SOI വേഫറുകൾ

ഹൃസ്വ വിവരണം:

മൂന്ന് പാളികളുള്ള ഒരു സാൻഡ്‌വിച്ച് പോലെയുള്ള ഘടനയാണ് SOI വേഫർ;മുകളിലെ പാളി (ഉപകരണ പാളി), കുഴിച്ചിട്ട ഓക്സിജൻ പാളിയുടെ മധ്യഭാഗം (ഇൻസുലേറ്റിംഗ് SiO2 പാളിക്ക്), താഴെയുള്ള അടിവസ്ത്രം (ബൾക്ക് സിലിക്കൺ) എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.SIMOX രീതിയും വേഫർ ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയും ഉപയോഗിച്ചാണ് SOI വേഫറുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നത്, ഇത് കനംകുറഞ്ഞതും കൂടുതൽ കൃത്യവുമായ ഉപകരണ പാളികൾ, ഏകീകൃത കനം, കുറഞ്ഞ വൈകല്യ സാന്ദ്രത എന്നിവ അനുവദിക്കുന്നു.

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

SOI വേഫറുകൾ(1)

ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡ്

1. ഹൈ-സ്പീഡ് ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട്

2. മൈക്രോവേവ് ഉപകരണങ്ങൾ

3. ഉയർന്ന താപനില ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട്

4. പവർ ഉപകരണങ്ങൾ

5. ലോ പവർ ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട്

6. MEMS

7. ലോ വോൾട്ടേജ് ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട്

ഇനം		വാദം
മൊത്തത്തിൽ	വേഫർ വ്യാസം 晶圆尺寸(മില്ലീമീറ്റർ)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	വില്ലു/വാർപ്പ് 翘曲度(	<10um
	കണികകൾ 颗粒度(	0.3um<30ea
	ഫ്ലാറ്റുകൾ/നോച്ച് 定位边/定位槽	ഫ്ലാറ്റ് അല്ലെങ്കിൽ നോച്ച്
	എഡ്ജ് ഒഴിവാക്കൽ 边缘去除(mm)	/
ഉപകരണ പാളി 器件层	ഉപകരണ-പാളി തരം/ഡോപൻ്റ് 器件层掺杂类型	എൻ-ടൈപ്പ്/പി-ടൈപ്പ് B/ P/ Sb / As
	ഉപകരണ-പാളി ഓറിയൻ്റേഷൻ 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	ഉപകരണ പാളിയുടെ കനം 器件层厚度(ഉം)	0.1 ~ 300um
	ഉപകരണ-പാളി റെസിസ്റ്റിവിറ്റി 器件层电阻率(ohm•cm)	0.001~100,000 ഓം-സെ.മീ
	ഉപകരണ-പാളി കണികകൾ 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	ഉപകരണ പാളി ടിടിവി 器件层TTV(	<10um
	ഉപകരണ ലെയർ ഫിനിഷ് 器件层表面处理	പോളിഷ് ചെയ്തു
പെട്ടി	അടക്കം ചെയ്ത തെർമൽ ഓക്സൈഡ് കനം 埋氧层厚度(ഉം)	50nm(500Å)~15um
ഹാൻഡിൽ ലെയർ 衬底	വേഫർ തരം/ഡോപൻ്റ് കൈകാര്യം ചെയ്യുക 衬底层类型	എൻ-ടൈപ്പ്/പി-ടൈപ്പ് B/ P/ Sb / As
	വേഫർ ഓറിയൻ്റേഷൻ കൈകാര്യം ചെയ്യുക 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	വേഫർ റെസിസ്റ്റിവിറ്റി കൈകാര്യം ചെയ്യുക 衬底电阻率(ohm•cm)	0.001~100,000 ഓം-സെ.മീ
	വേഫർ കനം കൈകാര്യം ചെയ്യുക 衬底厚度(ഉം)	>100um
	വേഫർ ഫിനിഷ് കൈകാര്യം ചെയ്യുക 衬底表面处理	പോളിഷ് ചെയ്തു
ടാർഗെറ്റ് സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളുടെ SOI വേഫറുകൾ ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നതാണ്.