതയുള്ള താപനില, തീവ്രമായ താപനിലയിൽ പ്രവർത്തിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു
ഹൈഡ്രജൻ (Hz), അമോണിയ (NH3), മോണോസിലൻ (SiH4), സിലിക്കൺ (Si) എന്നിവയെ പ്രതിരോധിക്കും, കഠിനമായ രാസ പരിതസ്ഥിതികളിൽ സംരക്ഷണം നൽകുന്നു
• അതിൻ്റെ തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രതിരോധം വേഗത്തിലുള്ള പ്രവർത്തന ചക്രങ്ങളെ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു
• ഗ്രാഫൈറ്റിന് ശക്തമായ അഡീഷൻ ഉണ്ട്, ഇത് ഒരു നീണ്ട സേവന ജീവിതവും കോട്ടിംഗ് ഡിലാമിനേഷനും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
• അനാവശ്യമായ മാലിന്യങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ മലിനീകരണം ഇല്ലാതാക്കാൻ അൾട്രാ ഹൈ പ്യൂരിറ്റി
• ഇറുകിയ ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസുകളിലേക്കുള്ള അനുരൂപമായ കോട്ടിംഗ് കവറേജ്

സാങ്കേതിക സവിശേഷതകൾ:

CVD വഴി സാന്ദ്രമായ ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗുകൾ തയ്യാറാക്കൽ：

ഉയർന്ന ക്രിസ്റ്റലിനിറ്റിയും മികച്ച ഏകീകൃതതയും ഉള്ള TAC കോട്ടിംഗ്:

CVD TAC കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ_സെമിസെറ:

മുകളിൽ പറഞ്ഞവ സാധാരണ മൂല്യങ്ങളാണ്.