സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്റർ, വേഫർ കാരിയർ

CVD-SiC കോട്ടിംഗിന് ഏകീകൃത ഘടന, ഒതുക്കമുള്ള മെറ്റീരിയൽ, ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, അമ്ല-ക്ഷാര പ്രതിരോധം, ഓർഗാനിക് റിയാജൻ്റ് എന്നിവയുടെ സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്.
ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് വസ്തുക്കളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഗ്രാഫൈറ്റ് 400C-ൽ ഓക്സിഡൈസ് ചെയ്യാൻ തുടങ്ങുന്നു, ഇത് ഓക്സിഡേഷൻ മൂലം പൊടി നഷ്ടപ്പെടാൻ ഇടയാക്കും, ഇത് പെരിഫറൽ ഉപകരണങ്ങളിലേക്കും വാക്വം ചേമ്പറുകളിലേക്കും പരിസ്ഥിതി മലിനീകരണത്തിന് കാരണമാകുകയും ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി പരിസ്ഥിതിയുടെ മാലിന്യങ്ങൾ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യും.
എന്നിരുന്നാലും, SiC കോട്ടിംഗിന് 1600 ഡിഗ്രിയിൽ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ കഴിയും, ഇത് ആധുനിക വ്യവസായത്തിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.