സോളിഡ് SiC ഫോക്കസ് റിംഗ്

നൂതന അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന ഒരു അത്യാധുനിക ഘടകമാണ് സെമിസെറയിൽ നിന്നുള്ള സോളിഡ് SiC ഫോക്കസ് റിംഗ്. ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC), ഈ ഫോക്കസ് റിംഗ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ, പ്രത്യേകിച്ച്, വിപുലമായ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്CVD SiC പ്രക്രിയകൾ, പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ്, കൂടാതെഐ.സി.പിRIE (ഇൻഡക്റ്റീവ് കപ്പിൾഡ് പ്ലാസ്മ റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ്). അസാധാരണമായ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപ സ്ഥിരത, പരിശുദ്ധി എന്നിവയ്ക്ക് പേരുകേട്ട ഇത് ഉയർന്ന സമ്മർദ്ദമുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ ദീർഘകാല പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കുന്നു.

അർദ്ധചാലകത്തിൽവേഫർപ്രോസസ്സിംഗ്, ഡ്രൈ എച്ചിംഗ്, വേഫർ എച്ചിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയിൽ കൃത്യമായ എച്ചിംഗ് നിലനിർത്തുന്നതിൽ സോളിഡ് SiC ഫോക്കസ് റിംഗ്സ് നിർണായകമാണ്. പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീൻ ഓപ്പറേഷനുകൾ പോലുള്ള പ്രക്രിയകളിൽ പ്ലാസ്മയെ ഫോക്കസ് ചെയ്യുന്നതിന് SiC ഫോക്കസ് റിംഗ് സഹായിക്കുന്നു, ഇത് സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ എച്ചിംഗിന് അത്യന്താപേക്ഷിതമാക്കുന്നു. സോളിഡ് SiC മെറ്റീരിയൽ മണ്ണൊലിപ്പിന് സമാനതകളില്ലാത്ത പ്രതിരോധം നൽകുന്നു, നിങ്ങളുടെ ഉപകരണങ്ങളുടെ ദീർഘായുസ്സ് ഉറപ്പാക്കുകയും പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ ഉയർന്ന ത്രൂപുട്ട് നിലനിർത്തുന്നതിന് അത്യാവശ്യമാണ്.

സെമിസെറയിൽ നിന്നുള്ള സോളിഡ് സിഐസി ഫോക്കസ് റിംഗ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ സാധാരണയായി നേരിടുന്ന തീവ്രമായ താപനിലയെയും ആക്രമണാത്മക രാസവസ്തുക്കളെയും നേരിടാൻ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്. പോലുള്ള ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ജോലികളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് ഇത് പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്CVD SiC കോട്ടിംഗുകൾ, ഇവിടെ പരിശുദ്ധിയും ഈടുതലും പരമപ്രധാനമാണ്. തെർമൽ ഷോക്കിന് മികച്ച പ്രതിരോധത്തോടെ, ഈ ഉൽപ്പന്നം ഉയർന്ന താപനിലയിൽ എക്സ്പോഷർ ചെയ്യുന്നതുൾപ്പെടെ ഏറ്റവും കഠിനമായ സാഹചര്യങ്ങളിൽ സ്ഥിരവും സുസ്ഥിരവുമായ പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കുന്നു.വേഫർകൊത്തുപണി പ്രക്രിയകൾ.