വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്ന കൈഅർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനും കൈമാറ്റം ചെയ്യുന്നതിനും സ്ഥാനം നൽകുന്നതിനും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന ഉപകരണമാണ്വേഫറുകൾ. ഇത് സാധാരണയായി ഒരു റോബോട്ടിക് ഭുജം, ഒരു ഗ്രിപ്പർ, ഒരു നിയന്ത്രണ സംവിധാനം എന്നിവ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു, കൃത്യമായ ചലനവും സ്ഥാനനിർണ്ണയ ശേഷിയും.വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്ന ആയുധങ്ങൾവേഫർ ലോഡിംഗ്, ക്ലീനിംഗ്, നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ, എച്ചിംഗ്, ലിത്തോഗ്രാഫി, ഇൻസ്പെക്ഷൻ തുടങ്ങിയ പ്രക്രിയ ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾപ്പെടെ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലെ വിവിധ ലിങ്കുകളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉൽപ്പാദന പ്രക്രിയയുടെ ഗുണനിലവാരം, കാര്യക്ഷമത, സ്ഥിരത എന്നിവ ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് അതിൻ്റെ കൃത്യത, വിശ്വാസ്യത, ഓട്ടോമേഷൻ കഴിവുകൾ എന്നിവ അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്.
വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്ന കൈയുടെ പ്രധാന പ്രവർത്തനങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
1. വേഫർ കൈമാറ്റം: ഒരു സ്റ്റോറേജ് റാക്കിൽ നിന്ന് വേഫറുകൾ എടുത്ത് ഒരു പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണത്തിൽ വയ്ക്കുന്നത് പോലെ, വേഫറുകൾ ഒരു സ്ഥലത്ത് നിന്ന് മറ്റൊരിടത്തേക്ക് കൃത്യമായി കൈമാറാൻ വേഫർ ഹാൻഡ്ലിംഗ് ആമിന് കഴിയും.
2. സ്ഥാനനിർണ്ണയവും ഓറിയൻ്റേഷനും: വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്ന ഭുജത്തിന് വേഫറിനെ കൃത്യമായി സ്ഥാപിക്കാനും ഓറിയൻ്റുചെയ്യാനും കഴിയും, തുടർന്നുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ മെഷർമെൻ്റ് പ്രവർത്തനങ്ങൾക്ക് ശരിയായ വിന്യാസവും സ്ഥാനവും ഉറപ്പാക്കാൻ കഴിയും.
3. ക്ലാമ്പിംഗും റിലീസ് ചെയ്യലും: വേഫറുകളുടെ സുരക്ഷിതമായ കൈമാറ്റവും കൈകാര്യം ചെയ്യലും ഉറപ്പാക്കാൻ വേഫറുകൾ സുരക്ഷിതമായി ക്ലാമ്പ് ചെയ്യാനും ആവശ്യമുള്ളപ്പോൾ വിടാനും കഴിയുന്ന ഗ്രിപ്പറുകൾ കൊണ്ട് വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ആയുധങ്ങൾ സാധാരണയായി സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു.
4. ഓട്ടോമേറ്റഡ് കൺട്രോൾ: വേഫർ ഹാൻഡ്ലിംഗ് ആം ഒരു നൂതന നിയന്ത്രണ സംവിധാനം കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, അത് മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച ആക്ഷൻ സീക്വൻസുകൾ സ്വയമേവ നടപ്പിലാക്കാനും ഉൽപ്പാദനക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്താനും മനുഷ്യ പിശകുകൾ കുറയ്ക്കാനും കഴിയും.
ഗുണങ്ങളും സവിശേഷതകളും
1. കൃത്യമായ അളവുകളും താപ സ്ഥിരതയും.
2.ഉയർന്ന നിർദ്ദിഷ്ട കാഠിന്യവും മികച്ച താപ ഏകീകൃതതയും, ദീർഘകാല ഉപയോഗം രൂപഭേദം വളയ്ക്കാൻ എളുപ്പമല്ല.
3.ഇതിന് മിനുസമാർന്ന പ്രതലവും നല്ല വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവുമുണ്ട്, അതിനാൽ കണിക മലിനീകരണമില്ലാതെ ചിപ്പ് സുരക്ഷിതമായി കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നു.
4.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പ്രതിരോധശേഷി 106-108Ω, നോൺ-മാഗ്നറ്റിക്, ആൻ്റി-ഇഎസ്ഡി സ്പെസിഫിക്കേഷൻ ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുസൃതമായി; ചിപ്പിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ സ്ഥിരമായ വൈദ്യുതി അടിഞ്ഞുകൂടുന്നത് തടയാൻ ഇതിന് കഴിയും.
5.നല്ല താപ ചാലകത, കുറഞ്ഞ വിപുലീകരണ ഗുണകം.
