സെമിസെറയുടെSiC പാഡലുകൾഡൈമൻഷണൽ കൃത്യത നിർണായകമായ പ്രക്രിയകളിൽ സ്ഥിരതയും കൃത്യതയും പ്രദാനം ചെയ്യുന്ന, കുറഞ്ഞ താപ വികാസത്തിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തവയാണ്. ഇത് എവിടെയുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നുവേഫറുകൾവേഫർ ബോട്ട് അതിൻ്റെ ഘടനാപരമായ സമഗ്രത നിലനിർത്തുകയും സ്ഥിരമായ പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നതിനാൽ, ആവർത്തിച്ചുള്ള ചൂടാക്കലിനും തണുപ്പിക്കലിനും വിധേയമാകുന്നു.
സെമിസെറയുടെ സംയോജനംസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഡിഫ്യൂഷൻ പാഡിലുകൾനിങ്ങളുടെ പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈനിലേക്ക് നിങ്ങളുടെ പ്രോസസ്സിൻ്റെ വിശ്വാസ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കും, അവയുടെ ഉയർന്ന താപ, രാസ ഗുണങ്ങൾക്ക് നന്ദി. ഈ പാഡിലുകൾ ഡിഫ്യൂഷൻ, ഓക്സിഡേഷൻ, അനീലിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്, ഓരോ ഘട്ടത്തിലും വേഫറുകൾ ശ്രദ്ധയോടെയും കൃത്യതയോടെയും കൈകാര്യം ചെയ്യപ്പെടുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
നവീകരണമാണ് സെമിസെറയുടെ കാതൽSiC പാഡിൽഡിസൈൻ. ഈ പാഡിലുകൾ നിലവിലുള്ള അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളിലേക്ക് സുഗമമായി യോജിപ്പിക്കുന്നതാണ്, ഇത് മെച്ചപ്പെടുത്തിയ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ കാര്യക്ഷമത നൽകുന്നു. ഭാരം കുറഞ്ഞ ഘടനയും എർഗണോമിക് രൂപകല്പനയും വേഫർ ഗതാഗതം മെച്ചപ്പെടുത്തുക മാത്രമല്ല, പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കുകയും, ഉൽപ്പാദനം കാര്യക്ഷമമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
| റീക്രിസ്റ്റലൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ | |
| സ്വത്ത് | സാധാരണ മൂല്യം |
| പ്രവർത്തന താപനില (°C) | 1600°C (ഓക്‌സിജൻ ഉള്ളത്), 1700°C (പരിസ്ഥിതി കുറയ്ക്കുന്നു) |
| SiC ഉള്ളടക്കം | > 99.96% |
| സൗജന്യ Si ഉള്ളടക്കം | < 0.1% |
| ബൾക്ക് സാന്ദ്രത | 2.60-2.70 ഗ്രാം / സെ.മീ3 |
| പ്രകടമായ പൊറോസിറ്റി | < 16% |
| കംപ്രഷൻ ശക്തി | > 600 MPa |
| തണുത്ത വളയുന്ന ശക്തി | 80-90 MPa (20°C) |
| ചൂടുള്ള വളയുന്ന ശക്തി | 90-100 MPa (1400°C) |
| താപ വികാസം @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| താപ ചാലകത @1200°C | 23 W/m•K |
| ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് | 240 GPa |
| തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രതിരോധം | വളരെ നല്ലത് |
