ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ സസെപ്റ്റർ സപ്പോർട്ട് പ്ലേറ്റ്ഒരു നേർത്ത പാളിയാൽ പൊതിഞ്ഞ ഒരു സസെപ്റ്റർ അല്ലെങ്കിൽ സപ്പോർട്ട് ഘടനയാണ്ടാൻ്റലം കാർബൈഡ്. ഫിസിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (പിവിഡി) അല്ലെങ്കിൽ കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി) പോലുള്ള സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ച് സസെപ്റ്റർ ഉപരിതലത്തിൽ ഈ കോട്ടിംഗ് രൂപപ്പെടുത്താം, ഇത് സസെപ്റ്ററിന് മികച്ച ഗുണങ്ങൾ നൽകുന്നു.ടാൻ്റലം കാർബൈഡ്.
വിവിധ ഘടകങ്ങൾക്കും കാരിയറുകൾക്കുമായി സെമിസെറ പ്രത്യേക ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകൾ നൽകുന്നു.സെമിസെറ ലീഡിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രോസസ് ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് (TaC) കോട്ടിംഗുകളെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത, ഉയർന്ന രാസ സഹിഷ്ണുത എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, SIC/GAN ക്രിസ്റ്റലുകളുടെയും EPI ലെയറുകളുടെയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു (ഗ്രാഫൈറ്റ് പൂശിയ TaC സസെപ്റ്റർ), കൂടാതെ പ്രധാന റിയാക്ടർ ഘടകങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് ടാസി കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, കൂടാതെ സെമിസെറ ടാൻടലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (സിവിഡി) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര നൂതന തലത്തിലെത്തി.
വർഷങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് ശേഷം, സെമിസെറ സാങ്കേതികവിദ്യ കീഴടക്കിCVD TaCഗവേഷണ-വികസന വകുപ്പിൻ്റെ സംയുക്ത ശ്രമങ്ങളോടെ. SiC വേഫറുകളുടെ വളർച്ചാ പ്രക്രിയയിൽ തകരാറുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, എന്നാൽ ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷംടാസി, വ്യത്യാസം പ്രധാനമാണ്. TaC ഉള്ളതും അല്ലാത്തതുമായ വേഫറുകളുടെ താരതമ്യവും സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള സിമിസെറയുടെ ഭാഗങ്ങളും ചുവടെയുണ്ട്.
ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ ബേസ് സപ്പോർട്ട് പ്ലേറ്റുകളുടെ പ്രധാന സവിശേഷതകളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
1. ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത: ടാൻടലം കാർബൈഡിന് മികച്ച ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരതയുണ്ട്, ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള പ്രവർത്തന പരിതസ്ഥിതികളിലെ പിന്തുണാ ആവശ്യങ്ങൾക്ക് പൂശിയ ബേസ് സപ്പോർട്ട് പ്ലേറ്റ് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
2. നാശന പ്രതിരോധം: ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗിന് നല്ല നാശന പ്രതിരോധമുണ്ട്, രാസ നാശത്തെയും ഓക്സീകരണത്തെയും ചെറുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ അടിത്തറയുടെ സേവന ആയുസ്സ് നീട്ടാനും കഴിയും.
3. ഉയർന്ന കാഠിന്യവും ധരിക്കാനുള്ള പ്രതിരോധവും: ടാൻ്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഉയർന്ന കാഠിന്യം അടിസ്ഥാന സപ്പോർട്ട് പ്ലേറ്റിന് നല്ല വസ്ത്ര പ്രതിരോധം നൽകുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം ആവശ്യമുള്ള അവസരങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
4. കെമിക്കൽ സ്ഥിരത: ടാൻ്റലം കാർബൈഡിന് വിവിധതരം രാസ പദാർത്ഥങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന സ്ഥിരതയുണ്ട്, ഇത് കോട്ടഡ് ബേസ് സപ്പോർട്ട് പ്ലേറ്റ് ചില വിനാശകരമായ പരിതസ്ഥിതികളിൽ നന്നായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
TaC ഉള്ളതും അല്ലാതെയും
TaC ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷം (വലത്)
മാത്രമല്ല, സെമിസെറയുടെTaC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾതാരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ദൈർഘ്യമേറിയ സേവന ജീവിതവും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നുSiC കോട്ടിംഗുകൾ.ലബോറട്ടറി അളവുകൾ നമ്മുടെTaC കോട്ടിംഗുകൾ2300 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെയുള്ള ഊഷ്മാവിൽ ദീർഘകാലത്തേക്ക് സ്ഥിരമായി പ്രവർത്തിക്കാനാകും. ഞങ്ങളുടെ സാമ്പിളുകളുടെ ചില ഉദാഹരണങ്ങൾ ചുവടെയുണ്ട്:
