മൂന്നാം തലമുറ അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളിൽ പ്രധാനമായും SiC, GaN, ഡയമണ്ട് മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു, കാരണം അതിൻ്റെ ബാൻഡ് വിടവ് വീതി (ഉദാ) 2.3 ഇലക്ട്രോൺ വോൾട്ടുകളേക്കാൾ (eV) കൂടുതലോ തുല്യമോ ആണ്, ഇത് വൈഡ് ബാൻഡ് ഗ്യാപ്പ് സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയലുകൾ എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു.ഒന്നും രണ്ടും തലമുറയിലെ അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, മൂന്നാം തലമുറ അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കൾക്ക് ഉയർന്ന താപ ചാലകത, ഉയർന്ന തകർച്ചയുള്ള വൈദ്യുത മണ്ഡലം, ഉയർന്ന പൂരിത ഇലക്ട്രോൺ മൈഗ്രേഷൻ നിരക്ക്, ഉയർന്ന ബോണ്ടിംഗ് ഊർജ്ജം എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങളുണ്ട്. താപനില, ഉയർന്ന ശക്തി, ഉയർന്ന മർദ്ദം, ഉയർന്ന ആവൃത്തിയും റേഡിയേഷൻ പ്രതിരോധവും മറ്റ് കഠിനമായ അവസ്ഥകളും.ദേശീയ പ്രതിരോധം, വ്യോമയാനം, ബഹിരാകാശം, എണ്ണ പര്യവേക്ഷണം, ഒപ്റ്റിക്കൽ സംഭരണം തുടങ്ങിയ മേഖലകളിൽ ഇതിന് സുപ്രധാനമായ ആപ്ലിക്കേഷൻ സാധ്യതകളുണ്ട്, കൂടാതെ ബ്രോഡ്ബാൻഡ് ആശയവിനിമയം, സൗരോർജ്ജം, ഓട്ടോമൊബൈൽ നിർമ്മാണം, തുടങ്ങി നിരവധി തന്ത്രപ്രധാന വ്യവസായങ്ങളിൽ ഊർജ്ജ നഷ്ടം 50% ലധികം കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും. അർദ്ധചാലക ലൈറ്റിംഗ്, സ്മാർട്ട് ഗ്രിഡ്, കൂടാതെ ഉപകരണങ്ങളുടെ അളവ് 75%-ൽ കൂടുതൽ കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും, ഇത് മനുഷ്യ ശാസ്ത്രത്തിൻ്റെയും സാങ്കേതികവിദ്യയുടെയും വികസനത്തിന് നാഴികക്കല്ലാണ്.
ഇനം 项目 | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
വ്യാസം | 50.8 ± 1 മി.മീ | ||
കനം厚度 | 350 ± 25 μm | ||
ഓറിയൻ്റേഷൻ | C തലം (0001) ഓഫ് ആംഗിൾ M-അക്ഷം 0.35 ± 0.15° | ||
പ്രൈം ഫ്ലാറ്റ് | (1-100) 0 ± 0.5°, 16 ± 1 മി.മീ | ||
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് | (11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 മി.മീ | ||
ചാലകത | എൻ-തരം | എൻ-തരം | സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് |
പ്രതിരോധശേഷി (300K) | < 0.1 Ω·cm | < 0.05 Ω·cm | > 106 Ω·സെ.മീ |
ടി.ടി.വി | ≤ 15 μm | ||
വില്ലു | ≤ 20 μm | ||
Ga മുഖം ഉപരിതല പരുക്കൻ | < 0.2 nm (മിനുക്കിയ); | ||
അല്ലെങ്കിൽ < 0.3 nm (എപിറ്റാക്സിക്കുള്ള മിനുക്കിയതും ഉപരിതല ചികിത്സയും) | |||
N മുഖം ഉപരിതല പരുക്കൻ | 0.5 ~1.5 μm | ||
ഓപ്ഷൻ: 1 ~ 3 nm (ഫൈൻ ഗ്രൗണ്ട്);< 0.2 nm (മിനുക്കിയ) | |||
ഡിസ്ലോക്കേഷൻ ഡെൻസിറ്റി | 1 x 105 മുതൽ 3 x 106 cm-2 വരെ (CL കണക്കാക്കുന്നത്)* | ||
മാക്രോ ഡിഫെക്റ്റ് ഡെൻസിറ്റി | < 2 cm-2 | ||
ഉപയോഗിക്കാവുന്ന ഏരിയ | > 90% (എഡ്ജ്, മാക്രോ വൈകല്യങ്ങൾ ഒഴിവാക്കൽ) | ||
ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യകതകൾ, സിലിക്കണിൻ്റെ വ്യത്യസ്ത ഘടന, നീലക്കല്ല്, SiC അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള GaN എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഷീറ്റ് എന്നിവ അനുസരിച്ച് ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാനാകും. |