ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഷീറ്റ്ഒരു നേർത്ത പാളിയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് മെറ്റീരിയലാണ്ടാൻ്റലം കാർബൈഡ്അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ. ഫിസിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (പിവിഡി) അല്ലെങ്കിൽ കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി) പോലുള്ള സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡിൻ്റെ നേർത്ത പാളി സാധാരണയായി ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ രൂപപ്പെടുന്നത്. ഈ കോട്ടിംഗിന് ഉയർന്ന കാഠിന്യം, മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത തുടങ്ങിയ മികച്ച ഗുണങ്ങളുണ്ട്.
വിവിധ ഘടകങ്ങൾക്കും കാരിയറുകൾക്കുമായി സെമിസെറ പ്രത്യേക ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകൾ നൽകുന്നു.സെമിസെറ ലീഡിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രോസസ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകളെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത, ഉയർന്ന രാസ സഹിഷ്ണുത എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, SIC/GAN ക്രിസ്റ്റലുകളുടെയും EPI ലെയറുകളുടെയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു (ഗ്രാഫൈറ്റ് പൂശിയ TaC സസെപ്റ്റർ), കൂടാതെ പ്രധാന റിയാക്ടർ ഘടകങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, കൂടാതെ സെമിസെറ ടാൻടലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (സിവിഡി) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര നൂതന തലത്തിലെത്തി.
വർഷങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് ശേഷം, സെമിസെറ സാങ്കേതികവിദ്യ കീഴടക്കിCVD TaCഗവേഷണ-വികസന വകുപ്പിൻ്റെ സംയുക്ത ശ്രമങ്ങളോടെ. SiC വേഫറുകളുടെ വളർച്ചാ പ്രക്രിയയിൽ തകരാറുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, എന്നാൽ ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷംടാസി, വ്യത്യാസം പ്രധാനമാണ്. TaC ഉള്ളതും അല്ലാത്തതുമായ വേഫറുകളുടെ താരതമ്യവും സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള സിമിസെറയുടെ ഭാഗങ്ങളും ചുവടെയുണ്ട്.
ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഷീറ്റിൻ്റെ പ്രധാന ഗുണങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
1. ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം: ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കവും മികച്ച ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരതയും ടാൻ്റലം കാർബൈഡിന് ഉണ്ട്, ഇത് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഷീറ്റിനെ അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
2. കോറഷൻ റെസിസ്റ്റൻസ്: ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗിന് നിരവധി കെമിക്കൽ നശിപ്പിക്കുന്ന വസ്തുക്കളുടെ മണ്ണൊലിപ്പിനെ പ്രതിരോധിക്കാനും മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സേവന ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കാനും കഴിയും.
3. ഉയർന്ന കാഠിന്യം: ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് നേർത്ത പാളിയുടെ ഉയർന്ന കാഠിന്യം നല്ല വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം നൽകുന്നു, ഉയർന്ന വസ്ത്ര പ്രതിരോധം ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
4. കെമിക്കൽ സ്റ്റബിലിറ്റി: ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിങ്ങിന് കെമിക്കൽ നാശത്തിന് മികച്ച സ്ഥിരതയുണ്ട്, മാത്രമല്ല ചില നശീകരണ മാധ്യമങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കാനും അനുയോജ്യമാണ്.
TaC ഉള്ളതും അല്ലാതെയും
TaC ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷം (വലത്)
മാത്രമല്ല, സെമിസെറയുടെTaC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾതാരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ദൈർഘ്യമേറിയ സേവന ജീവിതവും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നുSiC കോട്ടിംഗുകൾ.ലബോറട്ടറി അളവുകൾ നമ്മുടെTaC കോട്ടിംഗുകൾ2300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെയുള്ള താപനിലയിൽ ദീർഘനാളത്തേക്ക് സ്ഥിരമായി പ്രവർത്തിക്കാനാകും. ഞങ്ങളുടെ സാമ്പിളുകളുടെ ചില ഉദാഹരണങ്ങൾ ചുവടെയുണ്ട്: