വിവിധ ഘടകങ്ങൾക്കും കാരിയറുകൾക്കുമായി സെമിസെറ പ്രത്യേക ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകൾ നൽകുന്നു.സെമിസെറ ലീഡിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രോസസ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകളെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത, ഉയർന്ന രാസ സഹിഷ്ണുത എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, SIC/GAN ക്രിസ്റ്റലുകളുടെയും EPI ലെയറുകളുടെയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു (ഗ്രാഫൈറ്റ് പൂശിയ TaC സസെപ്റ്റർ), കൂടാതെ പ്രധാന റിയാക്ടർ ഘടകങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, കൂടാതെ സെമിസെറ ടാൻടലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (സിവിഡി) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര നൂതന തലത്തിലെത്തി.
ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ വേഫർ കാരിയറുകൾ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിലും കൈകാര്യം ചെയ്യൽ പ്രക്രിയകളിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വേഫറുകളുടെ സുരക്ഷ, കൃത്യത, സ്ഥിരത എന്നിവ ഉറപ്പാക്കാൻ അവ സ്ഥിരമായ പിന്തുണയും സംരക്ഷണവും നൽകുന്നു. ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗുകൾക്ക് കാരിയറിൻ്റെ സേവനജീവിതം വർദ്ധിപ്പിക്കാനും ചെലവ് കുറയ്ക്കാനും അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ ഗുണനിലവാരവും വിശ്വാസ്യതയും മെച്ചപ്പെടുത്താനും കഴിയും.
ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ വേഫർ കാരിയറിൻ്റെ വിവരണം ഇപ്രകാരമാണ്:
1. മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുക്കൽ: മികച്ച പ്രകടനവും ഉയർന്ന കാഠിന്യവും ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കവും നാശന പ്രതിരോധവും മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങളുമുള്ള ഒരു മെറ്റീരിയലാണ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ്, അതിനാൽ ഇത് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
2. ഉപരിതല കോട്ടിംഗ്: ടാൻടലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് ഒരു പ്രത്യേക കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിലൂടെ വേഫർ കാരിയറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ പ്രയോഗിച്ച് ഏകീകൃതവും ഇടതൂർന്നതുമായ ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് ഉണ്ടാക്കുന്നു. നല്ല താപ ചാലകത ഉള്ളപ്പോൾ ഈ കോട്ടിംഗിന് അധിക പരിരക്ഷ നൽകാനും പ്രതിരോധം ധരിക്കാനും കഴിയും.
3. പരന്നതും കൃത്യതയും: ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ വേഫർ കാരിയറിന് ഉയർന്ന അളവിലുള്ള പരന്നതും കൃത്യതയും ഉണ്ട്, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വേഫറുകളുടെ സ്ഥിരതയും കൃത്യതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു. വേഫറിൻ്റെ ഗുണനിലവാരവും പ്രകടനവും ഉറപ്പാക്കാൻ കാരിയർ ഉപരിതലത്തിൻ്റെ പരന്നതും ഫിനിഷും നിർണ്ണായകമാണ്.
4. താപനില സ്ഥിരത: ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ രൂപഭേദം വരുത്താതെയും അയവുവരുത്താതെയും ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ വേഫർ കാരിയറുകൾക്ക് കഴിയും, ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയകളിൽ വേഫറുകളുടെ സ്ഥിരതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
5. നാശന പ്രതിരോധം: ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗുകൾക്ക് മികച്ച നാശന പ്രതിരോധമുണ്ട്, രാസവസ്തുക്കളുടെയും ലായകങ്ങളുടെയും മണ്ണൊലിപ്പിനെ പ്രതിരോധിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ ദ്രാവക, വാതക നാശത്തിൽ നിന്ന് കാരിയറിനെ സംരക്ഷിക്കാൻ കഴിയും.
TaC ഉള്ളതും അല്ലാതെയും
TaC ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷം (വലത്)
മാത്രമല്ല, സെമിസെറയുടെTaC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾതാരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ദൈർഘ്യമേറിയ സേവന ജീവിതവും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നുSiC കോട്ടിംഗുകൾ.ലബോറട്ടറി അളവുകൾ നമ്മുടെTaC കോട്ടിംഗുകൾ2300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെയുള്ള താപനിലയിൽ ദീർഘനാളത്തേക്ക് സ്ഥിരമായി പ്രവർത്തിക്കാനാകും. ഞങ്ങളുടെ സാമ്പിളുകളുടെ ചില ഉദാഹരണങ്ങൾ ചുവടെയുണ്ട്:
