എന്താണ് MOCVD സസെപ്റ്റർ?

ദിMOCVDസിംഗിൾ ഫേസ് InGaN എപ്പിലേയറുകൾ, III-N മെറ്റീരിയലുകൾ, മൾട്ടി ക്വാണ്ടം കിണർ ഘടനകളുള്ള അർദ്ധചാലക ഫിലിമുകൾ എന്നിങ്ങനെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റലിൻ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ വളർത്തുന്നതിന് നിലവിൽ വ്യവസായത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഏറ്റവും സ്ഥിരതയുള്ള പ്രക്രിയകളിലൊന്നാണ് ഈ രീതി. അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെയും ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെയും നിർമ്മാണം.

ദിSiC കോട്ടിംഗ് MOCVD സസെപ്റ്റർസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) പൂശിയ ഒരു പ്രത്യേക വേഫർ ഹോൾഡറാണ്എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ലോഹ ഓർഗാനിക് കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (എംഒസിവിഡി) പ്രക്രിയയിലെ വളർച്ച.

SiC കോട്ടിംഗിന് മികച്ച രാസ പ്രതിരോധവും താപ സ്ഥിരതയും ഉണ്ട്, ഇത് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചാ പ്രക്രിയകൾ ആവശ്യപ്പെടുന്ന MOCVD സസെപ്റ്ററുകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ തിരഞ്ഞെടുപ്പാണ്.

MOCVD പ്രക്രിയയുടെ ഒരു പ്രധാന ഘടകം സസെപ്റ്റർ ആണ്, ഇത് നിർമ്മിച്ച നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ ഏകീകൃതതയും ഗുണനിലവാരവും ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന ഘടകമാണ്.

എന്താണ് ഒരു സസെപ്റ്റർ? MOCVD പ്രക്രിയയിൽ നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപിച്ചിരിക്കുന്ന അടിവസ്ത്രത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിനും ചൂടാക്കുന്നതിനും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രത്യേക ഘടകമാണ് സസെപ്റ്റർ. വൈദ്യുതകാന്തിക ഊർജ്ജം ആഗിരണം ചെയ്യുക, താപമാക്കി മാറ്റുക, അടിവസ്ത്രത്തിൽ താപം തുല്യമായി വിതരണം ചെയ്യുക എന്നിവ ഉൾപ്പെടെ ഇതിന് ഒന്നിലധികം പ്രവർത്തനങ്ങൾ ഉണ്ട്. കൃത്യമായ കനവും ഘടനയും ഉള്ള യൂണിഫോം നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ വളർച്ചയ്ക്ക് ഈ ഏകീകൃത ചൂടാക്കൽ അത്യാവശ്യമാണ്.

സസെപ്റ്ററുകളുടെ തരങ്ങൾ:
1. ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്ററുകൾ: ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്ററുകൾ പലപ്പോഴും ഒരു സംരക്ഷിത പാളി ഉപയോഗിച്ച് പൂശുന്നുസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC), ഉയർന്ന താപ ചാലകതയ്ക്കും സ്ഥിരതയ്ക്കും പേരുകേട്ടതാണ്. ദിSiC കോട്ടിംഗ്ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ നാശത്തെയും നാശത്തെയും പ്രതിരോധിക്കുന്ന ഒരു ഹാർഡ്, സംരക്ഷിത ഉപരിതലം നൽകുന്നു.

2. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സസെപ്റ്ററുകൾ: ഈ സസെപ്റ്ററുകൾ പൂർണ്ണമായും SiC കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്, കൂടാതെ മികച്ച താപ സ്ഥിരതയും ധരിക്കാനുള്ള പ്രതിരോധവുമുണ്ട്. ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള പ്രക്രിയകൾക്കും നശിപ്പിക്കുന്ന പരിതസ്ഥിതികൾക്കും SiC സസെപ്റ്ററുകൾ പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാണ്.

MOCVD-യിൽ സസെപ്റ്ററുകൾ എങ്ങനെ പ്രവർത്തിക്കുന്നു:

MOCVD പ്രക്രിയയിൽ, മുൻഗാമികൾ റിയാക്ഷൻ ചേമ്പറിലേക്ക് അവതരിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു, അവിടെ അവ വിഘടിപ്പിക്കുകയും അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു. സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് തുല്യമായി ചൂടാക്കപ്പെടുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നതിലൂടെ സസെപ്റ്റർ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു, ഇത് മുഴുവൻ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഉപരിതലത്തിലുടനീളം സ്ഥിരതയുള്ള ഫിലിം പ്രോപ്പർട്ടികൾ നേടുന്നതിന് നിർണ്ണായകമാണ്. താപനില പരിധി, രാസ അനുയോജ്യത എന്നിവ പോലുള്ള ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയയുടെ നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി സസെപ്റ്ററിൻ്റെ മെറ്റീരിയലും രൂപകൽപ്പനയും ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം തിരഞ്ഞെടുത്തു.

ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സസെപ്റ്ററുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നതിൻ്റെ പ്രയോജനങ്ങൾ:
• മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ഫിലിം നിലവാരം: യൂണിഫോം ഹീറ്റ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ നൽകുന്നതിലൂടെ, അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രകടനത്തിന് നിർണ്ണായകമായ, സ്ഥിരമായ കനവും ഘടനയും ഉള്ള ഫിലിമുകൾ നേടാൻ സസെപ്റ്റർ സഹായിക്കുന്നു.
• മെച്ചപ്പെടുത്തിയ പ്രോസസ്സ് കാര്യക്ഷമത: ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സസെപ്റ്ററുകൾ വൈകല്യങ്ങളുടെ സാധ്യത കുറയ്ക്കുകയും ഉപയോഗയോഗ്യമായ ഫിലിമുകളുടെ വിളവ് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്തുകൊണ്ട് MOCVD പ്രക്രിയയുടെ മൊത്തത്തിലുള്ള കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
• ആയുസ്സും വിശ്വാസ്യതയും: SiC പോലുള്ള മോടിയുള്ള വസ്തുക്കളാൽ നിർമ്മിച്ച സസെപ്റ്ററുകൾ ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുകയും പരിപാലന ചെലവ് കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

MOCVD പ്രക്രിയയിലെ ഒരു അവിഭാജ്യ ഘടകമാണ് സസെപ്റ്റർ, നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ്റെ ഗുണനിലവാരത്തെയും കാര്യക്ഷമതയെയും നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു. ലഭ്യമായ വലുപ്പങ്ങൾ, MOCVD സസെപ്റ്ററുകൾ, വിലകൾ എന്നിവയെക്കുറിച്ചുള്ള കൂടുതൽ വിവരങ്ങൾക്ക്, ദയവായി ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടാൻ മടിക്കരുത്. അനുയോജ്യമായ മെറ്റീരിയലുകളിൽ നിങ്ങളെ ഉപദേശിക്കാനും നിങ്ങളുടെ എല്ലാ ചോദ്യങ്ങൾക്കും ഉത്തരം നൽകാനും ഞങ്ങളുടെ എഞ്ചിനീയർമാർ സന്തുഷ്ടരാണ്.

ഫോൺ: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com