അർദ്ധചാലക സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്കുകൾ പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുന്നു: പ്രകടന നേട്ടങ്ങളും ആപ്ലിക്കേഷൻ സാധ്യതകളും

ഇന്നത്തെ ഇലക്ട്രോണിക് ടെക്നോളജി മേഖലയിൽ, അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കൾ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.അവയിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) ഒരു വൈഡ് ബാൻഡ് ഗ്യാപ്പ് അർദ്ധചാലക വസ്തുവായി, ഉയർന്ന തകർച്ചയുള്ള വൈദ്യുത മണ്ഡലം, ഉയർന്ന സാച്ചുറേഷൻ വേഗത, ഉയർന്ന താപ ചാലകത മുതലായവ പോലുള്ള മികച്ച പ്രകടന ഗുണങ്ങളോടെ, ക്രമേണ ഗവേഷകരുടെയും എഞ്ചിനീയർമാരുടെയും ശ്രദ്ധാകേന്ദ്രമായി മാറുന്നു.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്ക്, അതിൻ്റെ ഒരു പ്രധാന ഭാഗമായി, വലിയ ആപ്ലിക്കേഷൻ സാധ്യതകൾ കാണിച്ചു.

一、എപിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്ക് പ്രകടനം: മുഴുവൻ ഗുണങ്ങളും
1. അൾട്രാ-ഹൈ ബ്രേക്ക്‌ഡൗൺ ഇലക്ട്രിക് ഫീൽഡ്: പരമ്പരാഗത സിലിക്കൺ മെറ്റീരിയലുകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ തകർച്ച ഇലക്ട്രിക് ഫീൽഡ് 10 മടങ്ങ് കൂടുതലാണ്.ഇതിനർത്ഥം, അതേ വോൾട്ടേജ് സാഹചര്യങ്ങളിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്കുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന വൈദ്യുതധാരകളെ നേരിടാൻ കഴിയും, അതുവഴി ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ്, ഉയർന്ന ആവൃത്തി, ഉയർന്ന പവർ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നു.
2. ഹൈ-സ്പീഡ് സാച്ചുറേഷൻ സ്പീഡ്: സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ സാച്ചുറേഷൻ വേഗത സിലിക്കണിൻ്റെ 2 മടങ്ങ് കൂടുതലാണ്.ഉയർന്ന താപനിലയിലും ഉയർന്ന വേഗതയിലും പ്രവർത്തിക്കുന്നു, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്ക് മികച്ച പ്രകടനം കാഴ്ചവയ്ക്കുന്നു, ഇത് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ സ്ഥിരതയും വിശ്വാസ്യതയും ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
3. ഉയർന്ന ദക്ഷതയുള്ള താപ ചാലകത: സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ താപ ചാലകത സിലിക്കണിൻ്റെ 3 മടങ്ങ് കൂടുതലാണ്.തുടർച്ചയായ ഉയർന്ന പവർ ഓപ്പറേഷൻ സമയത്ത് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളെ മികച്ച രീതിയിൽ ചൂടാക്കാൻ ഈ സവിശേഷത അനുവദിക്കുന്നു, അതുവഴി അമിതമായി ചൂടാക്കുന്നത് തടയുകയും ഉപകരണത്തിൻ്റെ സുരക്ഷ മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
4. മികച്ച രാസ സ്ഥിരത: ഉയർന്ന ഊഷ്മാവ്, ഉയർന്ന മർദ്ദം, ശക്തമായ വികിരണം തുടങ്ങിയ അങ്ങേയറ്റത്തെ പരിതസ്ഥിതികളിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ പ്രകടനം മുമ്പത്തെപ്പോലെ സ്ഥിരതയുള്ളതാണ്.സങ്കീർണ്ണമായ ചുറ്റുപാടുകളിൽ മികച്ച പ്രകടനം നിലനിർത്താൻ ഈ സവിശേഷത സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്കിനെ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
二、നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ: ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം കൊത്തിയെടുത്തു
എസ്ഐസി എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്ക് നിർമ്മിക്കുന്നതിനുള്ള പ്രധാന പ്രക്രിയകളിൽ ഫിസിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (പിവിഡി), കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി), എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.ഈ പ്രക്രിയകളിൽ ഓരോന്നിനും അതിൻ്റേതായ സവിശേഷതകളുണ്ട് കൂടാതെ മികച്ച ഫലങ്ങൾ നേടുന്നതിന് വിവിധ പാരാമീറ്ററുകളുടെ കൃത്യമായ നിയന്ത്രണം ആവശ്യമാണ്.
1. പിവിഡി പ്രക്രിയ: ബാഷ്പീകരണം അല്ലെങ്കിൽ സ്‌പട്ടറിംഗ്, മറ്റ് രീതികൾ എന്നിവയിലൂടെ, SiC ടാർഗെറ്റ് ഒരു ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു.ഈ രീതി ഉപയോഗിച്ച് തയ്യാറാക്കിയ ഫിലിമിന് ഉയർന്ന ശുദ്ധതയും നല്ല സ്ഫടികത്വവുമുണ്ട്, എന്നാൽ നിർമ്മാണ വേഗത താരതമ്യേന മന്ദഗതിയിലാണ്.
2. CVD പ്രക്രിയ: ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉറവിട വാതകം പൊട്ടിച്ച്, അത് അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.ഈ രീതി ഉപയോഗിച്ച് തയ്യാറാക്കിയ ഫിലിമിൻ്റെ കനവും ഏകതാനതയും നിയന്ത്രിക്കാവുന്നതാണ്, എന്നാൽ ശുദ്ധതയും സ്ഫടികതയും മോശമാണ്.
3. എപിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച: രാസ നീരാവി നിക്ഷേപ രീതി വഴി മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ വസ്തുക്കളിൽ SiC എപിറ്റാക്സിയൽ പാളിയുടെ വളർച്ച.ഈ രീതി ഉപയോഗിച്ച് തയ്യാറാക്കിയ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ലെയറിന് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയലുമായി നല്ല പൊരുത്തവും മികച്ച പ്രകടനവുമുണ്ട്, പക്ഷേ വില താരതമ്യേന ഉയർന്നതാണ്.
三、അപ്ലിക്കേഷൻ സാധ്യത: ഭാവിയെ പ്രകാശിപ്പിക്കുക
പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ തുടർച്ചയായ വികസനവും ഉയർന്ന പ്രകടനവും ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യതയുമുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ഡിമാൻഡും, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്കിന് അർദ്ധചാലക ഉപകരണ നിർമ്മാണത്തിൽ വിശാലമായ ആപ്ലിക്കേഷൻ സാധ്യതകളുണ്ട്.പവർ ഇലക്ട്രോണിക് സ്വിച്ചുകൾ, ഇൻവെർട്ടറുകൾ, റക്റ്റിഫയറുകൾ തുടങ്ങിയ ഹൈ-ഫ്രീക്വൻസി ഹൈ-പവർ അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. കൂടാതെ, സോളാർ സെല്ലുകൾ, എൽഇഡി, മറ്റ് ഫീൽഡുകൾ എന്നിവയിലും ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
അതുല്യമായ പ്രകടന ഗുണങ്ങളും നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ തുടർച്ചയായ പുരോഗതിയും കൊണ്ട്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിസ്ക് അർദ്ധചാലക ഫീൽഡിൽ അതിൻ്റെ വലിയ സാധ്യതകൾ ക്രമേണ കാണിക്കുന്നു.ശാസ്‌ത്ര-സാങ്കേതിക വിദ്യയുടെ ഭാവിയിൽ അത് കൂടുതൽ പ്രാധാന്യമുള്ള പങ്ക് വഹിക്കുമെന്ന് വിശ്വസിക്കാൻ നമുക്ക് കാരണമുണ്ട്.