MOCVD ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിലൊന്ന് എന്ന നിലയിൽ, ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിത്തറയാണ് അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ കാരിയർ, ചൂടാക്കൽ ബോഡി, ഇത് ഫിലിം മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഏകീകൃതതയും ശുദ്ധതയും നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു, അതിനാൽ അതിൻ്റെ ഗുണനിലവാരം എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഷീറ്റ് തയ്യാറാക്കുന്നതിനെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു, കൂടാതെ . ..
കൂടുതൽ വായിക്കുക