ആർടിപിCVD SiC റിംഗ് ചെയ്യുന്നുവ്യാവസായിക, ശാസ്ത്രീയ മേഖലകളിൽ ഉയർന്ന താപനിലയിലും നശിപ്പിക്കുന്ന ചുറ്റുപാടുകളിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ്, പ്രിസിഷൻ മെഷിനറി, കെമിക്കൽ വ്യവസായം എന്നിവയിൽ ഇത് ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. നിർദ്ദിഷ്ട ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു:
1. അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം:RTP CVD SiC റിംഗ് ചെയ്യുന്നുഅർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ ചൂടാക്കലിനും തണുപ്പിക്കലിനും ഉപയോഗിക്കാനാകും, സ്ഥിരമായ താപനില നിയന്ത്രണം നൽകുകയും പ്രക്രിയയുടെ കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
2. ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ്: മികച്ച താപ ചാലകതയും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും കാരണം ആർ.ടി.പിCVD SiC റിംഗ് ചെയ്യുന്നുലേസർ, ഫൈബർ ഒപ്റ്റിക് കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്കുള്ള പിന്തുണയും താപ വിസർജ്ജന സാമഗ്രികളും ആയി ഉപയോഗിക്കാം.
3. പ്രിസിഷൻ മെഷിനറി: ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഫർണസുകൾ, വാക്വം ഉപകരണങ്ങൾ, കെമിക്കൽ റിയാക്ടറുകൾ തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന താപനിലയിലും നശിപ്പിക്കുന്ന പരിതസ്ഥിതികളിലും കൃത്യമായ ഉപകരണങ്ങൾക്കും ഉപകരണങ്ങൾക്കും RTP CVD SiC വളയങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കാം.
4. രാസ വ്യവസായം: അതിൻ്റെ നാശന പ്രതിരോധവും രാസ സ്ഥിരതയും കാരണം, RTP CVD SiC വളയങ്ങൾ രാസപ്രവർത്തനങ്ങളിലും കാറ്റലറ്റിക് പ്രക്രിയകളിലും കണ്ടെയ്നറുകളിലും പൈപ്പുകളിലും റിയാക്ടറുകളിലും ഉപയോഗിക്കാം.
എപി സിസ്റ്റം
RTP സിസ്റ്റം
CVD സിസ്റ്റം
ഉൽപ്പന്ന പ്രകടനം:
1. 28nm-ന് താഴെയുള്ള പ്രോസസ്സ് കാണുക
2. സൂപ്പർ കോറഷൻ പ്രതിരോധം
3. സൂപ്പർ ക്ലീൻ പ്രകടനം
4. സൂപ്പർ കാഠിന്യം
5. ഉയർന്ന സാന്ദ്രത
6. ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം
7. പ്രതിരോധം ധരിക്കുക
ഉൽപ്പന്ന ആപ്ലിക്കേഷൻ:
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് ഉയർന്ന കാഠിന്യം, ധരിക്കാനുള്ള പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത എന്നിവയുടെ സവിശേഷതകളുണ്ട്. മികച്ച സമഗ്രമായ പ്രകടനമുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഡ്രൈ എച്ചിംഗിലും TF/Diffusion പ്രക്രിയകളിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഉൽപ്പന്ന പ്രകടനം:
1. 28nm-ന് താഴെയുള്ള പ്രോസസ്സ് കാണുക
2. സൂപ്പർ കോറഷൻ പ്രതിരോധം
3. സൂപ്പർ ക്ലീൻ പ്രകടനം
4. സൂപ്പർ കാഠിന്യം
5. ഉയർന്ന സാന്ദ്രത
6. ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം
7. പ്രതിരോധം ധരിക്കുക
സംയോജിത പ്രക്രിയയുടെ വികസനം:
• ഗ്രാഫൈറ്റ് +SiC കോട്ടിംഗ്
• സോളിഡ് CVD SiC
• സിൻ്റർ ചെയ്ത SiC+CVD
• SicSintered SiC
ഒന്നിലധികം ഉൽപ്പന്ന തരം വികസനം:
• റിംഗ്
• പട്ടിക
• സസെപ്റ്റർ
• ഷവർ ഹെഡ്