സെമിസെര അവതരിപ്പിക്കുന്നുവേഫർ കാസറ്റ് കാരിയർ, അർദ്ധചാലക വേഫറുകളുടെ സുരക്ഷിതവും കാര്യക്ഷമവുമായ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഒരു നിർണായക പരിഹാരം. അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൻ്റെ കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് ഈ കാരിയർ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിലുടനീളം നിങ്ങളുടെ വേഫറുകളുടെ സംരക്ഷണവും സമഗ്രതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
പ്രധാന സവിശേഷതകൾ:
•കരുത്തുറ്റ നിർമ്മാണം:ദിവേഫർ കാസറ്റ് കാരിയർഅർദ്ധചാലക പരിതസ്ഥിതികളുടെ കാഠിന്യത്തെ ചെറുക്കുന്ന ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതും മോടിയുള്ളതുമായ വസ്തുക്കളിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, മലിനീകരണത്തിനും ശാരീരിക നാശത്തിനും എതിരെ വിശ്വസനീയമായ സംരക്ഷണം നൽകുന്നു.
•കൃത്യമായ വിന്യാസം:കൃത്യമായ വേഫർ അലൈൻമെൻ്റിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്ന ഈ കാരിയർ, വേഫറുകൾ സുരക്ഷിതമായി സൂക്ഷിക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഗതാഗത സമയത്ത് തെറ്റായ ക്രമീകരണം അല്ലെങ്കിൽ കേടുപാടുകൾ ഉണ്ടാകാനുള്ള സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.
•എളുപ്പമുള്ള കൈകാര്യം ചെയ്യൽ:ഉപയോഗ എളുപ്പത്തിനായി എർഗണോമിക് ആയി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്ന, കാരിയർ ലോഡിംഗ്, അൺലോഡിംഗ് പ്രക്രിയ ലളിതമാക്കുന്നു, ക്ലീൻറൂം പരിതസ്ഥിതികളിൽ വർക്ക്ഫ്ലോ കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
•അനുയോജ്യത:വിവിധ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ആവശ്യങ്ങൾക്കായി ഇത് വൈവിധ്യമാർന്നതാക്കുന്നു, വൈവിധ്യമാർന്ന വേഫർ വലുപ്പങ്ങളും തരങ്ങളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.
സെമിസെറയിൽ സമാനതകളില്ലാത്ത സംരക്ഷണവും സൗകര്യവും അനുഭവിക്കുകവേഫർ കാസറ്റ് കാരിയർ. അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ ഉയർന്ന നിലവാരം പുലർത്തുന്ന തരത്തിലാണ് ഞങ്ങളുടെ കാരിയർ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്, നിങ്ങളുടെ വേഫറുകൾ തുടക്കം മുതൽ ഒടുക്കം വരെ പ്രാകൃതമായ അവസ്ഥയിൽ തന്നെ തുടരുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു. നിങ്ങളുടെ ഏറ്റവും നിർണായകമായ പ്രക്രിയകൾക്ക് ആവശ്യമായ ഗുണനിലവാരവും വിശ്വാസ്യതയും നൽകാൻ സെമിസെറയെ വിശ്വസിക്കൂ.
ഇനങ്ങൾ | ഉത്പാദനം | ഗവേഷണം | ഡമ്മി |
ക്രിസ്റ്റൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
പോളിടൈപ്പ് | 4H | ||
ഉപരിതല ഓറിയൻ്റേഷൻ പിശക് | <11-20 >4±0.15° | ||
ഇലക്ട്രിക്കൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
ഡോപൻ്റ് | n-തരം നൈട്രജൻ | ||
പ്രതിരോധശേഷി | 0.015-0.025ohm·cm | ||
മെക്കാനിക്കൽ പാരാമീറ്ററുകൾ | |||
വ്യാസം | 150.0 ± 0.2 മിമി | ||
കനം | 350± 25 μm | ||
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ | [1-100]±5° | ||
പ്രാഥമിക പരന്ന നീളം | 47.5 ± 1.5 മിമി | ||
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് | ഒന്നുമില്ല | ||
ടി.ടി.വി | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
എൽ.ടി.വി | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
വില്ല് | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
വാർപ്പ് | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
ഫ്രണ്ട് (Si-മുഖം) പരുക്കൻത (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ഘടന | |||
മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
ബിപിഡി | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
ടി.എസ്.ഡി | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
ഫ്രണ്ട് ക്വാളിറ്റി | |||
ഫ്രണ്ട് | Si | ||
ഉപരിതല ഫിനിഷ് | സി-ഫേസ് സിഎംപി | ||
കണികകൾ | ≤60ea/വേഫർ (വലിപ്പം≥0.3μm) | NA | |
പോറലുകൾ | ≤5ea/mm. ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം ≤വ്യാസം | ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം≤2*വ്യാസം | NA |
ഓറഞ്ച് തൊലി / കുഴികൾ / പാടുകൾ / വരകൾ / വിള്ളലുകൾ / മലിനീകരണം | ഒന്നുമില്ല | NA | |
എഡ്ജ് ചിപ്സ്/ഇൻഡൻ്റുകൾ/ഫ്രാക്ചർ/ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ | ഒന്നുമില്ല | ||
പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ | ഒന്നുമില്ല | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ≤20% | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ≤30% |
ഫ്രണ്ട് ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | ഒന്നുമില്ല | ||
ബാക്ക് ക്വാളിറ്റി | |||
ബാക്ക് ഫിനിഷ് | സി-ഫേസ് സിഎംപി | ||
പോറലുകൾ | ≤5ea/mm, ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം≤2*വ്യാസം | NA | |
പിന്നിലെ വൈകല്യങ്ങൾ (എഡ്ജ് ചിപ്പുകൾ/ഇൻഡൻ്റുകൾ) | ഒന്നുമില്ല | ||
പുറം പരുക്കൻ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ബാക്ക് ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | 1 മില്ലീമീറ്റർ (മുകളിൽ നിന്ന്) | ||
എഡ്ജ് | |||
എഡ്ജ് | ചാംഫർ | ||
പാക്കേജിംഗ് | |||
പാക്കേജിംഗ് | വാക്വം പാക്കേജിംഗിനൊപ്പം എപ്പി-റെഡി മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ് | ||
*കുറിപ്പുകൾ: "NA" എന്നാൽ അഭ്യർത്ഥന ഇല്ല എന്നാണ് അർത്ഥമാക്കുന്നത് പരാമർശിക്കാത്ത ഇനങ്ങൾ SEMI-STD-യെ പരാമർശിച്ചേക്കാം. |