സെമിസെറസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ്അത്യധികം കാഠിന്യമുള്ളതും ധരിക്കാത്തതുമായ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള സംരക്ഷണ കോട്ടിംഗാണ്. CVD അല്ലെങ്കിൽ PVD പ്രോസസ് ഉപയോഗിച്ച് അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ സാധാരണയായി പൂശുന്നുസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കണികകൾ, മികച്ച കെമിക്കൽ കോറഷൻ പ്രതിരോധവും ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരതയും നൽകുന്നു. അതിനാൽ, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ,SiC കോട്ടിംഗ്1600 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെ ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാൻ കഴിയും, അതിനാൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ് പലപ്പോഴും ഉയർന്ന താപനിലയിലോ നശിപ്പിക്കുന്ന പരിതസ്ഥിതികളിലോ കേടുപാടുകൾ വരുത്തുന്നത് തടയാൻ ഉപകരണങ്ങൾക്കോ ഉപകരണങ്ങൾക്കോ ഒരു സംരക്ഷണ പാളിയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
അതേസമയത്ത്,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ്ആസിഡുകൾ, ക്ഷാരങ്ങൾ, ഓക്സൈഡുകൾ, മറ്റ് കെമിക്കൽ റിയാക്ടറുകൾ എന്നിവയുടെ മണ്ണൊലിപ്പിനെ പ്രതിരോധിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വിവിധതരം രാസ പദാർത്ഥങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന നാശന പ്രതിരോധവുമുണ്ട്. അതിനാൽ, ഈ ഉൽപ്പന്നം അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ വിവിധ വിനാശകരമായ പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
കൂടാതെ, മറ്റ് സെറാമിക് വസ്തുക്കളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, SiC ന് ഉയർന്ന താപ ചാലകതയുണ്ട്, മാത്രമല്ല ചൂട് ഫലപ്രദമായി നടത്താനും കഴിയും. കൃത്യമായ താപനില നിയന്ത്രണം ആവശ്യമുള്ള അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയകളിൽ, ഉയർന്ന താപ ചാലകത ഈ സവിശേഷത നിർണ്ണയിക്കുന്നു.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ്താപം തുല്യമായി ചിതറിക്കാനും പ്രാദേശിക അമിത ചൂടാക്കൽ തടയാനും ഉപകരണം ഒപ്റ്റിമൽ താപനിലയിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കാനും സഹായിക്കുന്നു.
സിവിഡി സിക് കോട്ടിംഗിൻ്റെ അടിസ്ഥാന ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ | |
സ്വത്ത് | സാധാരണ മൂല്യം |
ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന | FCC β ഫേസ് പോളിക്രിസ്റ്റലിൻ, പ്രധാനമായും (111) ഓറിയൻ്റഡ് |
സാന്ദ്രത | 3.21 g/cm³ |
കാഠിന്യം | 2500 വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം (500 ഗ്രാം ലോഡ്) |
ധാന്യം വലിപ്പം | 2~10μm |
കെമിക്കൽ പ്യൂരിറ്റി | 99.99995% |
താപ ശേഷി | 640 J·kg-1·കെ-1 |
സബ്ലിമേഷൻ താപനില | 2700℃ |
ഫ്ലെക്സറൽ ശക്തി | 415 MPa RT 4-പോയിൻ്റ് |
യങ്ങിൻ്റെ മോഡുലസ് | 430 Gpa 4pt ബെൻഡ്, 1300℃ |
താപ ചാലകത | 300W·m-1·കെ-1 |
തെർമൽ എക്സ്പാൻഷൻ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |