SiC വേഫർ ബോട്ട്
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ ബോട്ട്സോളാർ, അർദ്ധചാലക വ്യാപന പ്രക്രിയകളിൽ പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്ന വേഫറുകൾക്കുള്ള ഒരു ലോഡ്-ചുമക്കുന്ന ഉപകരണമാണ്. വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപനില ആഘാത പ്രതിരോധം, പ്ലാസ്മ ബോംബിംഗ് പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപനില വഹിക്കാനുള്ള ശേഷി, ഉയർന്ന താപ ചാലകത, ഉയർന്ന താപ വിസർജ്ജനം, വളയാനും രൂപഭേദം വരുത്താനും എളുപ്പമല്ലാത്ത ദീർഘകാല ഉപയോഗം തുടങ്ങിയ സവിശേഷതകളുണ്ട്. സേവന ജീവിതം ഉറപ്പാക്കാൻ ഞങ്ങളുടെ കമ്പനി ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു കൂടാതെ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയ ഡിസൈനുകൾ നൽകുന്നു. വിവിധ ലംബവും തിരശ്ചീനവുംവേഫർ ബോട്ട്.
SiC പാഡിൽ
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കാൻ്റിലിവർ പാഡിൽസിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ (ഡിഫ്യൂഷൻ) കോട്ടിംഗിലാണ് ഇത് പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ലോഡുചെയ്യുന്നതിലും കൊണ്ടുപോകുന്നതിലും ഇത് നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഇത് ഒരു പ്രധാന ഘടകമാണ്അർദ്ധചാലക വേഫർലോഡിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് ഇനിപ്പറയുന്ന പ്രധാന സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്:
1. ഉയർന്ന താപനില പരിതസ്ഥിതിയിൽ ഇത് രൂപഭേദം വരുത്തുന്നില്ല, കൂടാതെ വേഫറുകളിൽ ഉയർന്ന ലോഡിംഗ് ശക്തിയുണ്ട്;
2. അത് അതിശൈത്യത്തെയും വേഗത്തിലുള്ള ചൂടിനെയും പ്രതിരോധിക്കും, കൂടാതെ ഒരു നീണ്ട സേവന ജീവിതവുമുണ്ട്;
3. തെർമൽ എക്സ്പാൻഷൻ കോഫിഫിഷ്യൻ്റ് ചെറുതാണ്, അറ്റകുറ്റപ്പണികളും ക്ലീനിംഗ് സൈക്കിളും വളരെയധികം വിപുലീകരിക്കുന്നു, കൂടാതെ മലിനീകരണം ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു.
SiC ഫർണസ് ട്യൂബ്
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പ്രോസസ് ട്യൂബ്, ലോഹമാലിന്യങ്ങളില്ലാതെ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള SiC കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചത്, വേഫറിനെ മലിനമാക്കുന്നില്ല, കൂടാതെ അർദ്ധചാലക, ഫോട്ടോവോൾട്ടേയിക് ഡിഫ്യൂഷൻ, അനീലിംഗ്, ഓക്സിഡേഷൻ പ്രക്രിയ തുടങ്ങിയ പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
SiC റോബോട്ട് ആം
SiC റോബോട്ട് ഭുജംഅർദ്ധചാലക വേഫറുകൾ കൊണ്ടുപോകാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു റോബോട്ടിക് ഭുജമാണ് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ എന്നും അറിയപ്പെടുന്നത്, ഇത് അർദ്ധചാലക, ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക്, സൗരോർജ്ജ വ്യവസായങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉപയോഗിച്ച്, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, ഭൂകമ്പ പ്രതിരോധം, രൂപഭേദം കൂടാതെയുള്ള ദീർഘകാല ഉപയോഗം, നീണ്ട സേവന ജീവിതം മുതലായവ, ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയ സേവനങ്ങൾ നൽകാൻ കഴിയും.
ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്ക് ഗ്രാഫൈറ്റ്
ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹീറ്റ് ഷീൽഡ്
ഗ്രാഫൈറ്റ് ഇലക്ട്രോഡ് ട്യൂബ്
ഗ്രാഫൈറ്റ് ഡിഫ്ലെക്ടർ
ഗ്രാഫൈറ്റ് ചക്ക്
അർദ്ധചാലക crvstals വളർത്തുന്നതിന് ഉപയോഗിക്കുന്ന എല്ലാ പ്രക്രിയകളും ഉയർന്ന താപനിലയിലും നശിപ്പിക്കുന്ന പരിതസ്ഥിതികളിലും പ്രവർത്തിക്കുന്നു. ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത് ഫർണസിൻ്റെ ചൂടുള്ള മേഖല സാധാരണയായി ചൂട്-പ്രതിരോധശേഷിയുള്ളതും നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നതുമായ ഉയർന്ന ശുദ്ധതയോടെയാണ്. ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹീറ്ററുകൾ, ക്രൂസിബിളുകൾ, സിലിണ്ടറുകൾ, ഡിഫ്ലെക്ടർ, ചക്കുകൾ, ട്യൂബുകൾ, വളയങ്ങൾ, ഹോൾഡറുകൾ, നട്ട്സ്, തുടങ്ങിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് 5ppm-ൽ താഴെയുള്ള ചാരത്തിൻ്റെ ഉള്ളടക്കം നേടാനാകും.
സെമിഡോണ്ടക്ടർ എപ്പിറ്റാക്സിക്കുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ്
MOCVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ഭാഗങ്ങൾ
അർദ്ധചാലക ഗ്രാഫൈറ്റ് ഫിക്സ്ചർ
അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ അതേ ലാറ്റിസ് ക്രമീകരണമുള്ള ഒരൊറ്റ ക്രിസ്റ്റൽ അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഒരൊറ്റ ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ വളർച്ചയെ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പ്രക്രിയ സൂചിപ്പിക്കുന്നു. ഇതിന് നിരവധി അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി ഗ്രാഫൈറ്റ് ഭാഗങ്ങളും എസ്ഐസി കോട്ടിംഗുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ബേസും ആവശ്യമാണ്. അർദ്ധചാലക എപ്പിറ്റാക്സിക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്രാഫൈറ്റിന് വിപുലമായ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ ഉണ്ട്, വ്യവസായത്തിൽ ഏറ്റവും സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉപകരണങ്ങളുമായി പൊരുത്തപ്പെടാൻ കഴിയും, അതേ സമയം, അത് വളരെ ഉയർന്നതാണ്. പരിശുദ്ധി, യൂണിഫോം കോട്ടിംഗ്, മികച്ച സേവന ജീവിതം, വളരെ ഉയർന്ന രാസ പ്രതിരോധവും താപ സ്ഥിരതയും.
ഇൻസുലേഷൻ മെറ്റീരിയലും മറ്റുള്ളവയും
അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദനത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന താപ ഇൻസുലേഷൻ സാമഗ്രികൾ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹാർഡ്, സോഫ്റ്റ് ഫീൽഡ്, ഗ്രാഫൈറ്റ് ഫോയിൽ, കാർബൺ കോമ്പോസിറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ മുതലായവയാണ്. ഞങ്ങളുടെ അസംസ്കൃത വസ്തുക്കൾ ഇറക്കുമതി ചെയ്ത ഗ്രാഫൈറ്റ് വസ്തുക്കളാണ്, അവ ഉപഭോക്താക്കളുടെ സ്പെസിഫിക്കേഷൻ അനുസരിച്ച് മുറിച്ചെടുക്കാം, കൂടാതെ വിൽക്കാനും കഴിയും. മുഴുവൻ. സോളാർ മോണോക്രിസ്റ്റൽ, പോളിസിലിക്കൺ സെൽ ഉൽപാദന പ്രക്രിയയ്ക്ക് കാർബൺ സംയോജിത മെറ്റീരിയൽ സാധാരണയായി ഒരു വാഹകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.