ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്ന, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഫർണസ് ട്യൂബുകൾ

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഫർണസ് ട്യൂബ്പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്: 4-6 ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ വേഫർ LTO= സിലിക്ക, SIPOS= ഓക്സി-പോളിസിലിക്കൺ, SI3N4= സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ്, PSG= ഫോസ്ഫോസിലിക്കൺ ഗ്ലാസ്, POLY= പോളിസിലിക്കൺ ഫിലിം വളർച്ച.അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു സോളിഡ് ഫിലിം ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതിന് താപ ഊർജ്ജം സജീവമാക്കുന്ന അസംസ്കൃത പദാർത്ഥമായ വാതകമാണ് (അല്ലെങ്കിൽ ലിക്വിഡ് സോഴ്സ് ഗ്യാസിഫിക്കേഷൻ).ലോ മർദ്ദം കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം താഴ്ന്ന മർദ്ദം നിർവ്വഹിക്കുന്നു, കുറഞ്ഞ മർദ്ദം കാരണം, വാതക തന്മാത്രകളുടെ ശരാശരി സ്വതന്ത്ര പാത വലുതാണ്, അതിനാൽ വളർന്നു ഫിലിമിൻ്റെ ഏകീകൃതത നല്ലതാണ്, കൂടാതെ അടിവസ്ത്രം ലംബമായി സ്ഥാപിക്കുകയും അളവ് ലോഡിംഗ് വളരെ വലുതാണ്, പ്രത്യേകിച്ച് വലിയ തോതിലുള്ള ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ, ഡിസ്ക്രീറ്റ് ഉപകരണങ്ങൾ, പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫൈബർ, വ്യാവസായിക ഉൽപ്പാദനത്തിൻ്റെ മറ്റ് വ്യവസായങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് പ്രത്യേക ഉപകരണങ്ങൾ അനുയോജ്യമാണ്.