വിവിധ ഘടകങ്ങൾക്കും കാരിയറുകൾക്കുമായി സെമിസെറ പ്രത്യേക ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകൾ നൽകുന്നു.സെമിസെറ ലീഡിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രോസസ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകളെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത, ഉയർന്ന രാസ സഹിഷ്ണുത എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, SIC/GAN ക്രിസ്റ്റലുകളുടെയും EPI ലെയറുകളുടെയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു (ഗ്രാഫൈറ്റ് പൂശിയ TaC സസെപ്റ്റർ), കൂടാതെ പ്രധാന റിയാക്ടർ ഘടകങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, കൂടാതെ സെമിസെറ ടാൻടലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (സിവിഡി) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര നൂതന തലത്തിലെത്തി.
8-ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) വേഫറുകളുടെ വരവോടെ, വിവിധ അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയകൾക്കുള്ള ആവശ്യകതകൾ കൂടുതൽ കർശനമായിത്തീർന്നിരിക്കുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് താപനില 2000 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് കവിയുന്ന എപ്പിറ്റാക്സി പ്രക്രിയകൾക്ക്. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കൊണ്ട് പൊതിഞ്ഞ ഗ്രാഫൈറ്റ് പോലെയുള്ള പരമ്പരാഗത സസെപ്റ്റർ മെറ്റീരിയലുകൾ, ഈ ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ, എപ്പിറ്റാക്സി പ്രക്രിയയെ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, CVD ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) ഈ പ്രശ്നത്തെ ഫലപ്രദമായി അഭിസംബോധന ചെയ്യുന്നു, 2300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെ താപനിലയെ നേരിടുകയും ദീർഘമായ സേവനജീവിതം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. സെമിസെറയെ ബന്ധപ്പെടുക's ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി സിവിഡി കോട്ടിംഗ് വേഫർ സസെപ്റ്റർഞങ്ങളുടെ വിപുലമായ പരിഹാരങ്ങളെക്കുറിച്ച് കൂടുതൽ പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യാൻ.
വർഷങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് ശേഷം, സെമിസെറ സാങ്കേതികവിദ്യ കീഴടക്കിCVD TaCഗവേഷണ-വികസന വകുപ്പിൻ്റെ സംയുക്ത ശ്രമങ്ങളോടെ. SiC വേഫറുകളുടെ വളർച്ചാ പ്രക്രിയയിൽ തകരാറുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, എന്നാൽ ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷംടാസി, വ്യത്യാസം പ്രധാനമാണ്. TaC ഉള്ളതും അല്ലാത്തതുമായ വേഫറുകളുടെ താരതമ്യവും സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള സിമിസെറയുടെ ഭാഗങ്ങളും ചുവടെയുണ്ട്.
TaC ഉള്ളതും അല്ലാതെയും
TaC ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷം (വലത്)
മാത്രമല്ല, സെമിസെറയുടെTaC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾതാരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ദൈർഘ്യമേറിയ സേവന ജീവിതവും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നുSiC കോട്ടിംഗുകൾ.ലബോറട്ടറി അളവുകൾ നമ്മുടെTaC കോട്ടിംഗുകൾ2300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെയുള്ള താപനിലയിൽ ദീർഘനാളത്തേക്ക് സ്ഥിരമായി പ്രവർത്തിക്കാനാകും. ഞങ്ങളുടെ സാമ്പിളുകളുടെ ചില ഉദാഹരണങ്ങൾ ചുവടെയുണ്ട്:
