TaC കോട്ടിംഗ്ലോഹ ഓർഗാനിക് കെമിക്കൽ നീരാവി ഡിപ്പോസിഷൻ (എംഒസിവിഡി) സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച് ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിത്തറയിൽ സാധാരണയായി തയ്യാറാക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന മെറ്റീരിയൽ കോട്ടിംഗ് ആണ്. ഈ കോട്ടിംഗിന് ഉയർന്ന കാഠിന്യം, മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, രാസ സ്ഥിരത എന്നിവ പോലുള്ള മികച്ച ഗുണങ്ങളുണ്ട്, കൂടാതെ ഉയർന്ന ഡിമാൻഡ് എഞ്ചിനീയറിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
MOCVD സാങ്കേതികവിദ്യ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു നേർത്ത ഫിലിം ഗ്രോത്ത് ടെക്നോളജിയാണ്, അത് ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ റിയാക്ടീവ് വാതകങ്ങളുമായി ലോഹ ഓർഗാനിക് മുൻഗാമികളെ പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിൽ ആവശ്യമുള്ള സംയുക്ത ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കുന്നു. തയ്യാറാക്കുമ്പോൾTaC കോട്ടിംഗ്, അനുയോജ്യമായ ലോഹ ഓർഗാനിക് മുൻഗാമികളും കാർബൺ സ്രോതസ്സുകളും തിരഞ്ഞെടുത്ത്, പ്രതികരണ സാഹചര്യങ്ങളും ഡിപ്പോസിഷൻ പാരാമീറ്ററുകളും നിയന്ത്രിക്കുന്നു, ഒരു ഏകീകൃതവും ഇടതൂർന്നതുമായ TaC ഫിലിം ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിത്തറയിൽ നിക്ഷേപിക്കാം.
വിവിധ ഘടകങ്ങൾക്കും കാരിയറുകൾക്കുമായി സെമിസെറ പ്രത്യേക ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകൾ നൽകുന്നു.സെമിസെറ ലീഡിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രോസസ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകളെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത, ഉയർന്ന രാസ സഹിഷ്ണുത എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, SIC/GAN ക്രിസ്റ്റലുകളുടെയും EPI ലെയറുകളുടെയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു (ഗ്രാഫൈറ്റ് പൂശിയ TaC സസെപ്റ്റർ), കൂടാതെ പ്രധാന റിയാക്ടർ ഘടകങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, കൂടാതെ സെമിസെറ ടാൻടലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (സിവിഡി) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര നൂതന തലത്തിലെത്തി.
വർഷങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് ശേഷം, സെമിസെറ സാങ്കേതികവിദ്യ കീഴടക്കിCVD TaCഗവേഷണ-വികസന വകുപ്പിൻ്റെ സംയുക്ത ശ്രമങ്ങളോടെ. SiC വേഫറുകളുടെ വളർച്ചാ പ്രക്രിയയിൽ തകരാറുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, എന്നാൽ ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷംടാസി, വ്യത്യാസം പ്രധാനമാണ്. TaC ഉള്ളതും അല്ലാത്തതുമായ വേഫറുകളുടെ താരതമ്യവും സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള സിമിസെറയുടെ ഭാഗങ്ങളും ചുവടെയുണ്ട്.
TaC ഉള്ളതും അല്ലാതെയും
TaC ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷം (വലത്)
മാത്രമല്ല, സെമിസെറയുടെTaC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾതാരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ദൈർഘ്യമേറിയ സേവന ജീവിതവും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നുSiC കോട്ടിംഗുകൾ.ലബോറട്ടറി അളവുകൾ നമ്മുടെTaC കോട്ടിംഗുകൾ2300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെയുള്ള താപനിലയിൽ ദീർഘനാളത്തേക്ക് സ്ഥിരമായി പ്രവർത്തിക്കാനാകും. ഞങ്ങളുടെ സാമ്പിളുകളുടെ ചില ഉദാഹരണങ്ങൾ ചുവടെയുണ്ട്:
