സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ പൗഡറും ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള കാർബൺ പൗഡറും അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളായി നിർമ്മിച്ചതാണ്, കൂടാതെ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ക്രിസ്റ്റൽ ഫിസിക്കൽ നീരാവി കൈമാറ്റ രീതി (PVT) വഴി വളർത്തിയെടുക്കുകയും പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ.

① അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളുടെ സമന്വയം. ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി സിലിക്കൺ പൗഡറും ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി കാർബൺ പൗഡറും ഒരു നിശ്ചിത അനുപാതത്തിൽ കലർത്തി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കണികകൾ 2,000 ഡിഗ്രിക്ക് മുകളിലുള്ള ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സമന്വയിപ്പിച്ചു. ക്രഷിംഗ്, ക്ലീനിംഗ്, മറ്റ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയ്ക്ക് ശേഷം, ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്ന ഉയർന്ന ശുദ്ധമായ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പൊടി അസംസ്കൃത വസ്തുക്കൾ തയ്യാറാക്കുന്നു.

② ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ച. ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള എസ്ഐസി പൊടി അസംസ്കൃത വസ്തുവായി ഉപയോഗിച്ച്, സ്വയം വികസിപ്പിച്ച ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത് ഫർണസ് ഉപയോഗിച്ച് ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ട്രാൻസ്ഫർ (പിവിടി) രീതിയിലാണ് ക്രിസ്റ്റൽ വളർത്തിയത്.

③ ഇൻഗോട്ട് പ്രോസസ്സിംഗ്. ലഭിച്ച സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ക്രിസ്റ്റൽ ഇൻഗോട്ട് എക്‌സ്-റേ സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയൻ്റേറ്റർ ഉപയോഗിച്ച് ഓറിയൻ്റേറ്റ് ചെയ്തു, തുടർന്ന് പൊടിച്ച് ഉരുട്ടി, സാധാരണ വ്യാസമുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ക്രിസ്റ്റലിലേക്ക് പ്രോസസ്സ് ചെയ്തു.

④ ക്രിസ്റ്റൽ കട്ടിംഗ്. മൾട്ടി-ലൈൻ കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പരലുകൾ 1 മില്ലീമീറ്ററിൽ കൂടാത്ത കനം ഉള്ള നേർത്ത ഷീറ്റുകളായി മുറിക്കുന്നു.

⑤ ചിപ്പ് പൊടിക്കൽ. വ്യത്യസ്‌ത കണിക വലുപ്പത്തിലുള്ള വജ്രം പൊടിക്കുന്ന ദ്രാവകങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് വേഫർ ആവശ്യമുള്ള പരന്നതയിലേക്കും പരുഷതയിലേക്കും പൊടിക്കുന്നു.

⑥ ചിപ്പ് പോളിഷിംഗ്. ഉപരിതല കേടുപാടുകൾ കൂടാതെ മിനുക്കിയ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ്, കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് എന്നിവയിലൂടെ ലഭിച്ചു.

⑦ ചിപ്പ് കണ്ടെത്തൽ. ഒപ്റ്റിക്കൽ മൈക്രോസ്കോപ്പ്, എക്സ്-റേ ഡിഫ്രാക്ടോമീറ്റർ, ആറ്റോമിക് ഫോഴ്‌സ് മൈക്രോസ്കോപ്പ്, നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് റെസിസ്റ്റിവിറ്റി ടെസ്റ്റർ, ഉപരിതല ഫ്ലാറ്റ്നസ് ടെസ്റ്റർ, ഉപരിതല വൈകല്യമുള്ള സമഗ്ര ടെസ്റ്റർ, മറ്റ് ഉപകരണങ്ങളും ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച് മൈക്രോട്യൂബ്യൂൾ സാന്ദ്രത, ക്രിസ്റ്റൽ ഗുണനിലവാരം, ഉപരിതല പരുക്കൻ, പ്രതിരോധം, വാർപേജ്, വക്രത, കനം മാറ്റം, ഉപരിതല സ്ക്രാച്ച്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫറിൻ്റെ മറ്റ് പാരാമീറ്ററുകൾ. ഇത് അനുസരിച്ച്, ചിപ്പിൻ്റെ ഗുണനിലവാരം നിർണ്ണയിക്കപ്പെടുന്നു.

⑧ ചിപ്പ് വൃത്തിയാക്കൽ. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പോളിഷിംഗ് ഷീറ്റ് പോളിഷിംഗ് ഷീറ്റിലെ അവശിഷ്ടമായ പോളിഷിംഗ് ലിക്വിഡും മറ്റ് ഉപരിതല അഴുക്കും നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റും ശുദ്ധമായ വെള്ളവും ഉപയോഗിച്ച് വൃത്തിയാക്കുന്നു, തുടർന്ന് അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി നൈട്രജനും ഡ്രൈയിംഗ് മെഷീനും ഉപയോഗിച്ച് വേഫർ ഊതുകയും കുലുക്കുകയും ചെയ്യുന്നു; ഡൗൺസ്ട്രീം റെഡി-ടു-യുസ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് വേഫർ ഒരു സൂപ്പർ-ക്ലീൻ ചേമ്പറിലെ വൃത്തിയുള്ള ഷീറ്റ് ബോക്സിൽ പൊതിഞ്ഞിരിക്കുന്നു.

ചിപ്പിൻ്റെ വലിപ്പം കൂടുന്തോറും അനുബന്ധമായ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയും പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയും കൂടുതൽ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്, കൂടാതെ ഡൗൺസ്ട്രീം ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ കാര്യക്ഷമത കൂടുന്തോറും യൂണിറ്റ് വില കുറയും.