ലോഹ-ഓർഗാനിക് കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (എംഒസിവിഡി) അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ ഒരു നിർണായക പ്രക്രിയയാണ്, അവിടെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നേർത്ത ഫിലിമുകൾ അടിവസ്ത്രങ്ങളിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു. എംഒസിവിഡി പ്രക്രിയയുടെ ഒരു പ്രധാന ഘടകം സസെപ്റ്റർ ആണ്, ഇത് നിർമ്മിച്ച സിനിമകളുടെ ഏകീകൃതതയും ഗുണനിലവാരവും ഉറപ്പാക്കുന്നതിൽ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്ന ഒരു സുപ്രധാന ഘടകമാണ്.
എന്താണ് സസെപ്റ്റർ? നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കുന്ന അടിവസ്ത്രത്തെ പിന്തുണയ്ക്കാനും ചൂടാക്കാനും MOCVD പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രത്യേക ഘടകമാണ് സസെപ്റ്റർ. വൈദ്യുതകാന്തിക ഊർജം ആഗിരണം ചെയ്യുക, താപമായി പരിവർത്തനം ചെയ്യുക, അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഉടനീളം ഈ താപം ഒരേപോലെ വിതരണം ചെയ്യുക എന്നിവയുൾപ്പെടെ ഒന്നിലധികം പ്രവർത്തനങ്ങൾ ഇത് നിർവഹിക്കുന്നു. കൃത്യമായ കനവും ഘടനയും ഉള്ള ഏകതാനമായ ഫിലിമുകളുടെ വളർച്ചയ്ക്ക് ഈ ഏകീകൃത ചൂടാക്കൽ അത്യാവശ്യമാണ്.
സസെപ്റ്ററുകളുടെ തരങ്ങൾ:
1. ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്ററുകൾ: സാധാരണയായി ഒരു സംരക്ഷിത പാളി കൊണ്ട് പൊതിഞ്ഞതാണ്സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC), ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്ററുകൾ അവയുടെ ഉയർന്ന താപ ചാലകതയ്ക്കും സ്ഥിരതയ്ക്കും പേരുകേട്ടതാണ്. ദിSiC കോട്ടിംഗ്ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ നാശത്തെയും നാശത്തെയും പ്രതിരോധിക്കുന്ന ഒരു ഹാർഡ്, സംരക്ഷിത ഉപരിതലം നൽകുന്നു.
2. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സസെപ്റ്ററുകൾ: ഇവ പൂർണ്ണമായും SiC-ൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, മികച്ച താപ സ്ഥിരതയും ധരിക്കുന്നതിനും കീറുന്നതിനുമുള്ള പ്രതിരോധം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.SiC സസെപ്റ്ററുകൾഉയർന്ന താപനിലയുള്ള പ്രക്രിയകൾക്കും നശിപ്പിക്കുന്ന ചുറ്റുപാടുകൾക്കും പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാണ്.
എങ്ങനെസസെപ്റ്ററുകൾMOCVD-യിൽ ജോലി ചെയ്യുക:
MOCVD പ്രക്രിയയിൽ, മുൻഗാമികൾ റിയാക്ടർ ചേമ്പറിലേക്ക് അവതരിപ്പിക്കുന്നു, അവിടെ അവ വിഘടിക്കുകയും പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു. സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഒരേപോലെ ചൂടാക്കപ്പെടുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നതിലൂടെ സസെപ്റ്റർ ഒരു നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു, ഇത് മുഴുവൻ അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിലുടനീളം സ്ഥിരതയുള്ള ഫിലിം ഗുണങ്ങൾ കൈവരിക്കുന്നതിന് നിർണ്ണായകമാണ്. താപനില പരിധിയും രാസ അനുയോജ്യതയും പോലെയുള്ള ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയയുടെ നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യകതകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നതിന് സസെപ്റ്ററിൻ്റെ മെറ്റീരിയലും രൂപകൽപ്പനയും ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം തിരഞ്ഞെടുത്തു.
ഉപയോഗിക്കുന്നതിൻ്റെ പ്രയോജനങ്ങൾഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സസെപ്റ്ററുകൾ:
• എൻഹാൻസ്ഡ് ഫിലിം ക്വാളിറ്റി: യൂണിഫോം ഹീറ്റ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ നൽകുന്നതിലൂടെ, അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രകടനത്തിന് അത്യന്താപേക്ഷിതമായ കനവും ഘടനയും ഉള്ള ഫിലിമുകൾ നേടുന്നതിന് സസെപ്റ്ററുകൾ സഹായിക്കുന്നു.
• വർദ്ധിച്ച പ്രോസസ്സ് കാര്യക്ഷമത: ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സസെപ്റ്ററുകൾ വൈകല്യങ്ങളുടെ സാധ്യത കുറയ്ക്കുകയും ഉപയോഗയോഗ്യമായ ഫിലിമുകളുടെ വിളവ് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്തുകൊണ്ട് MOCVD പ്രക്രിയയുടെ മൊത്തത്തിലുള്ള കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
• ദീർഘായുസ്സും വിശ്വാസ്യതയും: SiC പോലുള്ള മോടിയുള്ള വസ്തുക്കളിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച സസെപ്റ്ററുകൾ ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യതയും കുറഞ്ഞ പരിപാലന ചെലവും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഉപസംഹാരം: MOCVD പ്രക്രിയയിലെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഘടകമാണ് സസെപ്റ്റർ, നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ്റെ ഗുണനിലവാരത്തെയും കാര്യക്ഷമതയെയും നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു. ശരിയായ സസെപ്റ്റർ മെറ്റീരിയലും ഡിസൈനും തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിലൂടെ, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാതാക്കൾക്ക് അവരുടെ പ്രക്രിയകൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യാൻ കഴിയും, അതിൻ്റെ ഫലമായി മികച്ച ഉപകരണ പ്രകടനവും കുറഞ്ഞ ഉൽപാദനച്ചെലവും. ഉയർന്ന പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ ആവശ്യം വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുന്നതിനാൽ, ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള MOCVD സുസ്‌കിൻ്റെ പ്രാധാന്യം
പോസ്റ്റ് സമയം: ഓഗസ്റ്റ്-12-2024