വേഫർ ബോണ്ടിംഗ് ടെക്നോളജി

MEMS പ്രോസസ്സിംഗ് - ബോണ്ടിംഗ്: അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ ആപ്ലിക്കേഷനും പ്രകടനവും, സെമിസെറ കസ്റ്റമൈസ്ഡ് സേവനം

മൈക്രോ ഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായങ്ങളിൽ, MEMS (മൈക്രോ-ഇലക്ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റംസ്) സാങ്കേതികവിദ്യ നവീകരണവും ഉയർന്ന പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ള ഉപകരണങ്ങളും നയിക്കുന്ന പ്രധാന സാങ്കേതികവിദ്യകളിലൊന്നായി മാറിയിരിക്കുന്നു. ശാസ്ത്രത്തിൻ്റെയും സാങ്കേതികവിദ്യയുടെയും പുരോഗതിയോടെ, സെൻസറുകൾ, ആക്യുവേറ്ററുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ, മെഡിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ, ഓട്ടോമോട്ടീവ് ഇലക്ട്രോണിക്സ്, മറ്റ് മേഖലകൾ എന്നിവയിൽ MEMS സാങ്കേതികവിദ്യ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു, ക്രമേണ ആധുനിക സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഭാഗമായി മാറി. ഈ ഫീൽഡുകളിൽ, ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയ (ബോണ്ടിംഗ്), MEMS പ്രോസസ്സിംഗിലെ ഒരു പ്രധാന ഘട്ടമെന്ന നിലയിൽ, ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനത്തിലും വിശ്വാസ്യതയിലും ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.

ഫിസിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ കെമിക്കൽ മാർഗങ്ങളിലൂടെ രണ്ടോ അതിലധികമോ പദാർത്ഥങ്ങളെ ദൃഢമായി സംയോജിപ്പിക്കുന്ന ഒരു സാങ്കേതികവിദ്യയാണ് ബോണ്ടിംഗ്. സാധാരണയായി, ഘടനാപരമായ സമഗ്രതയും പ്രവർത്തനക്ഷമതയും കൈവരിക്കുന്നതിന് MEMS ഉപകരണങ്ങളിൽ ബോണ്ടിംഗ് വഴി വ്യത്യസ്ത മെറ്റീരിയൽ പാളികൾ ബന്ധിപ്പിക്കേണ്ടതുണ്ട്. MEMS ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, ബോണ്ടിംഗ് ഒരു കണക്ഷൻ പ്രക്രിയ മാത്രമല്ല, താപ സ്ഥിരത, മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി, വൈദ്യുത പ്രകടനം, ഉപകരണത്തിൻ്റെ മറ്റ് വശങ്ങൾ എന്നിവയെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു.

ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള MEMS പ്രോസസ്സിംഗിൽ, ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനത്തെ ബാധിക്കുന്ന ഏതെങ്കിലും വൈകല്യങ്ങൾ ഒഴിവാക്കിക്കൊണ്ട് ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് മെറ്റീരിയലുകൾ തമ്മിലുള്ള അടുത്ത ബന്ധം ഉറപ്പാക്കേണ്ടതുണ്ട്. അതിനാൽ, ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ കൃത്യമായ നിയന്ത്രണവും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ബോണ്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലുകളും അന്തിമ ഉൽപ്പന്നം വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള പ്രധാന ഘടകങ്ങളാണ്.

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ MEMS ബോണ്ടിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ, സെൻസറുകൾ, ആക്സിലറോമീറ്ററുകൾ, പ്രഷർ സെൻസറുകൾ, ഗൈറോസ്കോപ്പുകൾ തുടങ്ങിയ മൈക്രോ ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ MEMS സാങ്കേതികവിദ്യ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. മിനിയേച്ചറൈസ്ഡ്, ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ്, ഇൻ്റലിജൻ്റ് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾക്കുള്ള വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ഡിമാൻഡിനൊപ്പം, MEMS ഉപകരണങ്ങളുടെ കൃത്യതയും പ്രകടന ആവശ്യകതകളും വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുകയാണ്. ഈ ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ, കാര്യക്ഷമവും സുസ്ഥിരവുമായ പ്രവർത്തനങ്ങൾ നേടുന്നതിന് സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, ഗ്ലാസ്, ലോഹങ്ങൾ, പോളിമറുകൾ തുടങ്ങിയ വ്യത്യസ്ത വസ്തുക്കളെ ബന്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

1. പ്രഷർ സെൻസറുകളും ആക്സിലറോമീറ്ററുകളും
ഓട്ടോമൊബൈൽ, എയ്‌റോസ്‌പേസ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ് തുടങ്ങിയ മേഖലകളിൽ, MEMS പ്രഷർ സെൻസറുകളും ആക്‌സിലറോമീറ്ററുകളും അളക്കുന്നതിനും നിയന്ത്രണ സംവിധാനങ്ങളിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന സംവേദനക്ഷമതയും കൃത്യതയും ഉറപ്പാക്കാൻ സിലിക്കൺ ചിപ്പുകളും സെൻസർ ഘടകങ്ങളും ബന്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ സെൻസറുകൾക്ക് അങ്ങേയറ്റത്തെ പാരിസ്ഥിതിക സാഹചര്യങ്ങളെ നേരിടാൻ കഴിയണം, കൂടാതെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്ക് താപനില വ്യതിയാനങ്ങൾ കാരണം മെറ്റീരിയലുകൾ വേർപെടുത്തുന്നതോ തെറ്റായി പ്രവർത്തിക്കുന്നതോ തടയാൻ കഴിയും.

2. മൈക്രോ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളും MEMS ഒപ്റ്റിക്കൽ സ്വിച്ചുകളും
ഒപ്റ്റിക്കൽ കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻസ്, ലേസർ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയുടെ മേഖലയിൽ, MEMS ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളും ഒപ്റ്റിക്കൽ സ്വിച്ചുകളും ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഒപ്റ്റിക്കൽ സിഗ്നൽ ട്രാൻസ്മിഷൻ്റെ കാര്യക്ഷമതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കാൻ സിലിക്കൺ അധിഷ്ഠിത MEMS ഉപകരണങ്ങളും ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫൈബറുകളും മിററുകളും പോലുള്ള വസ്തുക്കളും തമ്മിൽ കൃത്യമായ കണക്ഷൻ നേടുന്നതിന് ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്രത്യേകിച്ചും ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി, വൈഡ് ബാൻഡ്‌വിഡ്ത്ത്, ദീർഘദൂര ട്രാൻസ്മിഷൻ എന്നിവയുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ, ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ നിർണായകമാണ്.

3. MEMS ഗൈറോസ്കോപ്പുകളും ഇനേർഷ്യൽ സെൻസറുകളും
ഓട്ടോണമസ് ഡ്രൈവിംഗ്, റോബോട്ടിക്‌സ്, എയ്‌റോസ്‌പേസ് തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള വ്യവസായങ്ങളിൽ കൃത്യമായ നാവിഗേഷനും സ്ഥാനനിർണ്ണയത്തിനും MEMS ഗൈറോസ്‌കോപ്പുകളും ഇനേർഷ്യൽ സെൻസറുകളും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്ക് ഉപകരണങ്ങളുടെ വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കാനും ദീർഘകാല പ്രവർത്തനത്തിലോ ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഓപ്പറേഷനിലോ പ്രകടന ശോഷണമോ പരാജയമോ ഒഴിവാക്കാനും കഴിയും.

MEMS പ്രോസസ്സിംഗിലെ ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പ്രധാന പ്രകടന ആവശ്യകതകൾ

MEMS പ്രോസസ്സിംഗിൽ, ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ഗുണനിലവാരം ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനവും ജീവിതവും സ്ഥിരതയും നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു. വിവിധ ആപ്ലിക്കേഷൻ സാഹചര്യങ്ങളിൽ MEMS ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ദീർഘകാലത്തേക്ക് വിശ്വസനീയമായി പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ, ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് ഇനിപ്പറയുന്ന പ്രധാന പ്രകടനം ഉണ്ടായിരിക്കണം:

1. ഉയർന്ന താപ സ്ഥിരത
അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ പല പ്രയോഗ പരിതസ്ഥിതികൾക്കും ഉയർന്ന താപനില സാഹചര്യങ്ങളുണ്ട്, പ്രത്യേകിച്ച് ഓട്ടോമൊബൈൽ, എയ്‌റോസ്‌പേസ് മുതലായവ. ബോണ്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ താപ സ്ഥിരത നിർണായകമാണ്, മാത്രമല്ല തകർച്ചയോ പരാജയമോ കൂടാതെ താപനില മാറ്റങ്ങളെ നേരിടാൻ കഴിയും.

2. ഉയർന്ന വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം
MEMS ഉപകരണങ്ങളിൽ സാധാരണയായി മൈക്രോ-മെക്കാനിക്കൽ ഘടനകൾ ഉൾപ്പെടുന്നു, ദീർഘകാല ഘർഷണവും ചലനവും കണക്ഷൻ ഭാഗങ്ങളുടെ തേയ്മാനത്തിന് കാരണമായേക്കാം. ദീർഘകാല ഉപയോഗത്തിൽ ഉപകരണത്തിൻ്റെ സ്ഥിരതയും കാര്യക്ഷമതയും ഉറപ്പാക്കാൻ ബോണ്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലിന് മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം ആവശ്യമാണ്.

3. ഉയർന്ന ശുദ്ധി

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിന് ഭൗതിക ശുദ്ധി സംബന്ധിച്ച് വളരെ കർശനമായ ആവശ്യകതകളുണ്ട്. ഏതെങ്കിലും ചെറിയ മലിനീകരണം ഉപകരണത്തിൻ്റെ തകരാർ അല്ലെങ്കിൽ പ്രകടന ശോഷണത്തിന് കാരണമായേക്കാം. അതിനാൽ, പ്രവർത്തന സമയത്ത് ഉപകരണത്തെ ബാഹ്യ മലിനീകരണം ബാധിക്കുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് വളരെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി ഉണ്ടായിരിക്കണം.

4. കൃത്യമായ ബോണ്ടിംഗ് കൃത്യത
MEMS ഉപകരണങ്ങൾക്ക് പലപ്പോഴും മൈക്രോൺ-ലെവൽ അല്ലെങ്കിൽ നാനോമീറ്റർ-ലെവൽ പ്രോസസ്സിംഗ് കൃത്യത ആവശ്യമാണ്. ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രവർത്തനത്തെയും പ്രകടനത്തെയും ബാധിക്കില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഓരോ പാളിയുടെയും കൃത്യമായ ഡോക്കിംഗ് ഉറപ്പാക്കണം.

അനോഡിക് ബോണ്ടിംഗ്

അനോഡിക് ബോണ്ടിംഗ്:
● സിലിക്കൺ വേഫറുകളും ഗ്ലാസും, ലോഹവും ഗ്ലാസും, അർദ്ധചാലകവും അലോയ്യും, അർദ്ധചാലകവും ഗ്ലാസും തമ്മിലുള്ള ബന്ധത്തിന് ബാധകമാണ്
Eutectoid ബോണ്ടിംഗ്:
● PbSn, AuSn, CuSn, AuSi എന്നിവ പോലുള്ള മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് ബാധകം

പശ ബോണ്ടിംഗ്:
● AZ4620, SU8 പോലുള്ള പ്രത്യേക ബോണ്ടിംഗ് ഗ്ലൂകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ പ്രത്യേക ബോണ്ടിംഗ് പശ ഉപയോഗിക്കുക
● 4-ഇഞ്ച്, 6-ഇഞ്ച് എന്നിവയ്ക്ക് ബാധകം

സെമിസെറ കസ്റ്റം ബോണ്ടിംഗ് സേവനം

MEMS പ്രോസസ്സിംഗ് സൊല്യൂഷനുകളുടെ ഒരു വ്യവസായ-പ്രമുഖ ദാതാവ് എന്ന നിലയിൽ, ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ളതും ഉയർന്ന സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ ഇഷ്‌ടാനുസൃതമാക്കിയ ബോണ്ടിംഗ് സേവനങ്ങൾ നൽകാൻ സെമിസെറ പ്രതിജ്ഞാബദ്ധമാണ്. സിലിക്കൺ, ഗ്ലാസ്, മെറ്റൽ, സെറാമിക്‌സ് മുതലായവ ഉൾപ്പെടെ വിവിധ സാമഗ്രികളുടെ കണക്ഷനിൽ ഞങ്ങളുടെ ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കാനാകും, അർദ്ധചാലകത്തിലും MEMS ഫീൽഡുകളിലും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് നൂതനമായ പരിഹാരങ്ങൾ നൽകുന്നു.

സെമിസെറയ്ക്ക് വിപുലമായ പ്രൊഡക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങളും സാങ്കേതിക ടീമുകളും ഉണ്ട്, കൂടാതെ ഉപഭോക്താക്കളുടെ പ്രത്യേക ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയ ബോണ്ടിംഗ് പരിഹാരങ്ങൾ നൽകാനും കഴിയും. ഉയർന്ന താപനിലയിലും ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലും ഉള്ള വിശ്വസനീയമായ കണക്ഷൻ ആണെങ്കിലും, അല്ലെങ്കിൽ കൃത്യമായ മൈക്രോ-ഡിവൈസ് ബോണ്ടിംഗ് ആണെങ്കിലും, ഓരോ ഉൽപ്പന്നവും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നിലവാരം പുലർത്തുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ സെമിസെറയ്ക്ക് വിവിധ സങ്കീർണ്ണമായ പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയും.

ഞങ്ങളുടെ ഇഷ്‌ടാനുസൃത ബോണ്ടിംഗ് സേവനം പരമ്പരാഗത ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ മാത്രമായി പരിമിതപ്പെടുത്തിയിട്ടില്ല, വ്യത്യസ്ത മെറ്റീരിയലുകൾക്കും ഘടനകൾക്കും ആപ്ലിക്കേഷൻ ആവശ്യകതകൾക്കും പ്രൊഫഷണൽ സാങ്കേതിക പിന്തുണ നൽകാൻ കഴിയുന്ന മെറ്റൽ ബോണ്ടിംഗ്, തെർമൽ കംപ്രഷൻ ബോണ്ടിംഗ്, പശ ബോണ്ടിംഗ്, മറ്റ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയും ഉൾപ്പെടുന്നു. കൂടാതെ, ഉപഭോക്താവിൻ്റെ എല്ലാ സാങ്കേതിക ആവശ്യങ്ങളും കൃത്യമായി സാക്ഷാത്കരിക്കാൻ കഴിയുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ പ്രോട്ടോടൈപ്പ് വികസനം മുതൽ വൻതോതിലുള്ള ഉൽപ്പാദനം വരെ ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് സമ്പൂർണ്ണ സേവനം നൽകാനും സെമിസെറയ്ക്ക് കഴിയും.